CN210351683U - 具有密封结构的加热盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种具有密封结构的加热盘，其包括盘体、支撑柱以及导电柱；盘体内部设有用于安装加热盘主体的真空腔室，且盘体包括相对设置的第一端面和第二端面；支撑柱贯穿设置于所述盘体中心处；导电柱贯穿设置于所述盘体上。本实用新型的具有密封结构的加热盘中，支撑柱和导电柱均贯穿设置在盘体上，支撑柱一端和导电柱一端均通过固定片作为密封面与盘体第一端面连接，支撑柱另一端和导电柱另一端均通过压紧法兰对盘体第二端面进行轴向密封，该结构安装简易，提高了加热盘安装的灵活性和可调整性，适用于连接多种尺寸的盘体，实用性强。

Description

具有密封结构的加热盘

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，特别涉及一种具有密封结构的加热盘。

背景技术

目前,在半导体真空设备及制造技术领域，使用加热盘时，加热盘及其配套零件需穿越真空环境和大气环境，真空设备对结构密封性均有不同程度的密封性要求，加热盘组件的密封方式是较为重要的一个环节，尤其是加热盘支撑和电气相关的密封。

加热盘中包含多个连接柱和导电柱，传统的加热盘密封方式均为端面密封，由于这类加热盘存在多个导电柱，每个导电柱均需穿过真空腔室的腔壁，多个导电柱端面的平行度精度和共面精度难以把控，整体结构的加工精度、安装人员的难度、整体密封性等均有很高的要求。故需要提供一种具有密封结构的加热盘来解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种具有密封结构的加热盘，其通过导电柱的轴向作为密封面，导电柱与腔体狭缝间放置绝缘垫片，外部用压紧法兰进行固定，以解决现有技术中的具有密封结构的加热盘多存在结构设计不够合理，以及部件制造成本高、更换维护成本高的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：一种具有密封结构的加热盘，其包括：盘体、支撑柱以及导电柱。

盘体内部设有用于安装加热盘主体的真空腔室，且所述盘体包括相对设置的第一端面和第二端面；

支撑柱，其贯穿设置于所述盘体中心处，所述支撑柱包括延伸出所述第一端面的第一端部，以及延伸出所述第二端面的第二端部；

导电柱，其贯穿设置于所述盘体上，所述导电柱包括延伸出所述第一端面的第三端部，以及延伸出所述第二端面的第四端部；

其中，所述第一端部上设有第一固定片，所述第一固定片与所述第一端面密封连接，所述第二端部通过第一压紧法兰与所述第二端面密封连接；所述第三端部上设有第二固定片，所述第二固定片与所述第一端面密封连接，所述第四端部通过第二压紧法兰与所述第二端面密封连接。

支撑柱通过第一固定片作为密封面，与盘体的第一端面进行密封，另一端通过第一压紧法兰对盘体第二端面进行轴向密封；导电柱通过第二固定片作为密封面，与盘体的第一端面进行密封，另一端通过第二压紧法兰对盘体第二端面进行轴向密封，腔室外部使用压紧法兰对其进行紧固，使加热盘整体结构稳定，且提高了加热盘安装的灵活性和可调整性，实用性强。

本实用新型中，所述第一固定片靠近所述第一端面一侧设有第一凹槽，所述第一凹槽为环形结构，用于安装第一密封圈。第一固定片通过密封圈对第一端面进行密封，提升密封稳定性。

本实用新型中，所述第一压紧法兰与所述第二端面之间设置有第一密封件，所述第一密封件包括套设在所述支撑柱上的第一垂直部，以及设置在第一垂直部外壁的第一水平部，所述第一水平部位于所述第二端面与第一压紧法兰间。第一密封件通过第一垂直部将支撑柱与腔室之间的间隙进行密封，第一水平部将第二端面与第一压紧法兰间进行密封，装置结构简单，部件生产成本低，安装简易、便于维护、易于调整。

