CN210197003U - 一种双腔体式废气处理设备及其多入口管道切换系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多入口管道切换系统，用于双腔式废气处理设备，包括用以连接第一腔体的第一管道和第三管道，还包括用以连接第二腔体的第二管道和第四管道；第一管道中设有第一三通阀，第二管道中设有第二三通阀，第一三通阀与第二三通阀通过第一连接管道连接；第三管道中设有第三三通阀，第四管道中设有第四三通阀，第三三通阀与第四三通阀通过第二连接管道连接。本实用新型还公开一种包括上述多入口管道切换系统的双腔式废气处理设备。本实用新型所提供的多入口管道切换系统结构简单，安装方便。

Description

一种双腔体式废气处理设备及其多入口管道切换系统

技术领域

本实用新型涉及废气处理技术领域，具体涉及一种多入口管道切换系统。本实用新型还涉及一种包括上述多入口管道切换系统的双腔式废气处理设备。

背景技术

废气是指人类在生产生活过程中排放的有毒有害的气体，特别是在半导体、面板显示器、LED、太阳能、医药、化工等制造领域中，排放的有毒有害气体，严重污染环境，影响人体健康。所以废气在排入大气前需要进行净化处理。等离子废气处理技术是一种比较高效环保的废气处理技术，其原理是利用高能电子、自由基等活性粒子激活、电离、裂解工业废气的各组成成分，使之发生分解、氧化等一系列复杂的化学反应，在经过多级净化，从而消除各种污染源，达到相关的排放标准。目前常见的废气处理设备，按照反应腔室的数量来区分包括：单腔式和双腔式，双腔式废气处理设备的多入口管道切换系统布局过于复杂，管路繁琐，安装不便。

因此，如何简化双腔式废气处理设备的多入口管道切换系统管道成为本领域技术人员需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多入口管道切换系统，该管道切换系统的管路结构简单，安装方便。本实用新型的另一目的是提供一种包括上述多入口管道切换系统的双腔式废气处理设备。

为实现上述目的，本实用新型提供一种多入口管道切换系统，包括用以连接第一腔体的第一管道和第三管道，还包括用以连接第二腔体的第二管道和第四管道；

所述第一管道中设有第一三通阀，所述第二管道中设有第二三通阀，所述第一三通阀与所述第二三通阀通过第一连接管道连接；

所述第三管道中设有第三三通阀，所述第四管道中设有第四三通阀，所述第三三通阀与所述第四三通阀通过第二连接管道连接。

优选地，所述第一管道和所述第二管道等长且相对设置，所述第三管道和所述第四管道等长且相对设置。

优选地，所述第三管道和所述第四管道设于所述第一管道和所述第二管道之间。

优选地，所述第一三通阀和所述第三三通阀错位设置，所述第二三通阀和所述第四三通阀错位设置。

优选地，所述第一三通阀和所述第二三通阀设于同一高度，所述第三三通阀和所述第四三通阀设于同一高度。

优选地，所述第一三通阀和所述第四三通阀为T型三通阀，所述第二三通阀和所述第三三通阀为L型三通阀。

优选地，所述第一三通阀、所述第二三通阀、所述第三三通阀和所述第四三通阀均为电动阀，还包括连接四者的阀体切换控制装置。

本实用新型还提供一种双腔式废气处理设备，包括上述任一项所述的多入口管道切换系统。

相对于上述背景技术，本实用新型所提供的多入口管道切换系统包括用来连接至第一腔体的第一管道和第三管道，还包括用来连接至第二腔体的第二管道和第四管道，第一管道和第二管道通过第一三通阀、第二三通阀及第一连接管道连接；第三管道和第四管道则通过第三三通阀和第四三通阀及第二连接管道连接。

当第一管道为第一腔体的进口管时，第四管道为第二腔体的进口管；通过第一三通阀、第一连接管道及第二三通阀和第一管道连接的第二管道与第一管道形成互备，当第一腔体出现故障时，第一三通阀切换为旁通状态，将废气通过切换后的第二三通阀及第二管道输入第二腔体内；同理，当第二腔体发生故障时，第四三通阀切换为旁通状态，将废气通过切换后的第三三通阀及第三管道输入第一腔体内；当第一腔体和第二同时发生故障时，则通过第二管道和第三管道将气体排出至中央系统处理管道处理即可。相对于现有多入口管道切换系统复杂的布局，本实用新型所提供的多入口管道切换系统仅需通过若干管道和三通阀连接形成互备，即可实现复杂的多入口进气切换，简化了多入口管道切换系统的管路布局，使得多入口管道切换系统安装更加方便。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例所提供的多入口管道切换系统的结构示意图；

