CN210528474U

CN210528474U - 一种用于高纯碲蒸馏的增效装置

Info

Publication number: CN210528474U
Application number: CN201921263601.6U
Authority: CN
Inventors: 余学田; 余涛; 冯超; 龙翔
Original assignee: Asbestos Kuoshan New Materials Technology Co ltd
Current assignee: Asbestos Kuoshan New Materials Technology Co ltd
Priority date: 2019-08-06
Filing date: 2019-08-06
Publication date: 2020-05-15
Anticipated expiration: 2029-08-06

Abstract

一种用于高纯碲蒸馏的增效装置，安装在真空蒸馏炉的恒温段与冷却结晶段之间，用于解决现有技术中恒温段热量扩散到冷却结晶段，影响冷却结晶段底部结晶的问题，其结构包括导流筒、冷却装置，导流筒位于真空蒸馏炉内，吸收部分恒温段的热量，减少冷却结晶段底端的受热面积，冷却装置设置在炉壁外，对冷却洁净区部分的炉壁进行冷却，进一步降低冷却结晶段的温度；本实用新型结构简单，对冷却结晶段底部的降温作用显著，结晶更均匀。

Description

一种用于高纯碲蒸馏的增效装置

技术领域

本实用新型属于高纯碲蒸馏设备技术领域，具体涉及一种用于高纯碲蒸馏的增效装置。

背景技术

纯度在5N及以上的高纯碲是半导体器件的重要原料，通常采用真空蒸馏来进行量产，理论上，碲是低熔点、高蒸汽压元素，真空蒸馏过程中易于绝大多数杂质分离，现有技术提供的高纯碲蒸馏炉自下而上一般分为加热蒸发区、恒温区和冷凝结晶区，传统蒸馏炉的恒温区和冷凝结晶区直接连通无间隔，恒温区顶部热量容易向冷凝结晶区底部扩散，影响碲蒸气冷凝结晶面积，使冷凝结晶区底部结晶减少，造成结晶不均匀，影响高纯碲产品产量及质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于高纯碲蒸馏的增效装置，不仅有效降低恒温区的温度向冷凝结晶区扩散，而且能够提高产品产量。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于高纯碲蒸馏的增效装置，包括：真空蒸馏炉、增效装置，所述增效装置包括导流筒、固定杆，所述导流筒是圆柱体，通过固定杆竖直固定在真空蒸馏炉内的恒温段以及冷却结晶段中，导流筒朝下的端面设置有弧形凸起；所述固定杆两端分别与导流筒、真空蒸馏炉炉壁采用螺栓连接等可拆卸连接方式进行连接，将导流筒固定在真空蒸馏炉内。

进一步地，还包括冷却装置，所述冷却装置设置在炉壁冷却结晶区部分的外侧，对冷却结晶区部分的炉壁进行冷却。

进一步地，所述冷却装置是内部通有流动水的冷却水管。

进一步地，所述导流筒的截面直径是炉体内腔截面直径的3/10~4/10。

本实用新型至少具有以下有益效果：

（1）导流筒设置在恒温区以及冷凝结晶区之间的部分，能够吸收部分恒温区上升的气体温度，适当阻隔恒温区顶部热量扩散至冷凝结晶区。

（2）导流筒位于蒸馏炉内，占据了蒸馏炉内的部分空间，使得被蒸发的物质在导流筒两侧流动速度更快，使冷却区较远的部分也会有碲结晶，结晶更均匀。

（3）导流筒通过固定杆与炉壁固定，同时通过炉壁将热量散出。

（4）冷却结晶区外设置有冷却装置，通过冷却装置来降低冷却结晶区以及导流筒的温度。

附图说明

构成本申请一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。

附图中：

图1示意性示出了本实用新型的结构示意图；

其中，上述附图包括以下附图标记：

1-炉壁，21-导流筒，22-固定杆，3-冷却装置。

具体实施方式

应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明；除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式；如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系；应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。

实施例

如图1所示的是一种用于高纯碲蒸馏的增效装置，安装在真空蒸馏炉的恒温段与冷却结晶段之间，用于解决现有技术中恒温段热量容易扩散到冷却结晶段，影响冷却结晶段底部结晶的问题，增效装置包括导流筒21、冷却装置3，导流筒21位于真空蒸馏炉内，吸收部分恒温段的热量，减少冷却结晶段底端的受热面积，冷却装置3设置在炉壁1外，对冷却洁净区部分的炉壁1进行冷却，进一步降低冷却结晶段的温度。

如图1所示，增效装置包括导流筒21、固定杆22，导流筒21是圆柱体，通过固定杆22竖直固定在炉体中，导流筒21的轴线与炉体轴线重合，导流筒21朝下的端面设置有弧形凸起，弧形凸起与导流筒21侧面过渡平滑，使得从底部上升的蒸汽会顺着弧形凸起流向导流筒21侧面，在导流筒21的流动更加顺畅；导流筒21位于炉体的恒温段以及冷却结晶段中，二者分界线如图1中虚线所示，导流筒21能够吸收上升蒸汽中的部分热量，从而减少恒温段向冷却结晶段扩散更多的热量，另外，导流筒21占据了炉体中的部分空间，相当于减少了气体可流动面积，而蒸发率并不会减少，所以蒸汽上升并经过到导流筒21时速度会更快，使远端的冷却结晶面也有碲结晶，使结晶分布更均匀，不会集中在某个区域。

固定杆22是用于将导流筒21固定在炉内的固定装置，两端分别与导流筒21、炉壁1采用螺栓可拆卸地连接在一起，固定杆22除了固定导流筒21还起到传热的作用，导热筒在使用一定时间以后温度会上升，其吸收恒温部温度的能力就会降低，因此通过固定杆22将热量向炉壁1传导，保持导流筒21低于碲蒸汽温度。

冷却装置3设置在炉壁1冷却结晶区部分的外侧，如图1所示，用于对冷却结晶区部分的炉壁1进行冷却，由于冷却结晶区部分的炉壁1在使用过程中会接受到通过固定杆22传导来的热量，所以温度更高，所以需要对其进行冷却，以保证导流筒21的正常使用，冷却装置3是内部通有流动水的冷却水管，根据具体使用情况可以设置多根将炉壁1包裹，提高冷却效果，本实施例中仅是示意性描述，并不是对数量的限制。

作为一种优选实施例，所述导流筒的截面直径是炉体内腔截面直径的3/10~4/10。

作为一种优选的实施例，所述导流筒的材质为石墨，有良好的导热性。

Claims

1.一种用于高纯碲蒸馏的增效装置，包括：真空蒸馏炉，其特征在于：还包括增效装置，所述增效装置包括导流筒、固定杆，所述导流筒是圆柱体，通过固定杆竖直固定在真空蒸馏炉内的恒温段以及冷却结晶段中，导流筒朝下的端面设置有弧形凸起；所述固定杆两端分别与导流筒、真空蒸馏炉炉壁采用螺栓连接等可拆卸连接方式进行连接，将导流筒固定在真空蒸馏炉内。

2.根据权利要求1所述的一种用于高纯碲蒸馏的增效装置，其特征在于：还包括冷却装置，所述冷却装置设置在真空蒸馏炉炉壁外与冷却结晶区对应的位置，对冷却结晶区部分的炉壁进行冷却。

3.根据权利要求2所述的一种用于高纯碲蒸馏的增效装置，其特征在于：所述冷却装置是内部通有流动水的冷却水管。

4.根据权利要求1所述的一种用于高纯碲蒸馏的增效装置，其特征在于：所述导流筒的截面直径是炉体内腔截面直径的3/10~4/10。