CN210065982U - 一种新型高压腔进气出气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种新型高压腔进气出气装置，气源进气管道安装在气路安装盘上，所述气源进气管道一端连接气源，另一端连接高压腔体，气源进气管道上连接过滤器，过滤器通过气源进气管道连接进气调压阀，气源进气管道经减压器减压后经三通接头一分为二，一路接进气隔膜阀，一路接进气手动阀后合再接三通接头二为一，连接进气调节针阀，气源进气管道经进气调节针阀后连接腔体进出气管道，腔体进出气管道另一端直接连接高压腔体，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：使高压腔体内的气氛更加稳定，安装可靠，大大提升了材料生长的性能指标和一致性，降低了人为操作的失误率。

Description

一种新型高压腔进气出气装置

技术领域

本实用新型是一种新型高压腔进气出气装置，涉及一种半导体材料高压晶体生长工艺设备。

背景技术

晶体生长设备用于处理半导体材料如磷化铟等高压，在磷化铟材料生长过程中必须保持一定的高压气氛。

目前同类产品中，普通的晶体生长炉设备在磷化铟生长过程中，高压气氛会随温度的变化而改变，需要不断的进行充气、放气的过程，大多设备采用人工操作的方式，这样操作效率低，成本大，产品稳定性不好，而且在高压气氛时，充放气的精准度不高，充气压力往往瞬间增大很多，对晶体生长带来极大的不便。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种新型高压腔进气出气装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种新型高压腔进气出气装置，包括高压腔体、气路安装盘、过滤器、进气调压阀、压力传感器、进气隔膜阀、放气隔膜阀、进气调节针阀、出气调节针阀、压力表、进气手动阀、放气手动阀、气源进气管道、腔体进出气管道、放气管道、单向阀、卸荷阀，所述气源进气管道安装在气路安装盘上，所述气源进气管道一端连接气源，另一端连接高压腔体，气源进气管道上连接过滤器，过滤器通过气源进气管道连接进气调压阀，气源进气管道经减压器减压后经三通接头一分为二，一路接进气隔膜阀，一路接进气手动阀后合再接三通接头二为一，连接进气调节针阀，气源进气管道经进气调节针阀后连接腔体进出气管道，腔体进出气管道另一端直接连接高压腔体；

在腔体进出气管道上安装有三通接头，连接放气管道，放气管道的另一端安装有单向阀，与三通连接接头连接在一起，单向阀另一端连接四通接头，将出气一分为三，其中一路连接放气手动阀，一路连接放气隔膜阀，剩余一路连接卸荷阀。

进一步地，放气气体经放气手动阀和放气隔膜阀后合并，连接放气调节针阀。

进一步地，在腔体进出气管道上安装有压力传感器。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种新型高压腔进气出气装置，使高压腔体内的气氛更加稳定，安装可靠，大大提升了材料生长的性能指标和一致性，降低了人为操作的失误率。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种新型高压腔进气出气装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种新型高压腔进气出气装置的气路原理示意图；

图3为本实用新型一种新型高压腔进气出气装置的压力控制原理示意图；

图中：高压腔体1、气路安装盘2、过滤器3、进气调压阀4、压力传感器5、进气隔膜阀6、放气隔膜阀7、进气调节针阀8、出气调节针阀9、进气手动阀10、放气手动阀11、气源进气管道12、腔体进出气管道13、放气管道14、单向阀15、卸荷阀16。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1至图2，本实用新型提供一种技术方案：一种新型高压腔进气出气装置，包括高压腔体1、气路安装盘2、过滤器3、进气调压阀4、压力传感器5、进气隔膜阀6、放气隔膜阀7、进气调节针阀8、出气调节针阀9、压力表10、进气手动阀11、放气手动阀12、气源进气管道13、腔体进出气管道14、放气管道15、单向阀16、卸荷阀17，气源进气管道13安装在气路安装盘2上，气源进气管道13一端连接气源，另一端连接高压腔体1，气源进气管道13上连接过滤器3，过滤器3通过气源进气管道13连接进气调压阀4，气源进气管道13经减压器减压后经三通接头一分为二，一路接进气隔膜阀6，一路接进气手动阀11后合再接三通接头二为一，连接进气调节针阀8，气源进气管道13经进气调节针阀8后连接腔体进出气管道14，腔体进出气管道14另一端直接连接高压腔体1；

