CN210534216U - 一种微小电流测试电路及微小电流测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种微小电流测试电路及微小电流测试装置，所述微小电流测试电路，包括：第一高阻运算放大器和至少一组负反馈电阻电路；所述第一高阻运算放大器的同相输入端连接参考电位点IMCOM，所述参考电位点与程控电源VIS连接；所述第一高阻运算放大器的反相输入端连接被测元器件，所述第一高阻运算放大器的同、反相输入端虚短连接；所述至少一组负反馈电阻电路连接在第一高阻运算放大器的反相输入端与输出端之间，形成负反馈通路。微小电流测试电路测量精度高、稳定性好，能够实现纳安级和皮安级的微小电流测量，解决了场效应晶体管型的电子元器件的微小电流测量精度低、稳定性差等问题，实现偏置电流或漏电流的准确、有效的测量。

Description

一种微小电流测试电路及微小电流测试装置

技术领域

本实用新型涉及电子技术领域，特别涉及一种微小电流测试电路及微小电流测试装置。

背景技术

随着半导体制作工艺的不断提高，制作成本逐渐降低，低功耗电路的设计越来越成熟，采用场效应晶体管的电子元器件正在各个领域运用的越来越广泛。场效应晶体管型的电子元器件的最大偏置电流能够达到纳安级，而且在输出级高阻态时的最大漏电流也可以达到纳安级的范围。当场效应晶体管型的电子元器件在使用前，为保证电路的正常运行，需要对运算放大器的性能进行测量，比如对偏置电流或漏电流进行测量，以保证场效应晶体管型的电子元器件的性能正常。

现有的电流测试装置一般只有微安级的电流测试能力，其测试精度无法达到纳安级和皮安级的精度，不能对场效应晶体管型的电子元器件的偏置电流或漏电流进行准确、有效的测量。

实用新型内容

鉴于上述问题，提出了本实用新型以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种微小电流测试电路及微小电流测试装置。

第一方面，本实用新型实施例提供一种微小电流测试电路，包括：第一高阻运算放大器和至少一组负反馈电阻电路；

所述第一高阻运算放大器的同相输入端连接参考电位点IMCOM，所述参考电位点IMCOM与程控电源VIS连接；所述第一高阻运算放大器的反相输入端连接被测元器件，所述第一高阻运算放大器的同、反相输入端虚短连接；所述至少一组负反馈电阻电路连接在第一高阻运算放大器的反相输入端与输出端之间，形成负反馈通路。

在一个实施例中，可以是，所述至少一组负反馈电阻电路包括：

一个负反馈电阻RF；或，

两个以上并联连接的负反馈电阻RF1～RFn，所述两个以上负反馈电阻 RF1～RFn分别串联一个开关，其中N为大于等于2的整数。

在一个实施例中，可以是，所述至少一组负反馈电阻电路，还包括：比例电阻Ra和比例电阻Rb；

所述负反馈电阻RF与所述比例电阻Ra串联，所述比例电阻Rb的一端与所述比例电阻Ra和所述负反馈电阻RF的连接处连接；所述比例电阻Rb的另一端接地；或，

所述两个以上并联连接的负反馈电阻RF1～RFn中的至少一个负反馈电阻 RFm与所述比例电阻Ra串联，所述比例电阻Rb的一端与所述比例电阻Ra和所述负反馈电阻RFm的连接处连接；所述比例电阻Rb的另一端接地，其中m 为整数，且m∈【1，……，n】。

在一个实施例中，可以是，所述负反馈电阻电路，还包括：至少一个补偿电容；所述每个补偿电容分别与一个负反馈电阻并联。

在一个实施例中，可以是，所述第一高阻运算放大器的同相输入端和反相输入端通过两个对向并联的二极管连接。

在一个实施例中，可以是，所述的电路还包括：DC/DC电源，所述参考电位点IMCOM连接所述DC/DC电源的公共端，所述DC/DC电源的正、反向电源输出端分别连接所述第一高阻运算放大器的正、反向电压供电输入端。

