CN210522153U - 一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置，其包括管体以及固定设置在管体内部的静电除尘圈，所述静电除尘圈的轴线与管体的轴线重合，静电除尘圈中的吸尘圈表面通有静电。本实用新型具有对外界进入通风管的空气进行一个初步的过滤、减少滤片上灰尘量的效果。

Description

一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置

技术领域

本实用新型涉及通风管的技术领域，尤其是涉及一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置。

背景技术

洁净室指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间，洁净室为了保持空气的流通，一般会安装通风装置对洁净室进行通风，但是为了保证输送进入洁净室的空气能够尽可能含有更少的灰尘，一般会对空气进行过滤。

现有技术中一篇授权公告号为CN201203237Y的中国专利中公开了一种通风管，该种通风管内部固定设置有滤片对空气进行过滤，外界空气从通风管靠近室外的一端进入，然后再经过滤片过滤，使得外界空气中的灰尘颗粒被滤片吸收绝大部分，输入到室内的空气中灰尘的含量就会减少。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：外界空气中含有的灰尘颗粒是比较多的，当外界空气进入通风管后直接就被滤片进行过滤，灰尘颗粒绝大部分就被留在滤片靠近室外一侧的表面上，使得滤片靠近室外一侧表面堆积比较多的灰尘，这样就容易造成滤片的堵塞，降低滤片的过滤效果，故而有待改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置，其具有对外界进入通风管的空气进行一个初步的过滤、减少滤片上灰尘量的效果。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置，包括管体以及固定设置在管体内部的静电除尘圈，所述静电除尘圈的轴线与管体的轴线重合，静电除尘圈中的吸尘圈表面通有静电。

通过采用上述技术方案，因静电除尘圈中的吸尘圈表面通有静电，在外界空气进入到管体中经过吸尘圈时，外界空气中的灰尘颗粒就会在吸尘圈的静电作用下被吸附在吸尘圈上，不易通过吸尘圈，从而起到一个对外界空气进行初步过滤的作用，外界空气在经过吸尘圈初步过滤后再经过滤片时就不易对滤片形成堵塞，有利于提升滤片的过滤效果。

本实用新型进一步设置为，所述静电除尘圈还包括通电座，通电座用于外接电源对所述吸尘圈通静电，所述管体侧壁上设置有安装孔，通电座固定设置在安装孔中且通电座的侧表面与安装孔的侧壁抵接。

通过采用上述技术方案，通电座的设置，方便对吸尘圈通静电，有利于吸尘圈与外接电源的连接，安装孔的设置，方便通电座的安装，以及有利于通电座穿出管体内部与外接电源连接。

本实用新型进一步设置为，所述管体内部固定设置有固定杆，固定杆的延伸方向与管体直径的延伸方向相同，固定杆上固定设置有U形卡件，所述吸尘圈卡嵌在U形卡件上。

通过采用上述技术方案，固定杆与U形卡件的设置，方便吸尘圈的安装与拆卸，有利于对吸尘圈的更换。

本实用新型进一步设置为，所述管体水平设置，管体外侧表面下端固定设置有集尘漏斗，集尘漏斗上端端口与管体内部连通，集尘漏斗上端端口竖直对准所述吸尘圈，集尘漏斗下端的端口处塞有封口软塞。

通过采用上述技术方案，因管体水平设置，使得吸尘圈上所吸附的灰尘在掉下时就可以掉在集尘漏斗中，被集尘漏斗收集，不易在管体内形成灰尘的堆积，而且进入到集尘漏斗内的灰尘可以从集尘漏斗下端的端口处掉出，方便对灰尘进行收集清理，封口软塞的设置，在集尘漏斗不排出灰尘时，可以将集尘漏斗下端端口堵上，避免外界空气中的灰尘进入到管体内部。

