CN210411851U - 一种用于清洁治具的工作桌 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了半导体封装领域内的一种用于清洁治具的工作桌，包括矩形台面板，台面板的下方设置有4根支撑腿，台面板上开设有若干竖直贯穿台面板的吸尘孔，台面板的下方设置有集尘斗，集尘斗沿水平方向的截面积从上到下递减设置，所述集尘斗的底部设有与集尘斗内部相连通的风管接头，风管接头的管内径为95~105mm,风管接头上连接有抽风管，所述台面板的后侧竖直设有后侧板，台面板的左右两侧分别设有竖直的左侧板和右侧板，所述左侧板、右侧板和后侧板顶部水平设有顶板，左侧板前端和右侧板前端之间形成清理进口，所述顶板的前侧固定连接有若干透明的皮门帘，各皮门帘封挡住所述清理进口。本实用新型能够解决治具清洁过程中的硅颗粒污染问题。

Description

一种用于清洁治具的工作桌

技术领域

本实用新型属于半导体封装领域，特别涉及一种用于清洁治具的工作桌。

背景技术

现有技术中，晶圆级芯片封装方式，此种技术是先在整片硅晶圆上进行封装和测试，然后才切割成一个个的IC颗粒，每个IC颗粒就是1个IC产品，在将晶圆加工成多个IC产品的过程中，会经常使用到治具，治具使用一段时间后需要进行清理。在原先的工作桌上清洁治具时会有硅颗粒产生，颗粒会掉落或者扬尘，不仅影响到周边环境，而且颗粒会再次吸附到晶圆治具上，造成清洁后的治具再次受到污染，无法有效的控制硅颗粒影响，不能有效地避免扬尘，易造成IC产品品质异常。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于清洁治具的工作桌，能够解决治具清洁过程中的硅颗粒污染问题，提升无尘室清洁度，提高IC产品品质。

本实用新型的目的是这样实现的：一种用于清洁治具的工作桌，包括水平设置的矩形台面板，台面板的下方设置有4根支撑腿，各支撑腿分别分布在台面板的4个顶角处，相邻的2根支撑腿之间均水平设置有加强杆，所述台面板上开设有若干竖直贯穿台面板的吸尘孔，各吸尘孔均匀间隔分布在台面板上，所述台面板的下方设置有集尘斗，集尘斗沿水平方向的截面积从上到下递减设置，所述集尘斗的底部设有与集尘斗内部相连通的风管接头，风管接头的管内径为95~105mm,风管接头上连接有抽风管，所述台面板的后侧竖直设有后侧板，台面板的左右两侧分别设有竖直的左侧板和右侧板，所述左侧板、右侧板和后侧板顶部水平设有顶板，左侧板前端和右侧板前端之间形成清理进口，所述顶板的前侧固定连接有若干从左到右依次排列设置的透明的皮门帘，皮门帘的下端与台面板相平齐，各皮门帘封挡住所述清理进口。

本实用新型工作时，操作人员拨开皮门帘，将需要清洁的治具放入台面板上，清洁人员在台面板的相应区域进行治具清洁作业，抽风管与集尘斗内部相连通，清洁过程中产生的颗粒杂质通过吸尘孔落入集尘斗内，颗粒杂质沿着集尘斗内侧下滑，最后被抽风管吸走。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：能够解决治具清洁过程中的硅颗粒下落、飞扬问题，皮门帘可以封挡住清理进口，防止硅颗粒扩散出去，提升无尘室清洁度，提高IC产品品质。

作为本实用新型的进一步改进，所述集尘斗包括三角形前板、后板、左板和右板，前板、后板、左板和右板均向集尘斗中心倾斜设置。集尘斗内部截面积从上到下递减，使得颗粒顺着内侧下滑。

作为本实用新型的进一步改进，所述顶板采用亚克力材料制成，顶板、左侧板、右侧板、后侧板、台面板、支撑腿和加强杆均采用不锈钢制成。

作为本实用新型的进一步改进，所述支撑腿下端设置有高度可调节的脚垫，加强杆上连接有不锈钢接地链。通过脚垫可以调节支撑腿高度，接地链可以防止静电影响。

作为本实用新型的进一步改进，所述台面板的长度为1750mm~1850mm，台面板的宽度为800mm~900mm，左侧板高度为850~950mm，支撑腿高度为700~800mm。

作为本实用新型的进一步改进，所述吸尘孔的横截面积从上到下递减设置。吸尘孔的横截面为圆形，颗粒沿着吸尘孔的孔内壁下滑，更容易进入集尘斗。

作为本实用新型的进一步改进，所述皮门帘底部设有磁铁一，台面板上对应各磁铁一设有若干磁铁二，各磁铁一与各磁铁二一一对应设置，皮门帘的左右两侧均倾斜设置，相邻2块皮门帘相靠近的一侧互相贴合设置。磁铁可保证皮门帘固定不会晃动，皮门帘侧面倾斜，保证密封性。

附图说明

图1为本实用新型的主视图。

图2为本实用新型的左视图。

图3为台面板的俯视图。

图4为吸尘孔的结构示意图。

图5为皮门帘底部与台面板之间的磁铁一和磁铁二的结构示意图。

图6为相邻2个皮门帘的结构示意图。

其中，1台面板，2支撑腿，3加强杆，4吸尘孔，5集尘斗，6风管接头，7抽风管，8后侧板，9左侧板，10右侧板，11顶板，12皮门帘，13脚垫，14接地链,15磁铁一，16磁铁二。