在一个实施例中，可以是，所述的电路还包括：与所述DC/DC电源连接的防干扰电路，所述防干扰电路：包括滤波电解电容E1、旁路电容C1、滤波电解电容E2和旁路电容C2；所述滤波电解电容E1和旁路电容C1并联在 DC/DC电源的正向输出电源与参考电位点IMCOM之间，滤波电解电容E2和旁路电容C2并联在DC/DC电源的反向输出电源与参考电位点IMCOM之间。

在一个实施例中，可以是，所述程控电源VIS通过电阻Ris连接所述参考电位点IMCOM。

在一个实施例中，可以是，所述参考电位点IMCOM与第一高阻运算放大器的同相输入端之间还串联有失调电阻Ros。

在一个实施例中，可以是，所述的电路还包括：连接第一高阻运算放大器的输出端的反向电路，所述反向电路，包括：

第二高阻运算放大器，所述第二高阻运算放大器的同、反相输入端虚短连接，所述第二高阻运算放大器的反相输入端经电阻Rrev连接到所述第一高阻运算放大器的输出端，所述第二高阻运算放大器的反相输入端与输出端之间通过负反馈电阻RF’连接。

在一个实施例中，可以是，所述第二高阻运算放大器的输出端连接电压测量单元VM；

所述电压测量单元VM经电阻Rvm与所述参考电位点IMCOM连接。

在一个实施例中，可以是，所述负反馈电阻RF’并联连接补偿电容C’。

第一方面，本实用新型实施例提供一种微小电流测试装置，包括：上述任一项所述的微小电流测试电路。

本实用新型实施例提供的上述技术方案的有益效果至少包括：

本实用新型实施例提供的微小电流测试电路，利用偏置电流在皮安级或法安级的第一高阻运算放大器，采用第一高阻运算放大器同相和反相输入端虚短，在同相输入端连接参考电位点IMCOM，通过调节参考电位点IMCOM的电位高低，调节反相输入端电压，使被测元器件与反相输入端产生电势差，从而实现电流方向控制，使电流流入或流出被测元器件，由于第一高阻运算放大器的偏置电流远远小于流入或流出被测元器件的电流，利用第一高阻运算放大器的反相输入端虚断特性，在第一高阻运算放大器的反相输入端和输出端之间连接负反馈电阻电路，构成一个闭环反馈放大电路。根据测量的第一高阻运算放大器的输出端的电压信号值，得到表征被测元器件的微小电流的电参数信号，测量微小电流的范围从十位皮安级电流到百位微安级电流，满足场效应晶体管型的电子元器件偏置电流或漏电流的测试要求，测量精度高，电路结构简单、容易操作、测量方便、快捷、稳定性高，实现对微小电流准确、有效的测量。

本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型实施例提供的第一种微小电流测试电路的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的微小电流测试电路的DC/DC电源结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的微小电流测试电路的DC/DC电源的防干扰电路的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的微小电流测试电路的反向电路的结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的第二种微小电流测试电路的结构示意图；

图6为电子元器件模拟开关ADG508A或ADG509A的关断状态的输入漏电流IS(off)检测电路结构示意图；

图7为电子元器件模拟开关ADG508A或ADG509A的关断状态的输出漏电流ID(off)检测电路结构示意图；

图8为电子元器件模拟开关ADG508A或ADG509A的通电时的输入漏电流ID(on)检测电路结构示意图；

图9为电子元器件模拟开关ADG509A输入端全供电情况下的输出端漏电流IDIFF检测电路结构示意图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