本实用新型进一步设置为，所述封口软塞的下端处于所述集尘漏斗下端的端口内部，封口软塞下端端面上铰接有用于拉动封口软塞的拉环。

通过采用上述技术方案，封口软塞下端处于集尘漏斗的下端端口内部，使得封口软塞塞在集尘漏斗的下端端口处时不易被误触到，提升了封口软塞塞住集尘漏斗下端端口的稳定性，拉环的设置，在需要将封口软塞拉出时手会更好着力，拉动也会更加的方便。

本实用新型进一步设置为，所述集尘漏斗的下端端口处铰接有封盖，封盖将所述封口软塞的下端表面盖住，封盖与集尘漏斗为有阻尼的铰接。

通过采用上述技术方案，封盖的设置，很好的将封口软塞隐藏起来，使其不至于暴露在外，封口软塞就不易被外界空气腐蚀，能够更好的保持自身的弹性与良好的密封效果，封盖与集尘漏斗为有阻尼的铰接，使得封盖不易在重力的作用下自己打开，提升了封盖盖住封口软塞的效果。

本实用新型进一步设置为，所述管体靠近进风一端固定设置有一级除尘网，一级除尘网与管体的截面平行，并且一级除尘网的边缘与管体的内侧壁抵接，新风进入管体后首先经过一级除尘网后再经过所述静电除尘圈。

通过采用上述技术方案，一级除尘网的设置，使得外界空气中体积比较大的灰尘就可以被阻拦下来，不易进入到静电除尘圈所在的位置上，减轻了静电除尘网的负担。

本实用新型进一步设置为，所述管体远离进风一端固定设置有二级除尘网，二级除尘网与管体的截面平行，并且二级除尘网的边缘与管体的内侧壁抵接，新风经过所述静电除尘圈后再经过二级除尘网。

通过采用上述技术方案，二级除尘网的设置，可以很好的防止静电除尘圈上意外掉落的灰尘直接进入到室内，起到一个对静电除尘圈除尘作用的补充，提升除尘效果。

综上所述，本实用新型的有益技术效果为：

1.通过在管体中固定设置一个静电除尘圈，使得进入管体中的外界空气所含有的灰尘就会被静电除尘圈吸附掉一部分，减少了空气中所含灰尘的量，进而使得空气在经过滤片时，滤片上不易堆积太多的灰尘，有利于提升滤片的过滤效果；

2.集尘漏斗的的设置，使得静电除尘圈上吸附下来的灰尘可以从集尘漏斗的位置上被清理出管体的内部，有利于保持管体内部的清洁，封口软塞的设置，使得外界空气不易从集尘漏斗所在的位置处进入到管体内部。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是图1中A-A方向的剖视结构示意图。

图中，1、管体；11、法兰盘；12、一级除尘网；13、二级除尘网；14、固定杆；141、U形卡件；15、安装孔；2、静电除尘圈；21、吸尘圈；22、通电座；3、集尘漏斗；31、封口软塞；311、拉环；32、封盖。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

参照图1与图2，为本实用新型公开的一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置，包括管体1以及固定设置在管体1内部的静电除尘圈2，管体1呈圆管形且为PVC塑料材质，管体1在其它实施例中还可以呈长方体形状，管体1的两端各熔接有一个法兰盘11用于与其它管道连接，管体1水平设置，管体1靠近进风一端通过螺钉固定有一个一级除尘网12，一级除尘网12呈圆盘形且为不锈钢材质，一级除尘网12与管体1的截面平行，并且一级除尘网12的边缘与管体1的内侧壁抵接，新风进入管体1后首先经过一级除尘网12后再经过静电除尘圈2，避免空气中体积比较大的灰尘颗粒顺着管体1直接到达静电除尘圈2所在的位置。

参照图1与图2，管体1远离进风一端通过螺钉固定有二级除尘网13，二级除尘网13为纱网，二级除尘网13与管体1的截面平行，并且二级除尘网13的边缘与管体1的内侧壁抵接，新风经过静电除尘圈2后再经过二级除尘网13，使得即使有灰尘从静电除尘圈2上掉下也不易跟随新风进入到室内。