图2为图1中多入口管道切换系统的俯视图；

图3为图1中多入口管道切换系统的正视图。

其中：

1-第一管道、11-第一三通阀、2-第二管道、21-第二三通阀、3- 第三管道、31-第三三通阀、4-第四管道、41-第四三通阀、12-第一连接管道、34-第二连接管道、5-第一腔体、6-第二腔体。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

为了使本技术领域的技术人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。

请参考图1、图2和图3，图1为本实用新型实施例所提供的多入口管道切换系统的结构示意图；图2为图1中多入口管道切换系统的俯视图；图3为图1中多入口管道切换系统的正视图。

本实用新型所提供的多入口管道切换系统包括用来连接双腔式废气处理设备的第一腔体5的第一管道1和第三管道3，以及用来连接第二腔体6的第二管道2和第四管道4；其中第一管道1上连接有第一三通阀11，第二管道2上连接有第二三通阀21，第一三通阀11和第二三通阀21通过第一连接管道12连接，实现第一管道1和第二管道2的可切换连接；第三管道3上连接有第三三通阀31，第四管道 4上连接有第四三通阀41，第三三通阀31和第四三通阀41通过第二连接管道34连接，实现第三管道3和第四管道4的可切换连接。

双腔式废气处理设备的第一腔体5和第二腔体6的对应位置上开设有用来安装多入口管道切换系统的安装孔，将上述多入口管道切换系统的第一管道1、第二管道2、第三管道3以及第四管道4对应安装于第一腔体5和第二腔体6即可。

当第一管道1作为第一腔体5的进气管道时，第三管道3则用来充当第一腔体5的备用进气管道，第四管道4充当第二腔体6的进气管道，第二管道2充当第二腔体6的备用进气管道。此时，第一管道 1和第四管道4连接废气进气母管，分别向第一腔体5和第二腔体6 输送废气。

请参考图1，第一种正常进气状态下，第一三通阀11处于直通状态，第一连接管道12中无废气流过，第一管道1直接向第一腔体5 供气；第四三通阀41处于直通状态，第二连接管道34中无废气流过，第四管道4直接向第二腔体6供气。

当第一腔体5发生故障时，第一三通阀11切换为旁通状态，第二三通阀21切换至连接第二腔体6和第一连接管道12的旁通状态，向第二腔体6供气，第一腔体5停止供气；类似地，当第二腔体6发生故障时，第四三通阀41切换为旁通状态，第三三通阀31切换至连接第一腔体5和第二连接管道34的旁通状态，向第一腔体5供气，第二腔体6停止供气；当第一腔体5和第二腔体6同时发生故障时，第一三通阀11和第四三通阀41均切换为旁通状态，第二三通阀21切换至连接第一连接管道12和第二管道2的上端口的旁通状态，第三三通阀 31切换至连接第二连接管道34和第三管道3的上端口的旁通状态，第一管道1的进气通过第二管道2排出，第四管道4的进气通过第三管道3排出。第二管道2的上端口和第三管道3的上端口均连接至中央系统处理管道进行处理排放。

换句话说，第一管道1作为第一腔体5的进气管道时，第二管道 2作为第一管道1的排气管道，根据故障情况选择向第二腔体6供气或者将气体排出至中央处理管道，第三管道3则作为第一腔体5的备用进气管道，当第一管道1发生故障，可通过第四管道4、第四三通阀41、第二连接管道34以及第三管道3和第三三通阀31向第一腔体 5供气。与此同时，第四管道4作为第二腔体6的进气管道，第三管道3则作为第四管道4的排气管道，根据故障情况选择向第一腔体5 供气或者将气体排出至中央处理管道，第二管道2则作为第二腔体6 的备用进气管道，当第四管道4发生故障，可通过第一管道1、第一三通阀11、第一连接管道12及第二管道2和第二三通阀21向第二腔体6供气。

在第二种正常进气状态下，第一三通阀11的三个端口同时连通，第二三通阀21切换至连接第一连接管道12和第二腔体6的状态，第一管道1作为进气管道可同时向第一腔体5和第二腔体6进行供气；第四三通阀41的三个端口同时连通，第三三通阀31切换至连接第二连接管道34和第一腔体5的状态，第四管道4作为进气管道可同时向第一腔体5和第二腔体6进行供气。发生故障的各个三通阀的切换状态具体可参考上述实施例。