为了说明本实用新型所述的技术方案，下面通过具体实施例来进行说明。

第一方面，本实用新型实施例提供一种微小电流测试电路，包括：第一高阻运算放大器和至少一组负反馈电阻电路1；

所述第一高阻运算放大器的同相输入端连接参考电位点IMCOM，所述参考电位点IMCOM与程控电源VIS连接；所述第一高阻运算放大器的反相输入端连接被测元器件，所述第一高阻运算放大器的同、反相输入端虚短连接；所述至少一组负反馈电阻电路1连接在第一高阻运算放大器的反相输入端与输出端之间，形成负反馈通路。

本实用新型实施例提供的微小电流测试电路，利用偏置电流在皮安级或法安级的第一高阻运算放大器，采用第一高阻运算放大器同相和反相输入端虚短，在同相输入端连接参考电位点IMCOM，通过调节参考电位点IMCOM的电位高低，调节反相输入端电压，使被测元器件与反相输入端产生电势差，从而实现电流方向控制，使电流流入或流出被测元器件，由于第一高阻运算放大器的偏置电流远远小于流入或流出被测元器件的电流，利用第一高阻运算放大器的反相输入端虚断特性，在第一高阻运算放大器的反相输入端和输出端之间连接负反馈电阻电路，构成一个闭环反馈放大电路。根据测量的第一高阻运算放大器的输出端的电压信号值，得到表征被测元器件的微小电流的电参数信号，测量微小电流的范围从十位皮安级电流到百位微安级电流，满足场效应晶体管型的电子元器件偏置电流或漏电流的测试要求，测量精度高，电路结构简单、容易操作、测量方便、快捷。

在一个具体实施例中，可以是，连接在第一高阻运算放大器的反相输入端与输出端之间负反馈电阻电路1包括：一个负反馈电阻RF。参照图1所示，所述负反馈电阻电路1的负反馈电阻RF与比例电阻Ra串联后分别连接在第一高阻运算放大器U1的反相输入端与输出端，比例电阻Rb的一端与所述比例电阻Ra和所述负反馈电阻RF的连接处(如图中节点B所示)连接；所述比例电阻Rb的另一端接地。当电流流入或流出被测元器件时，根据基尔霍夫电流定律(KCL)，节点A的电流和为零，那么流入或流出被测元器件的电流 Imin加上流过第一高阻运算放大器U1的反相输入端的电流之和等于流过电阻 Rf的电流，由第一高阻运算放大器U1的虚断特性可知，第一高阻运算放大器 U1的偏置电流远远小于流过被测元器件的电流Imin，所以第一高阻运算放大器U1的偏置电流可以忽略不计。因此流过被测元器件的电流Imin近似等于流过电阻RF的电流。同时，根据基尔霍夫电流定律(KCL)，节点B的电流值为零，即流过电阻RF、Ra和Rb的电流和为零。由此，可以得出：第一高阻运算放大器U1的输出端的电压信号Vo＝-Imin*RF(1+Ra/Rb)——公式(1)。因此，测得第一高阻运算放大器U1的输出端的电压信号值Vo，根据公式(1) 就可以得到表征被测元器件的微小电流的电参数信号，从而实现被测元器件的偏置电流或漏电流的测量。

在一个具体实施例中，所述负反馈电阻RF上还并联一个补偿电容CF(图中未示出)。所述补偿电容CF，既可以实现微小电流储能，又可以改变相位裕量，起到稳定电路的作用。

在一个具体实施例中，参照图1所示，所述第一高阻运算放大器U1的同相输入端和反相输入端通过两个对向并联的二极管D1和D2连接。使用两个对向连接的二极管作为钳位电压保护电路，当第一高阻运算放大器U1的同相输入端和反相输入端由于瞬时电压变化，造成电位差大于二极管D1或D2的耐受电压值时，二极管断路，防止出现第一高阻运算放大器U1的同、反相输入端的电压偏差超过虚短连接的电压极限值，同、反相输入端的电压偏差电压经过第一运算放大器进行放大，造成第一运算放大器的电路损坏。