在腔体进出气管道14上安装有三通接头，连接放气管道15，放气管道15的另一端安装有单向阀16，与三通连接接头连接在一起，单向阀16另一端连接四通接头，将出气一分为三，其中一路连接放气手动阀12，一路连接放气隔膜阀7，剩余一路连接卸荷阀17。

放气气体经放气手动阀12和放气隔膜阀7后合并，连接放气调节针阀。

在腔体进出气管道14上安装有压力传感器5。

做为本实用新型的一个实施例：气源进气管道13一端连接气源，气体经过滤器3过滤后连接到进气调压阀4，使气源进气稳定在一个压力值上，气体经减压器减压后经三通接头一分为二，一路通过进气隔膜阀6，一路通过进气手动阀11后合再经过三通接头二为一，连接进气调节针阀8，进气调节针阀8调整气体流量后连接腔体进出气管道14，腔体进出气管道14另一端直接连接高压腔体1。

在腔体进出气管道14上安装有三通接头，连接放气管道15，放气管道15的另一端安装有单向阀16，单向阀16另一端连接四通接头，将出气一分为三，其中一路连接放气手动阀12，一路连接放气隔膜阀7，剩余一路连接卸荷阀17；放气气体经放气手动阀12和放气隔膜阀7后合并，连接放气调节针阀，放气调节针阀可以调节放气的流量大小。

请参阅图3，在腔体进出气管道14上安装有压力传感器5，能检测到高压腔体1及腔体连接管道的实时压力，并将测量的压力值反馈给PLC，PLC根据测的腔体压力值，与上位机设定的高压腔体1压力设定值进行比较，压力超过设定值将打开放气隔膜阀7进行放气，压力过低将开启进气隔膜阀6进行充气，实现了对高压腔体1压力的自动控制。

在放气组件尾端安装的卸荷阀17是为了防止误操作或阀门失控导致高压腔体1压力过高，一旦出现意外，高压腔体1,压力高于卸荷阀17压力上限值，卸荷阀17会自动放气，保证了高压腔体1的安全性。

进气气体经气源进气管道13接入进气系统，先经过过滤器3进行过滤，后经过调压器进行压力调节，在进气回路上安装有调压阀能够保证进气压力稳定，在进气和排气回路都安装了调节针阀来调节进气和出气流量，使气体能够稳定的通入高压腔体1，也能够稳定的进行放气，避免出现瞬间超压和欠压的情况，大大保证了磷化铟材料高压生长的气氛。

进出气管路上安装有压力传感器5能够实时反馈高压腔体1的压力值，实现自动控制高压腔体1充放气的过程，避免人工操作，不但降低了人工操作的失误率，也大大提升了气氛的稳定性。

卸荷阀17的安装保证了整个充放气过程的安全性，一旦出现操作失误和阀门失控也不会出现高压腔体1内压力超极限的情况。

整个进气出气装置使高压腔体1内的气氛更加稳定，安装可靠，大大提升了材料生长的性能指标和一致性，降低了人为操作的失误率。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (3)

1.一种新型高压腔进气出气装置，包括高压腔体、气路安装盘、过滤器、进气调压阀、压力传感器、进气隔膜阀、放气隔膜阀、进气调节针阀、出气调节针阀、压力表、进气手动阀、放气手动阀、气源进气管道、腔体进出气管道、放气管道、单向阀、卸荷阀，其特征在于：所述气源进气管道安装在气路安装盘上，所述气源进气管道一端连接气源，另一端连接高压腔体，气源进气管道上连接过滤器，过滤器通过气源进气管道连接进气调压阀，气源进气管道经减压器减压后经三通接头一分为二，一路接进气隔膜阀，一路接进气手动阀后合再接三通接头二为一，连接进气调节针阀，气源进气管道经进气调节针阀后连接腔体进出气管道，腔体进出气管道另一端直接连接高压腔体；

在腔体进出气管道上安装有三通接头，连接放气管道，放气管道的另一端安装有单向阀，与三通连接接头连接在一起，单向阀另一端连接四通接头，将出气一分为三，其中一路连接放气手动阀，一路连接放气隔膜阀，剩余一路连接卸荷阀。

2.根据权利要求1所述的一种新型高压腔进气出气装置，其特征在于：放气气体经放气手动阀和放气隔膜阀后合并，连接放气调节针阀。

3.根据权利要求1所述的一种新型高压腔进气出气装置，其特征在于：在腔体进出气管道上安装有压力传感器。

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