下面结合附图对本实用新型所提供的多入口管道切换系统进行更加详细的介绍。

多入口管道切换系统的结构具体如图1所示，第一管道1、第二管道2、第三管道3和第四管道4均为两个；第一管道1和第二管道2 具体采用长度相同的管道，二者相对设置，第一管道1和第二管道2 分布形成矩形，第一三通阀11和第二三通阀21的阀体设置高度相同，从而方便通过第一连接管道12连接第一管道1和第二管道2；第三管道3和第四管道4也采用长度相同的管道，二者相对设置，第三管道 3和第四管道4分布形成矩形，第三三通阀31和第四三通阀41的设置高度相同，以便于通过第二连接管道34连接第三管道3和第四管道 4。

为了使该入口管道系统的结构更加紧凑，各管道的布置可参考图 3，可以将第三管道3和第四管道4形成的矩形设置在第一管道1和第二管道2形成的矩形内部，通过设置高度差，实现第一三通阀11和第三三通阀31的错位设置，第二三通阀21和第四三通阀41错位设置；如图2所示，第三管道3和第四管道4的高度大于第一管道1和第二管道2的高度；且第三三通阀31和第四三通阀41的高度大于第一三通阀11和第二三通阀21的高度，实现各阀体的错位设置，保证阀体灵活切换的同时，使结构更加紧凑。其中第一三通阀11和第而三通阀等高度设置，便于通过第一连接管道12进行连接，第三三通阀31和第四三通阀41等高度设置，便于通过第二连接管道34进行连接。

在第一管道1作为第一腔体5的进气管道，第四管道4作为第二腔体6的进气管道时，根据阀体的切换连通特性，第一三通阀11和第四三通阀41优选为T型三通阀；对应的，第二三通阀21和第四三通阀41采用L型三通阀，当然也可以采用T型三通阀。当第三管道3 作为第一腔体5的进气管道，第二管道2作为第二腔体6的进气管道时，第三三通阀31和第二三通阀21均采用T型三通阀，第一三通阀 11和第四三通阀41即可采用L型三通阀，也可采用T形三通阀。换句话说，设于进气管道的三通阀采用T型三通阀，作为备用管道的三通阀即可采用T型三通阀，也可采用L型三通阀。

在上述实施例中，第一三通阀11、第二三通阀21、第三三通阀 31和第四三通阀41均采用电动阀，且各电动阀通过阀体切换控制装置连接，以便于自动进行各状态的切换，阀体控制装置具体可参考现有技术，这里不再展开详细的介绍。

本实用新型还提供一种包括上述多入口管道切换系统的双腔式废气处理设备，废气处理设备的其他部分可以参照现有技术，本文不再展开。

需要说明的是，在本说明书中，诸如第一和第二之类的关系术语仅仅用来将一个实体与另外几个实体区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

以上对本实用新型所提供的双腔式废气处理设备及其多入口管道切换系统进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (8)

1.一种多入口管道切换系统，其特征在于，包括用以连接第一腔体(5)的第一管道(1)和第三管道(3)，还包括用以连接第二腔体(6)的第二管道(2)和第四管道(4)；

所述第一管道(1)中设有第一三通阀(11)，所述第二管道(2)中设有第二三通阀(21)，所述第一三通阀(11)与所述第二三通阀(21)通过第一连接管道(12)连接；

所述第三管道(3)中设有第三三通阀(31)，所述第四管道(4)中设有第四三通阀(41)，所述第三三通阀(31)与所述第四三通阀(41)通过第二连接管道(34)连接。

2.根据权利要求1所述的多入口管道切换系统，其特征在于，所述第一管道(1)和所述第二管道(2)等长且相对设置，所述第三管道(3)和所述第四管道(4)等长且相对设置。

3.根据权利要求2所述的多入口管道切换系统，其特征在于，所述第三管道(3)和所述第四管道(4)设于所述第一管道(1)和所述第二管道(2)之间。

4.根据权利要求1至3任一项所述的多入口管道切换系统，其特征在于，所述第一三通阀(11)和所述第三三通阀(31)错位设置，所述第二三通阀(21)和所述第四三通阀(41)错位设置。

5.根据权利要求4所述的多入口管道切换系统，其特征在于，所述第一三通阀(11)和所述第二三通阀(21)设于同一高度，所述第三三通阀(31)和所述第四三通阀(41)设于同一高度。

6.根据权利要求5所述的多入口管道切换系统，其特征在于，所述第一三通阀(11)和所述第四三通阀(41)为T型三通阀，所述第二三通阀(21)和所述第三三通阀(31)为L型三通阀。

7.根据权利要求6所述的多入口管道切换系统，其特征在于，所述第一三通阀(11)、所述第二三通阀(21)、所述第三三通阀(31)和所述第四三通阀(41)均为电动阀，还包括连接四者的阀体切换控制装置。

8.一种双腔式废气处理设备，其特征在于，包括权利要求1至7任一项所述的多入口管道切换系统。

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