参照图1与图2，静电除尘圈2的轴线与管体1的轴线重合，静电除尘圈2包括吸尘圈21与通电座22，吸尘圈21设置在管体1的内部，吸尘圈21呈螺旋形且为不锈钢材质，吸尘圈21表面通有静电；管体1内部熔接有固定杆14，固定杆14呈长方体形状且为硬质塑料材质，固定杆14的延伸方向与管体1直径的延伸方向相同，可以为竖直方向也可以为水平方向，此处的固定杆14为竖直方向设置，固定杆14上通过螺栓固定有U形卡件141，U形卡件141为硬质塑料材质，U形卡件141沿着固定杆14的延伸方向设置有相互平行的两个，U形卡件141的开口朝向远离固定杆14一侧，吸尘圈21卡嵌在U形卡件141的U形卡槽中，并且吸尘圈21与U形卡件141上的U形卡槽过盈配合，使得吸尘圈21牢牢固定在U形卡件141上。

参照图1与图2，通电座22用于外接电源对吸尘圈21通静电，通电座22通过导线与吸尘圈21电连接，通电座22为一个插座，通电座22呈长方体形状，管体1侧壁上开设有安装孔15，安装孔15的截面呈长方形，通电座22固定设置在安装孔15中且通电座22的侧表面与安装孔15的侧壁抵接，通电座22与安装孔15过盈配合，通电座22的插孔朝向管体1的外侧，方便外接电源通过导线与通电座22连接。

参照图1与图2，外接电源对通过通电座22对吸尘圈21通上静电，使得吸尘圈21带上静电，在外界空气从管体1进风的一端进入到管体1中经过吸尘圈21时，吸尘圈21上的静电就会将外界空气中的灰尘颗粒吸附在吸尘圈21上，使得外界空气中的灰尘颗粒减少，达到一个初步除尘的效果。

参照图1与图2，当吸尘圈21上的灰尘聚集的比较多时，为了将吸尘圈21上所吸附的灰尘清除，在管体1外侧表面下端熔接有一个集尘漏斗3，集尘漏斗3呈圆锥形且为硬质塑料材质，集尘漏斗3的上下两端开口设置，并且下端开口的直径小于上端开口的直径，集尘漏斗3上端端口穿过管体1与管体1的内部连通，集尘漏斗3上端端口还竖直对准吸尘圈21，使得吸尘圈21上的灰尘掉下来时就可以被集尘漏斗3收集。

参照图1与图2，在需要清理吸尘圈21上的灰尘时，首先将外接电源连接在通电座22上的导线断开，使得通电座22与吸尘圈21断电，此时吸尘圈21上的静电就会慢慢消失，因静电作用被吸附在吸尘圈21上的灰尘颗粒也就在自身重力的作用下下掉，掉入到集尘漏斗3中，被集尘漏斗3收集，因集尘漏斗3的下端开口设置，所以灰尘就可以从集尘漏斗3的下端被清理出去，简单方便。

参照图1与图2，为了避免在不需要清理灰尘时，外界空气中的灰尘从漏斗的下端进入到管体1的内部，在集尘漏斗3下端的端口处塞有一个封口软塞31，封口软塞31呈圆柱形且为软质橡胶材质，封口软塞31的侧表面与集尘漏斗3的下端端口内侧壁抵接，并且封口软塞31与集尘漏斗3为过盈配合。

参照图1与图2，为了减少封口软塞31被误触打开，封口软塞31的下端处于集尘漏斗3下端的端口内部，使得封口软塞31不易被误触到，为了方便将封口软塞31从集尘漏斗3的下端拉出，在封口软塞31下端端面上铰接有一个用于拉动封口软塞31的拉环311，拉环311呈圆环形且为软质橡胶材质。