在一个具体实施例中，参照图2所示，微小电流测试电路还包括：DC/DC 电源，参考电位点IMCOM连接所述DC/DC电源的公共端，所述DC/DC电源的正、反向电源输出端分别连接所述第一高阻运算放大器U1的正、反向电压供电输入端(IMF+、IMF-)，用于向第一高阻运算放大器U1供电，使第一高阻运算放大器U1正常工作。使用DC/DC浮动地特性，可使本实用新型实施例的微小电流测试电路具有提供正、负电压下的测流能力。

具体地，还可以是，参照图3所示，微小电流测试电路还包括，与所述 DC/DC电源连接的防干扰电路，所述防干扰电路：包括滤波电解电容E1、旁路电容C1、滤波电解电容E2和旁路电容C2；所述滤波电解电容E1和旁路电容C1并联在DC/DC电源的正向电源输出端与参考电位点IMCOM之间，滤波电解电容E2和旁路电容C2并联在DC/DC电源的反向电源输出端与参考电位点IMCOM之间。通过防干扰电路，降低电源干扰，提高测试结果的精确度。

在一个具体实施例中，参照图1所示，所述程控电源VIS通过电阻Ris连接所述参考电位点IMCOM。

本实用新型实时中，DC/DC电源的公共端的连接参考电位点IMCOM，作为微小电流测试电路的参考电压信号，参照图3所示，DC/DC电源的1、3脚即正、反向电源输出端的输出电压为相对于参考电位点IMCOM的电压。例如， DC/DC电源的正、反向输出端提供电压为输出为±15伏，若程控电源VIS不工作，参考电位点IMCOM的电压值为0伏，则1/3脚输出为±15伏；若程控电源VIS正常工作时，假设使参考电位点IMCOM的电压值为15伏，则DC/DC 电源的反向电源输出端提供电压为0伏，正向电源输出端提供电压为30伏。通过调节参考电位点IMCOM的电压值，调节被测元器件与第一高阻运算放大器U1的反相输入端的电位差，实现电流方向控制，使电流流入或者流出被测元器件。

在一个具体实施例中，所述参考电位点IMCOM与第一高阻运算放大器 U1的同相输入端之间还串联有失调电阻Ros(图1中未示出)。通过在第一高阻运算放大器U1的同相输入端与参考电位点IMCOM之间连接失调电阻Ros，用于平衡偏置电流带来的第一高阻运算放大器U1的同、反相输入端的电压失调值，提供偏置电流通路，进行电压补偿，平衡电路失调电压。

由于图1所示的反相放大电路中，第一高阻运算放大器U1的反相输入端电流与输出端电压的方向始终相反，为了使测量得到的表征输入端电流的电压信号与输入端电流方向相一致，在第一高阻运算放大器U1的输出端还连接有反向电路。参照图4所示，作为本实用新型实施例的一个具体实施方式，所述反向电路，包括：

第二高阻运算放大器U2，所述第二高阻运算放大器U2的同、反相输入端虚短连接，所述第二高阻运算放大器U2的反相输入端经电阻Rrev连接到所述第一高阻运算放大器U1的输出端，所述第二高阻运算放大器U2的反相输入端与输出端之间通过负反馈电阻RF’连接。具体地，可以是，所述第二高阻运算放大器U2的输出端连接电压测量单元VM；所述电压测量单元VM经电阻 Rvm与所述参考电位点IMCOM连接。根据电压测量单元VM测量得到方向电路输出端与参考电位点IMCOM的电位差，即可得到输出端电压VM，由于电压VM与第一高阻运算放大器U1的输出端电压Vo反向，所以将电压VM带入公式(1)中，得到被测元器件的微小电流，即Imin＝VM*(1+Ra/Rb)/RF。具体的，还可以是，所述负反馈电阻RF’并联连接补偿电容C’。具体的，还可以是，所述第二高阻运算放大器U2的同相输入端和反相输入端通过两个对向并联的二极管D3和D4连接。

