CN210146609U - 单晶炉的炉内清洁装置 - Google Patents

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CN210146609U CN201920567197.5U CN201920567197U CN210146609U CN 210146609 U CN210146609 U CN 210146609U CN 201920567197 U CN201920567197 U CN 201920567197U CN 210146609 U CN210146609 U CN 210146609U
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魏海宁
孔祥传
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Xuzhou Jingrui Semiconductor Equipment Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开一种单晶炉的炉内清洁装置,包括低速电机,所述低速电机的输出轴通过连接块连接有丝杠螺母,丝杠螺母转动连接有丝杠,丝杠的下端固定连接有转筒,转筒的下端面设置有连接轴,连接轴的下端外侧面左右两端对称设置有第一伸缩杆和第二伸缩杆,第一伸缩杆的左侧面通过第一固定块固定连接有清洗部,第二伸缩杆的右侧面通过第二固定块固定连接有吸尘部,本实用新型在清洗部中采用可更换的除尘布的方式,有效避免产生二次性的碎屑,通过可伸缩的装置,清洗部和除尘部可以适用于不同的型号的单晶炉,通过低速电机的转动实现全方位的清洁,减少劳动力的劳动强度,提高工作效率。

Description

单晶炉的炉内清洁装置
技术领域
本实用新型涉及单晶炉清洁技术领域,具体为一种单晶炉的炉内清洁装置。
背景技术
在光伏产业中,单晶炉扮演着及其重要的角色,其高效率且批量制备单晶硅片。单晶硅棒的生长工艺在惰性气体中进行,因此在制备晶体的过程中,对单晶炉室内的环境提出来严格的要求,由于单晶炉副室清理工作的复杂性,现有技术中通常采用将清洁材料固定在木棍的顶端,蘸上无水乙醇后对副炉室的炉筒内壁进行清理。该方式的清洁材料与炉筒内壁的接触面较小,且增加了操作工人的劳动强度,浪费人力资源,而且容易出现内壁除尘效果不佳的现象,从而影响单晶硅棒的成晶率和品质。
已授权专利:CN203295650U单晶炉副室清扫装置,一种单晶炉副室清扫装置,包括由一对钳柄和钳臂,构成的夹钳;其特征在于:所述两个钳臂的顶端各固定有一个半圆形的夹盘,且两个夹盘的开口相对设置。
但是现有的发明,在使用时采用纤维纸进行除尘,在操作过程中极易发生脱落,且会产生碎屑,需要进行二次清理,且装置本身对不同孔径的单晶炉副室适应性相对较弱,不具有普适性。
发明内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种单晶炉的炉内清洁装置,采用可更换的除尘布,有效避免产生二次性的碎屑,而且可伸缩的清洗部和除尘部可以适用于不同的型号的单晶炉,通过低速电机的转动实现,节约人力资源题。
为实现上述目的,本实用新型提供一种单晶炉的炉内清洁装置,包括低速电机,所述低速电机的输出轴通过连接块连接有丝杠螺母,丝杠螺母转动连接有丝杠,丝杠的下端固定连接有转筒,转筒的下端面设置有连接轴,连接轴的外侧面滑动连接有滑块,滑块的外侧面通过连杆连接有导块,转筒的下端外侧面左右两端对称设置有第一伸缩杆和第二伸缩杆,第一伸缩杆的左侧面设置有第一固定块,第一固定块固定连接有清洗部,第二伸缩杆的右侧面设置有第二固定块,第二固定块固定连接有吸尘部。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述转筒上端设置有安装孔且螺丝杠固定连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述导块的数量为两个,且分别位于第一伸缩杆和第二伸缩杆的凹槽内。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述清洗部由安装板、骨架、过滤箱和棉性吸水布组成,安装板和骨架对称设置固定连接有过滤箱,过滤箱的外侧面设置有棉性吸水布。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述吸尘部由固定架,加强筋和吸尘箱构成,吸尘箱的上下表面对称设置有加强筋,加强筋的上表面固定连接有固定架,加强筋的数量为四个均匀设置在吸尘箱的上下表面,吸尘箱的外侧面设置吸尘孔。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型在清洗部中采用可更换的除尘布的方式,有效避免产生二次性的碎屑,通过可伸缩的装置,清洗部和除尘部可以适用于不同的型号的单晶炉,具有普适性,通过低速电机的转动实现全方位的清洁,节约人力资源,减少劳动力的劳动强度,提高工作效率,提高晶体的的产量。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型正视图;
图3为本实用新型俯视图。
图中:1吸尘箱、2加强筋、3固定架、4连杆、5滑块、6转筒、7丝杠、8连接块、9低速电机、10骨架、11安装板、12棉性吸水布、13过滤箱、14第一固定块、15导块、16连接轴、17第二伸缩杆、18第二固定块、19第一伸缩杆、20清洗部、21吸尘部。
具体实施方式
下面将结合实施例对本实用新型作进一步说明。
如图1至图3所示,本实用新型提供一种单晶炉的炉内清洁装置,包括低速电机9,其特征在于:所述低速电机9的输出轴通过连接块8连接有丝杠螺母22,丝杠螺母22转动连接有丝杠7,丝杠7的下端固定连接有转筒6,所述转筒6上端设置有螺纹孔且螺纹连接有丝杠7,转筒6的下端面设置有连接轴16,连接轴16的外侧面滑动连接有滑块5,滑块5的外侧面通过连杆4连接有导块15,连接轴16的下端外侧面左右两端对称设置有第一伸缩杆19和第二伸缩杆17,所述导块15的数量为两个,且分别位于第一伸缩杆19和第二伸缩杆17的凹槽内,通过滑块6的上下移动从而控制导块16的左右移动,进而控制第一伸缩杆20和第二伸缩杆18的伸缩,以此满足不同的单晶炉,第一伸缩杆19的左侧面设置有第一固定块14,第一固定块14固定连接有清洗部20,所述清洗部20由安装板11、骨架10、过滤箱13和棉性吸水布12组成,安装板11和骨架10对称设置固定连接有过滤箱13,过滤箱13的外侧面设置有棉性吸水布12,清洗部20实现对单晶炉副室内壁的清洗,第二伸缩杆17的右侧面设置有第二固定块18,第二固定块18固定连接有吸尘部21,所述吸尘部21由固定架3,加强筋2和吸尘箱1构成,吸尘箱1的上下表面对称设置有加强筋2,加强筋2的上表面固定连接有固定架3,加强筋2的数量为四个,四个加强筋2均匀设置在吸尘箱1的上下表面,吸尘箱1的外侧面设置吸尘孔,通过吸尘部21进而对单晶炉副室内壁的灰尘进行吸收,通过除尘和清洗两个步骤实现单晶炉副室内环境的清洁。
在使用时:通过外接的吊装装置,将该装置安置在单晶炉的正上方,打开外置电源,低速电机10启动,带动清洗部21和吸尘部22进行缓慢转动,同时吸尘部22也开始工作。对单晶炉副室的内壁进行吸尘处理,待吸尘处理结束后,外置的清洗液储藏装置将清洗液输送进清洗部21,通过过滤箱14将棉性吸水布13进行浸湿,低速电机10再开始工作,进而将吸尘处理后的部分进行清洗,以此保障单晶炉副室内环境的清洁。
本实用新型的清洗部中采用可更换的除尘布的方式,有效避免产生二次性的碎屑,通过可伸缩的装置,清洗部和除尘部可以适用于不同的型号的单晶炉,具有普适性,通过低速电机的转动实现全方位的清洁,节约人力资源,减少劳动力的劳动强度,提高工作效率,提高晶体的的产量。