参照图1与图2，在集尘漏斗3的下端端口处还铰接有封盖32，封盖32呈圆盘形且为不锈钢材质，封盖32将封口软塞31的下端表面盖住，使得封口软塞31不易因与外界的空气接触而被腐蚀，封盖32与集尘漏斗3为有阻尼的铰接，使得封盖32不易在自身重力的作用下随意被打开。

本实施例的实施原理为：在管体1使用时，首先将管体1通过法兰体与通风管连接，使得外界空气进入到通风管中后需要再经过管体1，外界空气从通风管进入到管体1进风的一端，首先经过一级过滤网被初步过滤，然后再到达吸尘圈21，吸尘圈21通过通电座22与外接电源电连接，使得吸尘圈21表面带有静电，外界空气在经过吸尘圈21时通过静电效应，空气中蕴含的灰尘颗粒被吸附在吸尘圈21上，使得外界空气再次被过滤，减少了外界空气中灰尘的量，外界空气经过吸尘圈21后再经过二级除尘网13被导出管体1。

而吸尘圈21上的灰尘，在吸尘圈21被断电后，灰尘就会受到自身重力的作用而下掉，掉入到集尘漏斗3中，此时打开封盖32，拉出封口软塞31，就可以将集尘漏斗3中的灰尘清理出来，清理完后再将封口软塞31塞回，避免外界空气中的灰尘从集尘漏斗3的下端进入到管体1内部，最后再将封盖32盖好。

本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置，其特征在于，包括管体(1)以及固定设置在管体(1)内部的静电除尘圈(2)，所述静电除尘圈(2)的轴线与管体(1)的轴线重合，静电除尘圈(2)中的吸尘圈(21)表面通有静电。

2.根据权利要求1所述的一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置，其特征在于，所述静电除尘圈(2)还包括通电座(22)，通电座(22)用于外接电源对所述吸尘圈(21)通静电，所述管体(1)侧壁上设置有安装孔(15)，通电座(22)固定设置在安装孔(15)中且通电座(22)的侧表面与安装孔(15)的侧壁抵接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置，其特征在于，所述管体(1)内部固定设置有固定杆(14)，固定杆(14)的延伸方向与管体(1)直径的延伸方向相同，固定杆(14)上固定设置有U形卡件(141)，所述吸尘圈(21)卡嵌在U形卡件(141)上。

4.根据权利要求1所述的一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置，其特征在于，所述管体(1)水平设置，管体(1)外侧表面下端固定设置有集尘漏斗(3)，集尘漏斗(3)上端端口与管体(1)内部连通，集尘漏斗(3)上端端口竖直对准所述吸尘圈(21)，集尘漏斗(3)下端的端口处塞有封口软塞(31)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置，其特征在于，所述封口软塞(31)的下端处于所述集尘漏斗(3)下端的端口内部，封口软塞(31)下端端面上铰接有用于拉动封口软塞(31)的拉环(311)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置，其特征在于，所述集尘漏斗(3)的下端端口处铰接有封盖(32)，封盖(32)将所述封口软塞(31)的下端表面盖住，封盖(32)与集尘漏斗(3)为有阻尼的铰接。

7.根据权利要求1所述的一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置，其特征在于，所述管体(1)靠近进风一端固定设置有一级除尘网(12)，一级除尘网(12)与管体(1)的截面平行，并且一级除尘网(12)的边缘与管体(1)的内侧壁抵接，新风进入管体(1)后首先经过一级除尘网(12)后再经过所述静电除尘圈(2)。

8.根据权利要求1或7中任意一条所述的一种半导体厂房洁净室中的通风管空气过滤装置，其特征在于，所述管体(1)远离进风一端固定设置有二级除尘网(13)，二级除尘网(13)与管体(1)的截面平行，并且二级除尘网(13)的边缘与管体(1)的内侧壁抵接，新风经过所述静电除尘圈(2)后再经过二级除尘网(13)。

Images