本实用新型实施例中，图4所示的反向电路中，第二高阻运算放大器U2 的同、反相输入端的两个二极管的钳位电压保护电路、负反馈电阻RF’以及补偿电容C’的实现方式与图1所示的第一高阻运算放大器U1中相类似，具体的实现过程，可以参照对图1中电路的详细描述，在此不再赘述。

图4所示的反向电路仅为本实用新型实施例的一个具体实现方式，在实用新型实施例中，现有技术中，能够用于实现电压反向的任一反向电路，只要用于能够实现本实用新型实施例的电压反向的目地，均可以用于本实用新型实施例中，本实用新型实施例中，对此不作具体限定。

在一个具体实施例中，可以是，连接在第一高阻运算放大器U1的反相输入端与输出端之间的负反馈电阻电路1包括：两个以上并联连接的负反馈电阻 RF1～RFn，所述两个以上负反馈电阻RF1～RFn分别串联一个开关，其中N为大于等于2的整数。参照图5所示，负反馈电阻电路1的负反馈电阻RF1、RF2 和RF3分别连接开关K1、K2和K3。通过选择不同电阻阻值的负反馈电阻RF1、 RF2和RF3，根据被测元器件的偏置电流或漏电流的电流大小，选择闭合开关 K1、K2或K3，形成负反馈通路，实现微小电流测量。所述开关K1、K2和 K3可以是干簧继电器，采用干簧继电器隔离微小漏电流，以提高测试电路的精度。具体的，还可以是，在负反馈电阻RF1、RF2和RF3上分别并联有补偿电容C1、C2和C3，在实现微小电流储能的同时，可以改变相位裕量，起到稳定电路的作用。

本实用新型实施例中，并联至少两组负反馈电阻，通过切换开关，使其中一组负反馈电阻电路1导通，形成负反馈通路。可以根据不同被测元器件的电流参数范围，切换不同的开关，在合适电流等级范围内对被测元器件的微小电流进行测量，使用本实用新型实施例提供的微小电流测试电路，实现不同被测元器件的微小电流的跨级测量，测量精度高，可以实现十位皮安级电流至百位微安级的微小电流测量。

参照图5所示，选择第一高阻运算放大器U1为AD711型运算放大器，负反馈电阻RF1、RF2和RF3的阻值分别为10kΩ、1MΩ和10MΩ，对应的，补偿电容C1、C2和C3的电容值为550pF、330pF和100pF，开关K1、K2和K3选择的干簧继电器的型号为SIP1A12，分别用于测量被测元器件的微小电流在200μA、2μA和200nA级的电流值。当电流流入或流出被测元器件时，根据基尔霍夫电流定律(KCL)，节点A的电流和为零，那么流入或流出被测元器件的电流Imin加上流过第一高阻运算放大器U1的反相输入端的电流之和等于流过负反馈电阻RF1、RF2或RF3的电流，由第一高阻运算放大器U1的虚断特性可知，第一高阻运算放大器U1的偏置电流远远小于流过被测元器件的电流Imin，所以第一高阻运算放大器U1的偏置电流可以忽略不计。因此流过被测元器件的电流Imin近似等于流过负反馈电阻RF1、RF2或RF3的电流。由此，可以得出：第一高阻运算放大器U1的输出端的电压信号Vo＝-Imin*RFn ——公式(2)。因此，测得第一高阻运算放大器U1的输出端的电压信号值Vo，根据公式(2)就可以得到表征被测元器件的微小电流的电参数信号，从而实现被测元器件的偏置电流或漏电流的测量。