具体实施方式

如图1-6所示，为一种用于清洁治具的工作桌，包括水平设置的矩形台面板1，台面板1的下方设置有4根支撑腿2，各支撑腿2分别分布在台面板1的4个顶角处，相邻的2根支撑腿2之间均水平设置有加强杆3，台面板1上开设有若干竖直贯穿台面板1的吸尘孔4，各吸尘孔4均匀间隔分布在台面板1上，台面板1的下方设置有集尘斗5，集尘斗5沿水平方向的截面积从上到下递减设置，集尘斗5的底部设有与集尘斗5内部相连通的风管接头6，风管接头6的管内径为95~105mm,风管接头6上连接有抽风管7，台面板1的后侧竖直设有后侧板8，台面板1的左右两侧分别设有竖直的左侧板9和右侧板10，左侧板9、右侧板10和后侧板8顶部水平设有顶板11，左侧板9前端和右侧板10前端之间形成清理进口，顶板11的前侧固定连接有若干从左到右依次排列设置的透明的皮门帘12，皮门帘12的下端与台面板1相平齐，各皮门帘12封挡住所述清理进口。集尘斗5包括三角形前板、后板、左板和右板，前板、后板、左板和右板均向集尘斗5中心倾斜设置。顶板11采用亚克力材料制成，顶板11、左侧板9、右侧板10、后侧板8、台面板1、支撑腿2和加强杆3均采用不锈钢制成。支撑腿2下端设置有高度可调节的脚垫13，加强杆3上连接有不锈钢接地链14。台面板1的长度为1750mm~1850mm，台面板1的宽度为800mm~900mm，左侧板9高度为850~950mm，支撑腿2高度为700~800mm。吸尘孔4的横截面积从上到下递减设置。皮门帘12底部设有磁铁一15，台面板1上对应各磁铁一15设有若干磁铁二16，各磁铁一15与各磁铁二16一一对应设置，皮门帘12的左右两侧均倾斜设置，相邻2块皮门帘12相靠近的一侧互相贴合设置。

本实用新型工作时，操作人员拨开皮门帘12，将需要清洁的治具放入台面板1上，清洁人员在台面板1的相应区域进行治具清洁作业，抽风管7与集尘斗5内部相连通，清洁过程中产生的颗粒杂质通过吸尘孔4落入集尘斗5内，颗粒杂质沿着集尘斗5内侧下滑，最后被抽风管7吸走。本实用新型的有益效果在于：能够解决治具清洁过程中的硅颗粒下落、飞扬问题，皮门帘12可以封挡住清理进口，防止硅颗粒扩散出去，提升无尘室清洁度，提高IC产品品质。

本实用新型并不局限于上述实施例，在本实用新型公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本实用新型的保护范围内。

Claims (7)

1.一种用于清洁治具的工作桌，其特征在于，包括水平设置的矩形台面板，台面板的下方设置有4根支撑腿，各支撑腿分别分布在台面板的4个顶角处，相邻的2根支撑腿之间均水平设置有加强杆，所述台面板上开设有若干竖直贯穿台面板的吸尘孔，各吸尘孔均匀间隔分布在台面板上，所述台面板的下方设置有集尘斗，集尘斗沿水平方向的截面积从上到下递减设置，所述集尘斗的底部设有与集尘斗内部相连通的风管接头，风管接头的管内径为95~105mm,风管接头上连接有抽风管，所述台面板的后侧竖直设有后侧板，台面板的左右两侧分别设有竖直的左侧板和右侧板，所述左侧板、右侧板和后侧板顶部水平设有顶板，左侧板前端和右侧板前端之间形成清理进口，所述顶板的前侧固定连接有若干从左到右依次排列设置的透明的皮门帘，皮门帘的下端与台面板相平齐，各皮门帘封挡住所述清理进口。

2.根据权利要求1所述的一种用于清洁治具的工作桌，其特征在于，所述集尘斗包括三角形前板、后板、左板和右板，前板、后板、左板和右板均向集尘斗中心倾斜设置。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于清洁治具的工作桌，其特征在于，所述顶板采用亚克力材料制成，顶板、左侧板、右侧板、后侧板、台面板、支撑腿和加强杆均采用不锈钢制成。

4.根据权利要求1或2所述的一种用于清洁治具的工作桌，其特征在于，所述支撑腿下端设置有高度可调节的脚垫，加强杆上连接有不锈钢接地链。

5.根据权利要求1或2所述的一种用于清洁治具的工作桌，其特征在于，所述台面板的长度为1750mm~1850mm，台面板的宽度为800mm~900mm，左侧板高度为850~950mm，支撑腿高度为700~800mm。

6.根据权利要求1或2所述的一种用于清洁治具的工作桌，其特征在于，所述吸尘孔的横截面积从上到下递减设置。

7.根据权利要求1或2所述的一种用于清洁治具的工作桌，其特征在于，所述皮门帘底部设有磁铁一，台面板上对应各磁铁一设有若干磁铁二，各磁铁一与各磁铁二一一对应设置，皮门帘的左右两侧均倾斜设置，相邻2块皮门帘相靠近的一侧互相贴合设置。

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