CN210443528U - 一种六合式晶圆快速冷却系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种六合式晶圆快速冷却系统，其结构包括信号灯、冷却箱、控制按钮、状态显示屏、控制台、排水箱、支撑柱脚、下机台，信号灯胶连接在冷却箱的后方并且与控制台垂直焊接在一起，冷却箱通过铰链铰接在控制台的上方，在结构上设置了六棱装料筒，通过六边形的机构，以前只能装载一个面的晶圆量现在变成六个面，让整体的装载量更多，一次性冷却的晶圆量较多，提高整体的速度，在结构上设置了六合冷却筒，能够同时对六个面上的晶圆进行冷却，并且六个均摊片一对一的方式能够使冷气快速与晶圆进行接触，降低整体的等待时间。
Description
技术领域
本实用新型是一种六合式晶圆快速冷却系统，属于半导体处理领域。
背景技术
半导体的应用多种多样，晶圆是比较常见的一种，晶圆在生产之后需要经过清洗或者刷洗等处理使其表面变得更加光滑或者无尘，但是在处理之后内部会含有小部分的水分，不利于通电使用，并且无法使用热气蒸腾，会破坏掉里面的结构，所以一般采用冷气或者风力作用。
现有技术的载物量较少，一次性能够进行冷却的晶圆量有限，在大面积需要冷却晶圆的时候需要进行排队轮换，速度较慢，并且冷气由冲入到充满整个冷却箱需要等待一段时间，整体的处理时间较长。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种六合式晶圆快速冷却系统，以解决现有技术的载物量较少，一次性能够进行冷却的晶圆量有限，在大面积需要冷却晶圆的时候需要进行排队轮换，速度较慢，并且冷气由冲入到充满整个冷却箱需要等待一段时间，整体的处理时间较长的问题。
为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种六合式晶圆快速冷却系统，其结构包括信号灯、冷却箱、控制按钮、状态显示屏、控制台、排水箱、支撑柱脚、下机台，所述信号灯胶连接在冷却箱的后方并且与控制台垂直焊接在一起，所述冷却箱通过铰链铰接在控制台的上方，所述状态显示屏胶连接在控制台上方的前侧，所述控制按钮位于状态显示屏的右侧并且与控制台电连接，所述下机台竖直焊接在控制台的下方，所述排水箱内嵌在下机台的内部并且焊接成一体化结构，所述支撑柱脚设有四个并且垂直钉连接在下机台下方的四个角。
作为上述的一种六合式晶圆快速冷却系统优选方案，所述冷却箱由上注气管、上辐射扇叶、六合冷却筒、六棱装料筒、下辐射扇叶、下注气管、玻璃外箱组成，所述玻璃外箱通过铰链铰接在控制台的上方，所述上辐射扇叶胶连接在玻璃外箱内部的顶部，所述上注气管设有两个以上并且焊接在上辐射扇叶的内部，所述六棱装料筒轴连接在玻璃外箱内部的中段，所述六合冷却筒环绕在六棱装料筒的外表面并且轴心共线，所述下辐射扇叶胶连接在玻璃外箱内部的底部，所述下注气管设有两个以上并且焊接在下辐射扇叶的内部。
作为上述的一种六合式晶圆快速冷却系统优选方案，所述六合冷却筒由均摊片、汇聚管、散装架、相连圈、外机壳组成，所述外机壳环绕包裹在六棱装料筒的外表面，所述相连圈内切在外机壳的内部并且采用焊接连接，所述散装架设有六个并且螺纹连接在外机壳的内部，所述汇聚管内嵌在散装架的内部，所述均摊片与汇聚管胶连接在一起。
作为上述的一种六合式晶圆快速冷却系统优选方案，所述上注气管、上辐射扇叶与下辐射扇叶、下注气管互相对称并且结构大小相同。
作为上述的一种六合式晶圆快速冷却系统优选方案，所述均摊片与六棱装料筒的每个料仓一一对应。
作为上述的一种六合式晶圆快速冷却系统优选方案，所述排水箱能将冷却使用后的气体收集并发生液化使其转化成水更方便排出，不会造成污染。
有益效果
本实用新型一种六合式晶圆快速冷却系统，在结构上设置了六棱装料筒，通过六边形的机构，以前只能装载一个面的晶圆量现在变成六个面，让整体的装载量更多，一次性冷却的晶圆量较多，提高整体的速度。
本实用新型一种六合式晶圆快速冷却系统，在结构上设置了六合冷却筒，能够同时对六个面上的晶圆进行冷却，并且六个均摊片一对一的方式能够使冷气快速与晶圆进行接触，降低整体的等待时间。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本实用新型一种六合式晶圆快速冷却系统的结构示意图；
图2为本实用新型一种六合式晶圆快速冷却系统冷却箱内部俯视的结构示意图。
图3为本实用新型一种六合式晶圆快速冷却系统六合冷却筒左视的结构示意图。
图中：信号灯0、冷却箱1、控制按钮2、状态显示屏3、控制台4、排水箱5、支撑柱脚6、下机台7、上注气管01、上辐射扇叶02、六合冷却筒03、六棱装料筒04、下辐射扇叶05、下注气管06、玻璃外箱07、均摊片020、汇聚管021、散装架022、相连圈023、外机壳024。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