在一个具体实施例中，所述两个以上并联连接的负反馈电阻RF1～RFn中的至少一个负反馈电阻RFm与所述比例电阻Ra串联，所述比例电阻Rb的一端与所述比例电阻Ra和所述负反馈电阻RFm的连接处连接；所述比例电阻 Rb的另一端接地，其中m为整数，且m∈【1，……，n】。参照图5所示，所述负反馈电阻RF3连接开关K4后，与比例电阻Ra串联后分别连接在第一高阻运算放大器U1的反相输入端与输出端，比例电阻Rb的一端与所述比例电阻Ra和所述负反馈电阻RF3的连接处(如图5中节点B所示)连接；所述比例电阻Rb的另一端接地。当电流流入或流出被测元器件时，根据基尔霍夫电流定律(KCL)，节点A的电流和为零，那么流入或流出被测元器件的电流Imin 加上流过第一高阻运算放大器U1的反相输入端的电流之和等于流过电阻RF3 的电流，由第一高阻运算放大器U1的虚断特性可知，第一高阻运算放大器U1 的偏置电流远远小于流过被测元器件的电流Imin，所以第一高阻运算放大器 U1的偏置电流可以忽略不计。因此流过被测元器件的电流Imin近似等于流过电阻RF3的电流。同时，根据基尔霍夫电流定律(KCL)，节点B的电流值为零，即流过电阻RF3、Ra和Rb的电流和为零。由此，可以得出：第一高阻运算放大器U1的输出端的电压信号Vo＝-Imin*RF3(1+Ra/Rb)——公式(3)。因此，测得第一高阻运算放大器U1的输出端的电压信号值Vo，根据公式(3) 就可以得到表征被测元器件的微小电流的电参数信号，从而实现被测元器件的偏置电流或漏电流的测量。

参照图5所示，所述第一高阻运算放大器U1的同相输入端和反相输入端通过两个对向并联的二极管D1和D2连接。

参照图2所示，所述参考电位点IMCOM连接所述DC/DC电源的公共端，所述DC/DC电源的正、反向电源输出端分别连接所述第一高阻运算放大器U1 的正、反向电压供电输入端。

参照图3所示，本实用新型实施例提供的微小电流测试电路，还包括：与所述DC/DC电源连接的防干扰电路，所述防干扰电路：包括滤波电解电容E1、旁路电容C1、滤波电解电容E2和旁路电容C2；所述滤波电解电容E1和旁路电容C1并联在DC/DC电源的正向输出电源与参考电位点IMCOM之间，滤波电解电容E2和旁路电容C2并联在DC/DC电源的反向输出电源与参考电位点 IMCOM之间。

参照图5所示，所述程控电源VIS通过电阻Ris连接所述参考电位点 IMCOM。

参照图5所示，所述参考电位点IMCOM与第一高阻运算放大器U1的同相输入端之间还串联有失调电阻Ros。

参照图4所示，所述微小电流测试电路还包括：连接第一高阻运算放大器 U1的输出端的反向电路，所述反向电路，包括：

第二高阻运算放大器U2，所述第二高阻运算放大器U2的同、反相输入端虚短连接，所述第二高阻运算放大器U2的反相输入端经电阻Rrev连接到所述第一高阻运算放大器U1的输出端，所述第二高阻运算放大器U2的反相输入端与输出端之间通过负反馈电阻RF’连接。具体的，可以是，所述第二高阻运算放大器U2的输出端连接电压测量单元VM；所述电压测量单元VM经电阻 Rvm与所述参考电位点IMCOM连接。所述负反馈电阻RF’并联连接补偿电容 C’。

实施例2

基于同一发明构思，本实用新型实施例还提供一种微小电流测试装置，包括：上述实施例一中任一项所述的微小电流测试电路。

参照图6、图7、图8或图9所示，图中A即为本实用新型实施例提供的微小电流测试装置，用于测量电子元器件模拟开关ADG508A或ADG509A的漏电流，其中，图6、图7、图8或图9中电压V1或V2的电压值是通过调节程控电源VIS得到的。电子元器件模拟开关ADG508A或ADG509A的漏电流参数手册摘录如表1所示：

