CN210287516U - 一种高压离子轰击的真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高压离子轰击的真空镀膜机，包括底板，所述底板的顶部固定连接有镀膜机本体，所述镀膜机本体的顶部固定连接有电机箱，所述电机箱内壁的顶部固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有转杆，所述转杆的一端贯穿镀膜机本体并延伸至镀膜机本体的内部，所述转杆延伸至镀膜机本体内部的一端固定连接有第一圆盘，所述第一圆盘的底部固定连接有夹具，所述夹具的底部固定连接有第二圆盘。本实用新型所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机，设有加热箱与水泵，能够提高膜层的结合力，又不会使晶粒过大，极大的提高了真空镀膜机的效率，还可以提高真空镀膜机的工作效率，使用效果好，带来更好的使用前景。

Description

一种高压离子轰击的真空镀膜机

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种高压离子轰击的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

现有的真空镀膜机在使用过程中，随着温度的升高，膜层的结合力越强，离子轰击的能量越大，然而温度越大，晶粒粗大，降低了膜层的硬度，没有控温装置，无法保证真空镀膜机镀膜的质量，降低了真空镀膜机镀膜的效率。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高压离子轰击的真空镀膜机，具备提高膜层的结合力，又不会使晶粒过大，极大的提高了真空镀膜机的效率等优点，解决了无法保证真空镀膜机镀膜的质量，降低了真空镀膜机镀膜的效率的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高压离子轰击的真空镀膜机，包括底板，所述底板的顶部固定连接有镀膜机本体，所述镀膜机本体的顶部固定连接有电机箱，所述电机箱内壁的顶部固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有转杆，所述转杆的一端贯穿镀膜机本体并延伸至镀膜机本体的内部，所述转杆延伸至镀膜机本体内部的一端固定连接有第一圆盘，所述第一圆盘的底部固定连接有夹具，所述夹具的底部固定连接有第二圆盘，所述底板的顶部固定连接有防蚊虫装置，所述防蚊虫装置的一侧与镀膜机本体的一侧固定连接，所述底板的顶部固定连接有加热箱，所述加热箱内壁的底部固定连接有加热棒，所述加热箱的一侧贯穿有加热管，所述加热箱的顶部固定连接有真空箱，所述真空箱的内部设置有真空泵，所述真空泵的一端设置有真空管。

优选的，所述防蚊虫装置包括防护箱，所述底板的顶部固定连接有防护箱，所述防护箱内壁的底部防蚊虫液，所述防护箱内壁的一侧固定连接有水泵，所述水泵的进水口连通有进水管，所述水泵的出水口连通有出水管，所述防护箱内壁的两侧之间固定连接有加热件，所述加热件的顶部固定连接有框体。

优选的，所述防护箱内壁的两侧之间固定连接有蚊虫网，所述防护箱的顶部设置有通孔。

优选的，所述第二圆盘的底部与镀膜机本体内壁的底部转动连接，所述第二圆盘的顶部固定连接有镀膜件，所述镀膜件的顶部与第一圆盘的底部固定连接。

优选的，所述真空箱的一侧设置有开口，所述镀膜机本体内壁的一侧固定连接有温度传感器。

优选的，所述加热管的一端贯穿镀膜机本体并延伸至镀膜机本体的内部，所述真空管的一端依次贯穿真空箱与镀膜机本体并延伸至镀膜机本体的内部。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种高压离子轰击的真空镀膜机，具备以下有益效果：

1、该高压离子轰击的真空镀膜机，通过加热箱内壁的底部固定连接有加热棒，加热箱的一侧贯穿有加热管，加热箱的顶部固定连接有真空箱，真空箱的内部设置有真空泵，通过温度感应器检测镀膜机真空室的内部温度，并通过温度传感器自动控制镀膜机真空室的内部温度，从而提高膜层的结合力，又不会使晶粒过大，极大的提高了真空镀膜机的效率。

2、该高压离子轰击的真空镀膜机，通过防护箱内壁的底部防蚊虫液，防护箱内壁的一侧固定连接有水泵，水泵的进水口连通有进水管，水泵的出水口连通有出水管，可以对真空镀膜机附近的蚊虫进行驱逐，防止蚊虫在室内影响真空镀膜机的工作，从而提高了真空镀膜机的工作效率，使用效果好。

