CN210402006U - 一种光刻胶涂布装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光刻胶涂布装置，包括连接块和箱体，所述箱体的上端安装有连接块，所述连接块的上端外壁上设置有连接盖，所述连接盖和连接块通过固定合页固定连接，所述连接盖的上端靠近左侧外壁上设置有连接柱，所述箱体的右端外壁上设置有固定防抖装置，所述箱体的下端外壁上设置有固定支腿装置，所述箱体的前端上侧外壁上设置有触屏显示器，所述触屏显示器右侧的箱体前端上侧外壁上设置有按键，所述固定防抖装置上设置有连接壳，通过在涂布装置的两侧加装固定防抖装置，装置上的吸盘与地面连接使得整个涂布装置与地面有了固定连接，从而将涂布装置产生的震动传递给地面以减少涂布装置自身的震动，使得光刻胶涂布装置的使用起来更加方便。

Description

一种光刻胶涂布装置

技术领域

本实用新型属于匀胶机相关技术领域，具体涉及一种光刻胶涂布装置。

背景技术

匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度，该设备主要用于晶片涂光刻胶，有自动、手动和半自动三种工作方式。

现有的光刻胶涂布装置技术存在以下问题：在使用匀胶机涂布光刻胶时，高速转动的匀胶机很出现震动，影响使用效果，并且随着转速的增加震动效果增强。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻胶涂布装置，以解决上述背景技术中提出的匀胶机使用时出现震动影响使用的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻胶涂布装置，包括连接块和箱体，所述箱体的上端安装有连接块，所述连接块的上端外壁上设置有连接盖，所述连接盖和连接块通过固定合页固定连接，所述连接盖的上端靠近左侧外壁上设置有连接柱，所述箱体的右端外壁上设置有固定防抖装置，所述箱体的下端外壁上设置有固定支腿装置，所述箱体的前端上侧外壁上设置有触屏显示器，所述触屏显示器右侧的箱体前端上侧外壁上设置有按键，所述固定防抖装置上设置有连接壳，所述连接壳前端的箱体右端外壁上设置有连接卡槽，所述连接壳和连接卡槽通过限位磁块固定连接，所述连接壳的内部设置有伸缩杆，所述连接壳和伸缩杆通过连接螺母固定连接，所述伸缩杆的下端穿过连接壳设置在连接壳的下侧，所述伸缩杆的下端外壁上设置有固定块，所述固定块的外部套接有连接吸盘，所述伸缩杆的右端内部设置有固定槽，所述连接螺母通过固定槽和伸缩杆固定连接，所述固定支腿装置上设置有连接杆，所述连接杆设置在箱体的下端外壁上，所述连接杆的外部套接有连接套，所述连接杆的下端外部套接有固定环，所述连接杆右侧的固定环内部设置有螺纹孔，所述固定环的上端外壁上设置有螺纹环，所述螺纹环和连接套通过螺纹固定连接，所述连接杆通过螺纹环和固定环固定连接，所述触屏显示器通过按键与外部电源电性连接。

优选的，所述连接块的上端内部设置有连接口，所述连接口设置在靠近连接盖下端的连接块内部。

优选的，所述连接盖的上端内部设置有圆形开口，所述圆形开口设置在连接盖的上端中心处内部。

优选的，所述固定支腿装置的下端外壁上设置有防滑垫，所述防滑垫包裹在固定支腿装置的下端外壁上。

优选的，所述伸缩杆的外壁和连接壳的内壁均为光滑壁，所述伸缩杆的外壁和连接壳的内壁能够完全贴合。

优选的，所述连接吸盘的上端内壁能够和固定块的外壁完全贴合，所述连接吸盘通过粘合剂和固定块固定连接。

优选的，所述固定防抖装置共设置有两个，两个所述固定防抖装置分别设置在箱体的左右端相同高度处。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种光刻胶涂布装置，具备以下有益效果：

本实用新型通过在涂布装置的两侧加装固定防抖装置，通过固定防抖装置上的吸盘与地面连接使得整个涂布装置与地面有了固定连接，从而将涂布装置产生的震动传递给地面以减少涂布装置自身的震动，而且固定支腿装置涂布装置的支腿通过螺纹与和地面固定的固定环套接在一起，使得箱体本身的牢固性大大提升，螺纹的连接也方便将支腿从固定环内部取出，使得涂布装置也能脱离固定环使用，虽然涂布装置本身产生的震动较轻微，但还是会对涂布效果产生一定的影响，本新型涂布装置则很好地解决了这个问题，而且连接方式十分简单，固定效果又比较出色，且固定防抖装置能够通过连接卡槽从箱体上拆卸下来，不会影响到涂布装置的正常使用，使得光刻胶涂布装置的使用起来更加方便；