本实用新型中，所述第二固定片与所述第一端面之间设有绝缘垫片，所述绝缘垫片为环形结构，且所述绝缘垫片包括套设在所述导电柱上的第二垂直部，以及设置在所述第二垂直部外壁的第二水平部，所述第二水平部位于所述第二固定片与所述第一端面间。第二固定片与第一端面间通过第一绝缘片防止导电柱与腔室接触，且对盘体的真空腔室进行密封。

本实用新型中，所述导电柱还包括用于连接所述第三端部和第四端部的第一连接部，所述第一连接部上设有第二凹槽，所述第二凹槽为环形结构，用于放置绝缘胶圈。第一连接部上设有第二凹槽放置绝缘胶圈，防止导电柱与腔室接触，且使得装置节后更稳固。

本实用新型中，所述第二凹槽设有若干组。第一连接部上可套接多组绝缘胶圈，提升导电柱与腔室连接处的绝缘性。

本实用新型中，所述第二压紧法兰与所述第二端面之间设置有第二密封件，所述第二密封件包括第三垂直部，以及设置在所述第三垂直部外壁的第三水平部，所述第三垂直部套设在所述导电柱上，所述第三水平部设置于所述第二端面与第二压紧法兰间。第二密封件通过第三垂直部将导电柱与腔室之间的间隙进行绝缘并且密封，第三水平部将第二端面与第二压紧法兰间进行密封，第二密封件结构简单、便于加工，且零件安装更便捷。

本实用新型中，所述支撑柱延伸方向与所述导电柱延伸方向相互平行。当加热盘主题安装于真空腔室时，连接处仅以支撑柱的第一固定片密封端面为基准即可，导电柱采用轴向密封的方式，其第二固定片密封端面无需与第一固定片密封端面保持在一个平面，减少了加工精度的需求；当加热盘整体需要进行水平调整时，只需对支撑柱做相关设计，保证导电柱的轴向平行度即可，对整个加热盘机构的改造工作减少了成本。

本实用新型中，所述导电柱设有若干组，且若干所述导电柱均匀贯穿设置在所述盘体上。若干组导电柱可增加加热盘功率，此结构简单，适应性强。

本实用新型中，所述第一端面与第二固定片的间隙大于所述第一端面与第一固定片的间隙，所述绝缘垫片高度小于第一密封圈的压缩量。

本实用新型相较于现有技术，其有益效果为：本实用新型的具有密封结构的加热盘中，支撑柱和导电柱均贯穿设置在盘体上，支撑柱一端通过第一固定片作为密封面与盘体第一端面连接，另一端通过第一压紧法兰对盘体第二端面进行轴向密封，导电柱通过第二固定片作为密封面与盘体第一端面连接，另一端通过第二压紧法兰对盘体第二端面进行轴向密封，该结构安装简易，提高了加热盘安装的灵活性和可调整性，适用于连接多种尺寸的盘体，实用性强。

第一固定片靠近第一端面一侧设有第一凹槽，用于安装第一密封圈从而使支撑柱通过密封圈对第一端面进行密封，提升密封稳定性。

第二密封件通过第三垂直部将导电柱与真空腔室之间的间隙进行绝缘并且密封，第三水平部将第二端面与第二压紧法兰间进行密封，第二密封件结构简单、便于加工，且零件安装更便捷。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，下面描述中的附图仅为本实用新型的部分实施例相应的附图。

图1为本实用新型的具有密封结构的加热盘的一实施例的整体结构示意图。

图2为本实用新型的具有密封结构的加热盘的一实施例的支撑柱结构示意图。

图3为本实用新型的具有密封结构的加热盘的一实施例的导电柱结构示意图。

附图标记：盘体1、真空腔室11、第一端面12、第二端面13、支撑柱2、第一端部21、第一固定片211、第一凹槽211a、第一密封圈211b、第二端部22、第一压紧法兰221、第一密封件23、第一垂直部231、第一水平部232、导电柱3、第三端部31、第二固定片311、第四端部32、第二压紧法兰321、第一连接部33、第二凹槽331、绝缘胶圈332、绝缘垫片34、第二垂直部341、第二水平部342、第二密封件35、第三垂直部351、第三水平部352。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。