表1：ADG508A/ADG509A漏电流参数手册

根据表1所示，采用本实用新型实施例提供的微小电流测试装置A，选择合适的负反馈电阻阻值，通过调节程控电源VIS，使参考电位点IMCOM点电压值分别为-10V、+10V，测量得到电子元器件模拟开关ADG508A或ADG509A 的关断状态的输入漏电流IS(off)、关断状态的输出漏电流ID(off)、通电时的输入漏电流ID(on)以及输入端全供电情况下的输出端漏电流IDIFF。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

除非另外具体陈述，术语比如处理、计算、运算、确定、显示等等可以指一个或更多个处理或者计算系统、或类似设备的动作和/或过程，所述动作和/ 或过程将表示为处理系统的寄存器或存储器内的物理(如电子)量的数据操作和转换成为类似地表示为处理系统的存储器、寄存器或者其他此类信息存储、发射或者显示设备内的物理量的其他数据。信息和信号可以使用多种不同的技术和方法中的任何一种来表示。例如，在贯穿上面的描述中提及的数据、指令、命令、信息、信号、比特、符号和码片可以用电压、电流、电磁波、磁场或粒子、光场或粒子或者其任意组合来表示。

应该明白，公开的过程中的步骤的特定顺序或层次是示例性方法的实例。基于设计偏好，应该理解，过程中的步骤的特定顺序或层次可以在不脱离本公开的保护范围的情况下得到重新安排。所附的方法权利要求以示例性的顺序给出了各种步骤的要素，并且不是要限于所述的特定顺序或层次。

在上述的详细描述中，各种特征一起组合在单个的实施方案中，以简化本公开。不应该将这种公开方法解释为反映了这样的意图，即，所要求保护的主题的实施方案需要清楚地在每个权利要求中所陈述的特征更多的特征。相反，如所附的权利要求书所反映的那样，本实用新型处于比所公开的单个实施方案的全部特征少的状态。因此，所附的权利要求书特此清楚地被并入详细描述中，其中每项权利要求独自作为本实用新型单独的优选实施方案。

本领域技术人员还应当理解，结合本文的实施例描述的各种说明性的逻辑框、模块、电路和算法步骤均可以实现成电子硬件、计算机软件或其组合。为了清楚地说明硬件和软件之间的可交换性，上面对各种说明性的部件、框、模块、电路和步骤均围绕其功能进行了一般地描述。至于这种功能是实现成硬件还是实现成软件，取决于特定的应用和对整个系统所施加的设计约束条件。熟练的技术人员可以针对每个特定应用，以变通的方式实现所描述的功能，但是，这种实现决策不应解释为背离本公开的保护范围。

结合本文的实施例所描述的方法或者算法的步骤可直接体现为硬件、由处理器执行的软件模块或其组合。软件模块可以位于RAM存储器、闪存、ROM 存储器、EPROM存储器、EEPROM存储器、寄存器、硬盘、移动磁盘、CD-ROM 或者本领域熟知的任何其它形式的存储介质中。一种示例性的存储介质连接至处理器，从而使处理器能够从该存储介质读取信息，且可向该存储介质写入信息。当然，存储介质也可以是处理器的组成部分。处理器和存储介质可以位于 ASIC中。该ASIC可以位于用户终端中。当然，处理器和存储介质也可以作为分立组件存在于用户终端中。

对于软件实现，本申请中描述的技术可用执行本申请所述功能的模块(例如，过程、函数等)来实现。这些软件代码可以存储在存储器单元并由处理器执行。存储器单元可以实现在处理器内，也可以实现在处理器外，在后一种情况下，它经由各种手段以通信方式耦合到处理器，这些都是本领域中所公知的。

上文的描述包括一个或多个实施例的举例。当然，为了描述上述实施例而描述部件或方法的所有可能的结合是不可能的，但是本领域普通技术人员应该认识到，各个实施例可以做进一步的组合和排列。因此，本文中描述的实施例旨在涵盖落入所附权利要求书的保护范围内的所有这样的改变、修改和变型。此外，就说明书或权利要求书中使用的术语“包含”，该词的涵盖方式类似于术语“包括”，就如同“包括，”在权利要求中用作衔接词所解释的那样。此外，使用在权利要求书的说明书中的任何一个术语“或者”是要表示“非排它性的或者”。