本新型光刻胶涂布装置在使用时，将固定环通过螺纹孔用螺纹与桌面固定在一起，通过连接套将连接杆固定在固定环内部使得箱体固定，通过按键启动装置，将连接螺母拧松伸缩杆向下移动到连接吸盘与地面紧密连接在一起，然后通过连接螺母将伸缩杆固定在连接壳内部，将需要涂布的晶体放入连接块内部盖上连接盖，通过触屏显示器设置转速等数据，从连接盖的开口处进行滴胶即可。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：

图1为本实用新型提出的一种光刻胶涂布装置立体结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种光刻胶涂布装置正面结构示意图；

图3为本实用新型提出的固定防抖装置正面结构示意图；

图4为本实用新型提出的固定防抖装置切面结构示意图；

图5为本实用新型提出的固定支腿装置切面结构示意图；

图中：1、连接块；2、连接盖；3、固定合页；4、箱体；5、固定防抖装置；6、固定支腿装置；7、按键；8、触屏显示器；9、连接柱；10、连接螺母；11、伸缩杆；12、连接吸盘；13、连接壳；14、固定槽；15、固定块；16、固定环；17、螺纹孔；18、螺纹环；19、连接套；20、连接杆；21、连接卡槽；22、限位磁块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种光刻胶涂布装置，包括连接块1和箱体4，箱体4的上端安装有连接块1，连接块1的上端外壁上设置有连接盖2，连接块1的上端内部设置有连接口，连接口设置在靠近连接盖2下端的连接块1内部，通过连接口将需要涂布的物体放在连接块1的内部进行涂布，因为涂布过程是在连接块1的内部进行的，连接盖2的上端内部设置有圆形开口，圆形开口设置在连接盖2的上端中心处内部，通过圆形开口从外部将胶液滴进连接块1的内部，通过涂布装置的转动将胶液离心分布均匀，连接盖2和连接块1通过固定合页3固定连接，连接盖2的上端靠近左侧外壁上设置有连接柱9，箱体4的右端外壁上设置有固定防抖装置5，固定防抖装置5共设置有两个，两个固定防抖装置5分别设置在箱体4的左右端相同高度处，两个固定防抖装置5共同固定箱体4才能够起到固定防抖的作用，箱体4的下端外壁上设置有固定支腿装置6，固定支腿装置6的下端外壁上设置有防滑垫，防滑垫包裹在固定支腿装置6的下端外壁上，这样能够进一步减少箱体4与地面之间的震动，还能够保护固定支腿装置6延长使用寿命，箱体4的前端上侧外壁上设置有触屏显示器8，触屏显示器8右侧的箱体4前端上侧外壁上设置有按键7，固定防抖装置5上设置有连接壳13，连接壳13前端的箱体4右端外壁上设置有连接卡槽21，连接壳13和连接卡槽21通过限位磁块22固定连接，连接壳13的内部设置有伸缩杆11，连接壳13和伸缩杆11通过连接螺母10固定连接，伸缩杆11的下端穿过连接壳13设置在连接壳13的下侧伸缩杆11的外壁和连接壳13的内壁均为光滑壁，伸缩杆11的外壁和连接壳13的内壁能够完全贴合，完全贴合的伸缩杆11和连接壳13能够防止涂布装置使用时伸缩杆11和连接壳13之间的相对震动，使得减震效果更好，伸缩杆11的下端外壁上设置有固定块15，固定块15的外部套接有连接吸盘12，连接吸盘12的上端内壁能够和固定块15的外壁完全贴合，连接吸盘12通过粘合剂和固定块15固定连接，通过粘合剂使得连接吸盘12和固定块15的连接不会出现松动，防止连接吸盘12吸力较大使得连接吸盘12与固定块15之间出现连接脱落，伸缩杆11的右端内部设置有固定槽14，固定支腿装置6上设置有连接杆20，连接杆20设置在箱体4的下端外壁上，连接杆20的外部套接有连接套19，连接杆20的下端外部套接有固定环16，连接杆20右侧的固定环16内部设置有螺纹孔17，固定环16的上端外壁上设置有螺纹环18，螺纹环18和连接套19通过螺纹固定连接，连接杆20通过螺纹环18和固定环16固定连接，连接螺母10通过固定槽14和伸缩杆11固定连接，触屏显示器8通过按键7与外部电源电性连接。