本实用新型术语中的“第一”“第二”等词仅作为描述目的，而不能理解为指示或暗示相对的重要性，以及不作为对先后顺序的限制。

如下为本实用新型提供的一种能解决以上技术问题的具有密封结构的加热盘的一实施例。

请参照图1，其中图1为本实用新型的具有密封结构的加热盘的一实施例的整体结构示意图。

本实用新型提供的具有密封结构的加热盘的一实施例为：一种具有密封结构的加热盘，其包括：盘体1、支撑柱2以及导电柱3。

盘体1内部设有用于安装加热盘主体的真空腔室11，且盘体1包括相对设置的第一端面12和第二端面13；支撑柱2，其贯穿设置于盘体1中心处，支撑柱2包括延伸出第一端面12的第一端部21，以及延伸出第二端面13的第二端部22；导电柱3，其贯穿设置于盘体1上，导电柱3包括延伸出第一端面12的第三端部31，以及延伸出第二端面13的第四端部32。

其中，第一端部21上设有第一固定片211，第一固定片211与第一端面12密封连接，第二端部22通过第一压紧法兰221与第二端面13密封连接；第三端部31上设有第二固定片311，第二固定片311与第一端面12密封连接，第四端部32通过第二压紧法兰321与第二端面13密封连接。

本实用新型中，支撑柱2将第一固定片211作为密封面，与盘体1的第一端面12进行密封，另一端通过第一压紧法兰221对盘体1的第二端面13进行轴向密封；导电柱3通过第二固定片311作为密封面，与盘体1的第一端面12进行密封，另一端通过第二压紧法兰321对盘体1第二端面13进行轴向密封，真空腔室11外部使用压紧法兰对其进行紧固，使加热盘整体结构稳定，且提高了加热盘安装的灵活性和可调整性，实用性强。

下面对支撑柱2结构进行阐述：

请参照图2，其中图2为本实用新型的具有密封结构的加热盘的一实施例的支撑柱2结构示意图。

结合图1，本实施例中，第一固定片211靠近第一端面12一侧设有第一凹槽211a，第一凹槽211a为环形结构，用于安装第一密封圈211b。第一固定片211通过密封圈对第一端面12进行密封，提升密封稳定性。

另外，第一压紧法兰221与第二端面13之间设置有第一密封件23，第一密封件23包括套设在支撑柱2上的第一垂直部231，以及设置在第一垂直部231外壁的第一水平部232，第一水平部232位于第二端面13与第一压紧法兰221间。第一密封件23通过第一垂直部231将支撑柱2与真空腔室11之间的间隙进行密封，第一水平部232将第二端面13与第一压紧法兰221间进行密封，装置结构简单，部件生产成本低，安装简易、便于维护、易于调整。

请参照图3，图3为本实用新型的具有密封结构的加热盘的一实施例的导电柱结构示意图。

结合图1，本实施例中，第二固定片311与第一端面12之间设有绝缘垫片34，绝缘垫片34为环形结构，且绝缘垫片34包括套设在导电柱3上的第二垂直部341，以及设置在第二垂直部341外壁的第二水平部342，第二水平部342位于第二固定片311与第一端面12间。绝缘垫片34中的第二垂直部341防止导电柱3与真空腔室11接触，第二水平部342对盘体1的第一端面12与第一压紧法兰间进行密封。

进一步的，第一端面12与第二固定片311的间隙大于第一端面12与第一固定片211的间隙，绝缘垫片34高度小于第一密封圈211b的压缩量。

本实施例中，第二压紧法兰321与第二端面13之间设置有第二密封件35，第二密封件35包括第三垂直部351，以及设置在第三垂直部351外壁的第三水平部352，第三垂直部351套设在导电柱3上，第三水平部352设置于第二端面13与第二压紧法兰321间。第二密封件35通过第三垂直部351将导电柱3与真空腔室11之间的间隙进行绝缘并且密封，第三水平部352将第二端面13与第二压紧法兰321间进行密封，第二密封件35结构简单、便于加工，且零件安装更便捷。