Claims (10)

1.一种微小电流测试电路，其特征在于，包括：第一高阻运算放大器和至少一组负反馈电阻电路；

所述第一高阻运算放大器的同相输入端连接参考电位点IMCOM，所述参考电位点IMCOM与程控电源VIS连接；所述第一高阻运算放大器的反相输入端连接被测元器件，所述第一高阻运算放大器的同、反相输入端虚短连接；所述至少一组负反馈电阻电路连接在第一高阻运算放大器的反相输入端与输出端之间，形成负反馈通路。

2.如权利要求1所述的微小电流测试电路，其特征在于，所述至少一组负反馈电阻电路包括：

一个负反馈电阻RF；或，

两个以上并联连接的负反馈电阻RF1～RFn，两个以上所述负反馈电阻RF1～RFn分别串联一个开关，其中N为大于等于2的整数。

3.如权利要求2所述的微小电流测试电路，其特征在于，所述至少一组负反馈电阻电路，还包括：比例电阻Ra和比例电阻Rb；

所述负反馈电阻RF与所述比例电阻Ra串联，所述比例电阻Rb的一端与所述比例电阻Ra和所述负反馈电阻RF的连接处连接；所述比例电阻Rb的另一端接地；或，

两个以上所述负反馈电阻RF1～RFn中的至少一个负反馈电阻RFm与所述比例电阻Ra串联，所述比例电阻Rb的一端与所述比例电阻Ra和所述负反馈电阻RFm的连接处连接；所述比例电阻Rb的另一端接地，其中m为整数，且m∈【1，……，n】。

4.如权利要求1-3任一项所述的微小电流测试电路，其特征在于，所述负反馈电阻电路，还包括：至少一个补偿电容；每个补偿电容分别与一个负反馈电阻并联。

5.如权利要求4所述的微小电流测试电路，其特征在于，所述第一高阻运算放大器的同相输入端和反相输入端通过两个对向并联的二极管连接。

6.如权利要求4所述的微小电流测试电路，其特征在于，还包括：DC/DC电源，所述参考电位点IMCOM连接所述DC/DC电源的公共端，所述DC/DC电源的正、反向电源输出端分别连接所述第一高阻运算放大器的正、反向电压供电输入端。

7.如权利要求6所述的微小电流测试电路，其特征在于，还包括：与所述DC/DC电源连接的防干扰电路，所述防干扰电路：包括滤波电解电容E1、旁路电容C1、滤波电解电容E2和旁路电容C2；所述滤波电解电容E1和旁路电容C1并联在DC/DC电源的正向输出电源与参考电位点IMCOM之间，滤波电解电容E2和旁路电容C2并联在DC/DC电源的反向输出电源与参考电位点IMCOM之间。

8.如权利要求4所述的微小电流测试电路，其特征在于，所述程控电源VIS通过电阻Ris连接所述参考电位点IMCOM；所述参考电位点IMCOM与第一高阻运算放大器的同相输入端之间还串联有失调电阻Ros。

9.如权利要求4所述的微小电流测试电路，其特征在于，还包括：连接第一高阻运算放大器的输出端的反向电路，所述反向电路，包括：

第二高阻运算放大器，所述第二高阻运算放大器的同、反相输入端虚短连接，所述第二高阻运算放大器的反相输入端经电阻Rrev连接到所述第一高阻运算放大器的输出端，所述第二高阻运算放大器的反相输入端与输出端之间通过负反馈电阻RF’连接；

所述第二高阻运算放大器的输出端连接电压测量单元VM；所述电压测量单元VM经电阻Rvm与所述参考电位点IMCOM连接；

所述负反馈电阻RF’并联连接补偿电容C’。

10.一种微小电流测试装置，其特征在于，包括：权利要求1-9任一项所述的微小电流测试电路。

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