Claims (5)

1.一种单晶炉的炉内清洁装置,包括低速电机,其特征在于,低速电机的输出轴通过连接块连接有丝杠螺母,丝杠螺母转动连接有丝杠,丝杠的下端固定连接有转筒,转筒的下端面设置有连接轴,连接轴外侧面滑动连接有滑块,滑块的外侧面通过连杆连接有导块,连接轴的下端外侧面左右两端对称设置有第一伸缩杆和第二伸缩杆,第一伸缩杆的左侧面设置有第一固定块,第一固定块固定连接有清洗部,第二伸缩杆的右侧面设置有第二固定块,第二固定块固定连接有吸尘部,清洗部通过与外界储存清洗液的装置相连,洗尘部和低速电机与外置电源连接。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉内清洁装置,其特征在于,转筒上端设置有安装孔且与丝杠固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉内清洁装置,其特征在于,导块的数量为两个,且分别位于第一伸缩杆和第二伸缩杆的凹槽内。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉内清洁装置,其特征在于,清洗部由安装板、骨架、过滤箱和棉性吸水布组成,安装板和骨架对称设置固定连接有过滤箱(13),过滤箱的外侧面设置有棉性吸水布。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉内清洁装置,其特征在于,吸尘部由固定架,加强筋和吸尘箱构成,吸尘箱的上下表面对称设置有加强筋,加强筋的上表面固定连接有固定架,加强筋的数量为四个,四个加强筋均匀设置在吸尘箱的上下表面,吸尘箱(1)的外侧面设置吸尘孔。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117684253A (zh) * 2023-12-07 2024-03-12 连城凯克斯科技有限公司 一种晶硅制造单晶炉投料设备

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