另外，导电柱3还包括用于连接第三端部31和第四端部32的第一连接部33，第一连接部33上设有第二凹槽331，第二凹槽331为环形结构，用于放置绝缘胶圈332。第一连接部33上设有第二凹槽331放置绝缘胶圈332，防止导电柱3与腔室接触，且使得装置节后更稳固。

进一步的，第二凹槽331设有若干组。第一连接部33上可套接多组绝缘胶圈332，提升导电柱3与腔室连接处的绝缘性。

本实施例中，导电柱3设有若干组，且若干导电柱3均匀贯穿设置在盘体1上。若干组导电柱3可增加加热盘功率，此结构简单，适应性强。

本实施例中，支撑柱2延伸方向与导电柱3延伸方向相互平行。当加热盘主体安装于真空腔室11时，盘体1的连接处仅以支撑柱2的第一固定片211密封端面为基准即可，导电柱3采用轴向密封的方式。第二固定片311密封端面无需与第一固定片211密封端面保持在一个平面，减少了加工精度的需求；当加热盘整体需要进行水平调整时，只需对支撑柱2做相关设计，保证导电柱3的轴向平行度即可，对整个加热盘机构的改造工作减少了成本。

如下对本实用新型的加热盘的密封结构进行阐述：

加热盘主体安装于真空腔室11内部，盘体1连接处以支撑柱2的第一固定片211密封端面为基准，导电柱3采用轴向密封的方式，其中，第二固定片311密封端面无需与第一固定片211密封端面保持在一个平面，减少了加工精度的需求；支撑柱2另一端与导电柱3另一端均通过压紧法兰挤压密封件对盘体1的第二端面13进行密封。该支撑柱2贯穿设置于盘体1中心处，在整个机构中，支撑柱2起到主要的定位支撑功能。

在安装支撑柱2时，首先将第一密封圈211b安装在第一固定片211一侧的第一凹槽211a内；其次，将第二端部22贯穿盘体1，使得第一固定片211通过挤压第一密封圈211b与第一端面12密封连接；最后，从支撑柱2的第二端部22依次套接第一密封件23和第一压紧法兰221，第一压紧法兰221通过第一密封件23与盘体1第二端面13密封连接，使得第一密封件23对支撑柱2与第二端面13连接处进行密封，且第一压紧法兰221使支撑柱2与盘体1连接处结构更稳定。

本实施例中的导电柱3设有多组，且多组导电柱3均匀贯穿设置在盘体1上可增加加热盘功率，此结构简单，适应性强。

以一组导电柱3为例，在安装导电柱3时，首先，将绝缘垫片34套接在导电柱3的第一连接部33靠近第二固定片311一端，且将绝缘胶圈332套接在第一连接部33的第二凹槽331内；其次，将导电柱3的第四端部32贯穿盘体1，使得第二固定片311通过挤压绝缘垫片34与第一端面12密封连接。

最后，导电柱3的第四端部32通过先安装第二密封件35对盘体1的第二端面13进行密封，再通过第二压紧法兰321对其进行紧固，使导电柱3与盘体1连接处结构更稳定，第二压紧法兰321通过第二密封件35与盘体1第二端面13密封连接，使得第二密封件35对导电柱3与第二端面13连接处进行密封，且第二压紧法兰321使支撑柱2与盘体1连接处结构更稳定。

其中，绝缘垫片34为环形结构，绝缘垫片34的第二垂直部341可以防止导电柱3与真空腔室11的腔壁接触，第二水平部342可以对导电柱3与第一端面12连接处进行密封。绝缘胶圈332在导电柱3安装完成后，使得第一连接部33通过与真空腔室11腔壁进行分隔绝缘。第二密封件35通过第三垂直部351将导电柱3与腔室之间的间隙进行绝缘并且密封，第三水平部352将第二端面13与第二压紧法兰321间进行密封，第二密封件35结构简单、便于加工，且零件安装更便捷。

多组导电柱3安装后，调整加热盘整体结构。使得导电柱3延伸方向与支撑柱2延伸方向平行。加热盘整体需要进行水平调整时，只需对支撑柱2做相关设计，保证导电柱3的轴向平行度即可，对整个加热盘机构的改造工作减少了成本。