附图说明

图1为本实用新型一种高压离子轰击的真空镀膜机的结构示意图；

图2为本实用新型一种高压离子轰击的真空镀膜机防蚊虫装置的结构示意图。

图中：1、底板；2、镀膜机本体；3、电机；4、转杆；5、第一圆盘；6、夹具；7、镀膜件；8、防蚊虫装置；81、防护箱；82、防蚊虫液；83、水泵；84、进水管；85、出水管；86、加热件；87、框体；88、蚊虫网；89、通孔；9、加热箱；10、加热棒；11、加热管；12、真空箱；13、真空泵；14、真空管；15、开口；16、温度传感器；17、电机箱；18、第二圆盘。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，一种高压离子轰击的真空镀膜机，包括底板1，其特征在于：底板1的顶部固定连接有镀膜机本体2，镀膜机本体2内部温度传感器16的型号为JCJ175A，镀膜机本体2的顶部固定连接有电机箱17，电机箱17内壁的顶部固定连接有电机3，电机3的电源线与外接电源相连接，电机3的型号为Y180M1-2，电机3的输出轴固定连接有转杆4，转杆4的一端贯穿镀膜机本体2并延伸至镀膜机本体2的内部，转杆4延伸至镀膜机本体2内部的一端固定连接有第一圆盘5，第一圆盘5的底部固定连接有夹具6，夹具6的底部固定连接有第二圆盘18，底板1的顶部固定连接有防蚊虫装置8，防蚊虫装置8的一侧与镀膜机本体2的一侧固定连接，底板1的顶部固定连接有加热箱9，加热箱9内壁的底部固定连接有加热棒10，加热箱9的一侧贯穿有加热管11，加热箱9的顶部固定连接有真空箱12，真空箱12的内部设置有真空泵13，真空泵13的一端设置有真空管14。

进一步的，防蚊虫装置8包括防护箱81，底板1的顶部固定连接有防护箱81，防护箱81内壁的底部防蚊虫液82，防护箱81内壁的一侧固定连接有水泵83，水泵83的进水口连通有进水管84，水泵83的出水口连通有出水管85，防护箱81内壁的两侧之间固定连接有加热件86，加热件86的顶部固定连接有框体87，可以对真空镀膜机附近的蚊虫进行驱逐，防止蚊虫在室内影响真空镀膜机的工作，从而提高了真空镀膜机的工作效率，使用效果好。

工作原理：当真空镀膜机进行工作时，启动真空泵13，通过真空管14对镀膜机本体2内部的空气进行抽取，通过开口15将空气排出，启动加热棒10，通过加热管11对镀膜机本体2的内部加热，通过温度传感器16对镀膜机本体2内部的温度进行控制，再启动电机3，带动转杆4转动，转杆4转动带动第一圆盘5转动，第一圆盘5转动带动夹具8转动，启动水泵83，通过进水管84对防蚊虫液82进行吸取，通过出水管85排入框体87，再通过加热件86对防蚊虫液82进行加热，通过加热蒸发对室内的蚊虫进行吸引，再通过蚊虫网88对蚊虫进行捕捉，使得真空镀膜机能够正常的工作。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种高压离子轰击的真空镀膜机，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定连接有镀膜机本体(2)，所述镀膜机本体(2)的顶部固定连接有电机箱(17)，所述电机箱(17)内壁的顶部固定连接有电机(3)，所述电机(3)的输出轴固定连接有转杆(4)，所述转杆(4)的一端贯穿镀膜机本体(2)并延伸至镀膜机本体(2)的内部，所述转杆(4)延伸至镀膜机本体(2)内部的一端固定连接有第一圆盘(5)，所述第一圆盘(5)的底部固定连接有夹具(6)，所述夹具(6)的底部固定连接有第二圆盘(18)，所述底板(1)的顶部固定连接有防蚊虫装置(8)，所述防蚊虫装置(8)的一侧与镀膜机本体(2)的一侧固定连接，所述底板(1)的顶部固定连接有加热箱(9)，所述加热箱(9)内壁的底部固定连接有加热棒(10)，所述加热箱(9)的一侧贯穿有加热管(11)，所述加热箱(9)的顶部固定连接有真空箱(12)，所述真空箱(12)的内部设置有真空泵(13)，所述真空泵(13)的一端设置有真空管(14)。

2.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机，其特征在于：所述防蚊虫装置(8)包括防护箱(81)，所述底板(1)的顶部固定连接有防护箱(81)，所述防护箱(81)内壁的底部防蚊虫液(82)，所述防护箱(81)内壁的一侧固定连接有水泵(83)，所述水泵(83)的进水口连通有进水管(84)，所述水泵(83)的出水口连通有出水管(85)，所述防护箱(81)内壁的两侧之间固定连接有加热件(86)，所述加热件(86)的顶部固定连接有框体(87)。

3.根据权利要求2所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机，其特征在于：所述防护箱(81)内壁的两侧之间固定连接有蚊虫网(88)，所述防护箱(81)的顶部设置有通孔(89)。

4.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机，其特征在于：所述第二圆盘(18)的底部与镀膜机本体(2)内壁的底部转动连接，所述第二圆盘(18)的顶部固定连接有镀膜件(7)，所述镀膜件(7)的顶部与第一圆盘(5)的底部固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机，其特征在于：所述真空箱(12)的一侧设置有开口(15)，所述镀膜机本体(2)内壁的一侧固定连接有温度传感器(16)。

6.根据权利要求1所述的一种高压离子轰击的真空镀膜机，其特征在于：所述加热管(11)的一端贯穿镀膜机本体(2)并延伸至镀膜机本体(2)的内部，所述真空管(14)的一端依次贯穿真空箱(12)与镀膜机本体(2)并延伸至镀膜机本体(2)的内部。

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