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型安装好过后，本新型涂布装置是通过高速旋转连接块1内部的基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，通过触屏显示器8可以调节基片的转速使得表面的胶液厚度发生变化，在使用时，将固定环16通过螺纹孔17用螺纹与桌面固定在一起，通过连接套19将连接杆20固定在固定环16内部使得箱体4固定，通过按键7启动装置，将连接螺母10拧松伸缩杆11向下移动到连接吸盘12与地面紧密连接在一起，然后通过连接螺母10将伸缩杆11固定在连接壳13内部，将需要涂布的晶体放入连接块1内部盖上连接盖2，通过触屏显示器8设置转速等数据，从连接盖2的开口处进行滴胶，滴胶完成后打开连接盖2取出滴胶完成的晶体，通过按键7将装个涂布装置关闭即可。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种光刻胶涂布装置，包括连接块（1）和箱体（4），其特征在于：所述箱体（4）的上端安装有连接块（1），所述连接块（1）的上端外壁上设置有连接盖（2），所述连接盖（2）和连接块（1）通过固定合页（3）固定连接，所述连接盖（2）的上端靠近左侧外壁上设置有连接柱（9），所述箱体（4）的右端外壁上设置有固定防抖装置（5），所述箱体（4）的下端外壁上设置有固定支腿装置（6），所述箱体（4）的前端上侧外壁上设置有触屏显示器（8），所述触屏显示器（8）右侧的箱体（4）前端上侧外壁上设置有按键（7），所述固定防抖装置（5）上设置有连接壳（13），所述连接壳（13）前端的箱体（4）右端外壁上设置有连接卡槽（21），所述连接壳（13）和连接卡槽（21）通过限位磁块（22）固定连接，所述连接壳（13）的内部设置有伸缩杆（11），所述连接壳（13）和伸缩杆（11）通过连接螺母（10）固定连接，所述伸缩杆（11）的下端穿过连接壳（13）设置在连接壳（13）的下侧，所述伸缩杆（11）的下端外壁上设置有固定块（15），所述固定块（15）的外部套接有连接吸盘（12），所述伸缩杆（11）的右端内部设置有固定槽（14），所述连接螺母（10）通过固定槽（14）和伸缩杆（11）固定连接，所述固定支腿装置（6）上设置有连接杆（20），所述连接杆（20）设置在箱体（4）的下端外壁上，所述连接杆（20）的外部套接有连接套（19），所述连接杆（20）的下端外部套接有固定环（16），所述连接杆（20）右侧的固定环（16）内部设置有螺纹孔（17），所述固定环（16）的上端外壁上设置有螺纹环（18），所述螺纹环（18）和连接套（19）通过螺纹固定连接，所述连接杆（20）通过螺纹环（18）和固定环（16）固定连接，所述触屏显示器（8）通过按键（7）与外部电源电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂布装置，其特征在于：所述连接块（1）的上端内部设置有连接口，所述连接口设置在靠近连接盖（2）下端的连接块（1）内部。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂布装置，其特征在于：所述连接盖（2）的上端内部设置有圆形开口，所述圆形开口设置在连接盖（2）的上端中心处内部。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂布装置，其特征在于：所述固定支腿装置（6）的下端外壁上设置有防滑垫，所述防滑垫包裹在固定支腿装置（6）的下端外壁上。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂布装置，其特征在于：所述伸缩杆（11）的外壁和连接壳（13）的内壁均为光滑壁，所述伸缩杆（11）的外壁和连接壳（13）的内壁能够完全贴合。

6.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂布装置，其特征在于：所述连接吸盘（12）的上端内壁能够和固定块（15）的外壁完全贴合，所述连接吸盘（12）通过粘合剂和固定块（15）固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂布装置，其特征在于：所述固定防抖装置（5）共设置有两个，两个所述固定防抖装置（5）分别设置在箱体（4）的左右端相同高度处。

Images