本实施例中，对导电柱3和支撑柱2进行设计和安装时，采用以支撑柱2的连接尺寸为基准，导电柱3各连接尺寸不得影响支撑柱2的连接尺寸，且各导电柱3的紧固系统所需力矩均小于支撑柱2的相关力矩。绝缘垫片34、第一密封件23以及第二密封件35的材料，可以为塑料、陶瓷、橡胶等各类有机固体或者无机固体。

本实施例中，导电柱3的第二固定片311与第一端面12狭缝可大于支撑柱2的第一固定片211与第一端面12的狭缝，同时绝缘垫片34的厚度应小于第一密封圈211b的压缩量。导电柱3上的第二密封件35厚度可随整体结构需求进行改变。

加热盘安装完成后，整体结构以支撑柱2为基准，既保证了结构的密封性，同时提高了加热盘安装的灵活性和可调整性，降低了对零件各位置共面的精度需求，降低了加工成本。根据加热盘温度及供电方式的需求，本实施例中的导电柱3可在其表面进行绝缘处理。在不影响密封性的前提下，可在导电柱3表面以镀层、包覆、隔离等不同的结构方式提供绝缘功能。

这样即完成了本实施例的具有密封结构的加热盘的组装过程。

综上所述，虽然本实用新型已以一实施例揭露如上，但上述实施例并非用以限制本实用新型，本领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本实用新型的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种具有密封结构的加热盘，其特征在于，包括：盘体、支撑柱以及导电柱；

盘体，其内部设有用于安装加热盘主体的真空腔室，且所述盘体包括相对设置的第一端面和第二端面；

支撑柱，其贯穿设置于所述盘体中心处，所述支撑柱包括延伸出所述第一端面的第一端部，以及延伸出所述第二端面的第二端部；

导电柱，其贯穿设置于所述盘体上，所述导电柱包括延伸出所述第一端面的第三端部，以及延伸出所述第二端面的第四端部；

其中，所述第一端部上设有第一固定片，所述第一固定片与所述第一端面密封连接，所述第二端部通过第一压紧法兰与所述第二端面密封连接；

所述第三端部上设有第二固定片，所述第二固定片与所述第一端面密封连接，所述第四端部通过第二压紧法兰与所述第二端面密封连接。

2.根据权利要求1所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述第一固定片靠近所述第一端面一侧设有第一凹槽，所述第一凹槽为环形结构，用于安装第一密封圈。

3.根据权利要求1所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述第一压紧法兰与所述第二端面之间设置有第一密封件，所述第一密封件包括套设在所述支撑柱上的第一垂直部，以及设置在第一垂直部外壁的第一水平部，所述第一水平部位于所述第二端面与第一压紧法兰间。

4.根据权利要求1所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述第二固定片与所述第一端面之间设有绝缘垫片，所述绝缘垫片为环形结构，且所述绝缘垫片包括套设在所述导电柱上的第二垂直部，以及设置在所述第二垂直部外壁的第二水平部，所述第二水平部位于所述第二固定片与所述第一端面间。

5.根据权利要求1所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述导电柱还包括用于连接所述第三端部和第四端部的第一连接部，所述第一连接部上设有第二凹槽，所述第二凹槽为环形结构，用于放置绝缘胶圈。

6.根据权利要求5所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述第二凹槽设有若干组。

7.根据权利要求1所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述第二压紧法兰与所述第二端面之间设置有第二密封件，所述第二密封件包括第三垂直部，以及设置在所述第三垂直部外壁的第三水平部，所述第三垂直部套设在所述导电柱上，所述第三水平部设置于所述第二端面与第二压紧法兰间。

8.根据权利要求1所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述支撑柱延伸方向与所述导电柱延伸方向相互平行。

9.根据权利要求1所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述导电柱设有若干组，且若干所述导电柱均匀贯穿设置在所述盘体上。

10.根据权利要求4所述的具有密封结构的加热盘，其特征在于，所述第一端面与第二固定片的间隙大于所述第一端面与第一固定片的间隙，所述绝缘垫片高度小于第一密封圈的压缩量。

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