请参阅图1-图3，本实用新型提供一种六合式晶圆快速冷却系统技术方案：其结构包括信号灯0、冷却箱1、控制按钮2、状态显示屏3、控制台4、排水箱5、支撑柱脚6、下机台7，所述信号灯0胶连接在冷却箱1的后方并且与控制台4垂直焊接在一起，所述冷却箱1通过铰链铰接在控制台4的上方，所述状态显示屏3胶连接在控制台4上方的前侧，所述控制按钮2位于状态显示屏3的右侧并且与控制台4电连接，所述下机台7竖直焊接在控制台4的下方，所述排水箱5内嵌在下机台7的内部并且焊接成一体化结构，所述支撑柱脚6设有四个并且垂直钉连接在下机台7下方的四个角，所述冷却箱1由上注气管01、上辐射扇叶02、六合冷却筒03、六棱装料筒04、下辐射扇叶05、下注气管06、玻璃外箱07组成，所述玻璃外箱07通过铰链铰接在控制台4的上方，所述上辐射扇叶02胶连接在玻璃外箱07内部的顶部，所述上注气管01设有两个以上并且焊接在上辐射扇叶02的内部，所述六棱装料筒04轴连接在玻璃外箱07内部的中段，所述六合冷却筒03环绕在六棱装料筒04的外表面并且轴心共线，所述下辐射扇叶05胶连接在玻璃外箱07内部的底部，所述下注气管06设有两个以上并且焊接在下辐射扇叶05的内部，所述六合冷却筒03由均摊片020、汇聚管021、散装架022、相连圈023、外机壳024组成，所述外机壳024环绕包裹在六棱装料筒04的外表面，所述相连圈023内切在外机壳024的内部并且采用焊接连接，所述散装架022设有六个并且螺纹连接在外机壳024的内部，所述汇聚管021内嵌在散装架022的内部，所述均摊片020与汇聚管021胶连接在一起，所述上注气管01、上辐射扇叶02与下辐射扇叶05、下注气管06互相对称并且结构大小相同，所述均摊片020与六棱装料筒04的每个料仓一一对应，所述排水箱5能将冷却使用后的气体收集并发生液化使其转化成水更方便排出，不会造成污染。
例如，先通过铰链打开玻璃外箱07，然后将需要冷却的晶圆一一装载在六棱装料筒04，装料的数量更多，然后盖上玻璃外箱07，通过控制按钮2、状态显示屏3、控制台4启动设备，使上辐射扇叶02与下辐射扇叶05摄入冷气，通过上注气管01与下注气管06注入到散装架022中，使散装架022摄入冷气，然后通过相连圈023辐射均摊到每个汇聚管021，汇聚管021冲击到均摊片020中，均摊片020将冷气均匀的覆盖到晶圆片上，使晶圆能够马上与设备内的冷气接触，减少等待的时间。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (5)
1.一种六合式晶圆快速冷却系统，其结构包括信号灯(0)、冷却箱(1)、控制按钮(2)、状态显示屏(3)、控制台(4)、排水箱(5)、支撑柱脚(6)、下机台(7)，其特征在于：
所述信号灯(0)胶连接在冷却箱(1)的后方并且与控制台(4)垂直焊接在一起，所述冷却箱(1)通过铰链铰接在控制台(4)的上方，所述状态显示屏(3)胶连接在控制台(4)上方的前侧，所述控制按钮(2)位于状态显示屏(3)的右侧并且与控制台(4)电连接，所述下机台(7)竖直焊接在控制台(4)的下方，所述排水箱(5)内嵌在下机台(7)的内部并且焊接成一体化结构，所述支撑柱脚(6)设有四个并且垂直钉连接在下机台(7)下方的四个角。
2.根据权利要求1所述的一种六合式晶圆快速冷却系统，其特征在于：所述冷却箱(1)由上注气管(01)、上辐射扇叶(02)、六合冷却筒(03)、六棱装料筒(04)、下辐射扇叶(05)、下注气管(06)、玻璃外箱(07)组成，所述玻璃外箱(07)通过铰链铰接在控制台(4)的上方，所述上辐射扇叶(02)胶连接在玻璃外箱(07)内部的顶部，所述上注气管(01)设有两个以上并且焊接在上辐射扇叶(02)的内部，所述六棱装料筒(04)轴连接在玻璃外箱(07)内部的中段，所述六合冷却筒(03)环绕在六棱装料筒(04)的外表面并且轴心共线，所述下辐射扇叶(05)胶连接在玻璃外箱(07)内部的底部，所述下注气管(06)设有两个以上并且焊接在下辐射扇叶(05)的内部。
3.根据权利要求2所述的一种六合式晶圆快速冷却系统，其特征在于：所述六合冷却筒(03)由均摊片(020)、汇聚管(021)、散装架(022)、相连圈(023)、外机壳(024)组成，所述外机壳(024)环绕包裹在六棱装料筒(04)的外表面，所述相连圈(023)内切在外机壳(024)的内部并且采用焊接连接，所述散装架(022)设有六个并且螺纹连接在外机壳(024)的内部，所述汇聚管(021)内嵌在散装架(022)的内部，所述均摊片(020)与汇聚管(021)胶连接在一起。
4.根据权利要求2所述的一种六合式晶圆快速冷却系统，其特征在于：所述上注气管(01)、上辐射扇叶(02)与下辐射扇叶(05)、下注气管(06)互相对称并且结构大小相同。
5.根据权利要求3所述的一种六合式晶圆快速冷却系统，其特征在于：所述均摊片(020)与六棱装料筒(04)的每个料仓一一对应。
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2019
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