CN209952453U - 一种带化学过滤的排风装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种带化学过滤的排风装置,包括无叶风扇环形壳体、吸风座、初效过滤板和化学过滤板,无叶风扇环形壳体中心设有排风道,无叶风扇环形壳体内设有环形导风道,无叶风扇环形壳体外表面设有进风孔,进风孔与环形导风道导通。吸风座配置于无叶风扇环形壳体外侧,吸风座内设置有吸风道以及向吸风道内鼓风的风扇。初效过滤板配置于排风道的进风端,且初效过滤板覆盖吸风座的进风端。化学过滤板配置于排风道的出风端。无叶风扇原理的应用,使得利用原有的空间和功耗,达到原先10倍以上的空气通过量,并且无叶风扇取消了风扇叶片切割空气,从而提供更平稳的空气流,更适用于高端制造工厂。
Description
技术领域
本实用新型属于除尘装置的技术领域,具体地说,涉及一种带化学过滤的排风装置。
背景技术
芯片制造是一个对技术、资金、人才都高度依赖的行业,特别是在工艺上,一些新兴芯片领域是中国弯道超车的重要突破口,目前中国已经占据有一席之地。集成电路制造对洁净室环境的控制有较为严格的要求,不同工艺制程对洁净度的要求也各不相同,空气的洁净度低会危害生产工艺并导致成品率低。因此针对芯片制造等高端制造工厂,需要对高浓度颗粒物、化学物质进行控制的除尘装置。
实用新型内容
针对高端制造工厂的除尘标准,本实用新型提供一种带化学过滤的排风装置,本排风装置能够对高浓度颗粒物、化学物质等进行高效过滤。
为了实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种带化学过滤的排风装置,包括无叶风扇环形壳体、吸风座、初效过滤板和化学过滤板,无叶风扇环形壳体中心设有排风道,无叶风扇环形壳体内设有环形导风道,无叶风扇环形壳体外表面设有进风孔,进风孔与环形导风道导通。吸风座配置于无叶风扇环形壳体外侧,吸风座内设置有吸风道以及向吸风道内鼓风的风扇。初效过滤板配置于排风道的进风端,且初效过滤板覆盖吸风座的进风端。化学过滤板配置于排风道的出风端。
在本实用新型的一实施例中,无叶风扇环形壳体包括可拆卸连接的外壳和内壳,环形导风道设置于外壳与内壳之间,进风孔设置于外壳上,吸风座与外壳固定连接。
在本实用新型的一实施例中,外壳和内壳螺纹连接。
在本实用新型的一实施例中,内壳出风端的内表面凹设有环形台阶,环形台阶螺纹连接有挤压环,化学过滤板挤压连接与环形台阶与挤压环之间。
在本实用新型的一实施例中,挤压环端部固定连接有出风滤网。
在本实用新型的一实施例中,无叶风扇环形壳体外侧配置有一对吸风座,该对吸风座关于外壳对称分布。
在本实用新型的一实施例中,化学过滤板卡接于该对吸风座之间,该对吸风座之间还卡接有进风滤网。
在本实用新型的一实施例中,外壳和内壳之间的连接处挤压设置有密封圈。
在本实用新型的一实施例中,化学过滤板采用HEPA高效过滤板。
本实用新型技术方案的有益效果如下:
1、无叶风扇原理的应用,使得利用原有的空间和功耗,达到原先10倍以上的空气通过量,并且无叶风扇取消了风扇叶片切割空气,不会产生阶段性冲击或者波浪形空气流,从而提供更平稳的空气流,更适用于高端制造工厂;
2、初效过滤板在本排风装置中的位置分布使得进入排风道和吸风座内的空气都得到初步过滤,化学过滤器处于排风道内,并且处于排风道的出风端,使得经过本排风装置的空气都能达到化学过滤效果,从而拦截化学污染物。
附图说明
图1为本实用新型的排风装置的结构示意图。
图2为本实用新型的外壳的剖视图。
图3为本实用新型的内壳的剖视图。
附图中:
10-无叶风扇环形壳体,1a-外壳,1b-内壳,11-排风道,12-环形导风道, 13-进风孔,14-环形台阶,15-挤压环,21-吸风座,23-风扇,31-初效过滤板,32-化学过滤板,41-出风滤网,42-进风滤网。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外,术语“平行”、“垂直”等并不表示要求部件绝对平行或垂直,而是可以稍微倾斜。如“平行”仅仅是指其方向相对“垂直”而言更加平行,并不是表示该结构一定要完全平行,而是可以稍微倾斜。
在本实用新型的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
以下结合附图对本实用新型作进一步描述:
参照附图1-附图3,本实用新型提供一种带化学过滤的排风装置,包括无叶风扇环形壳体10、吸风座21、初效过滤板31和化学过滤板32,无叶风扇环形壳体10中心设有排风道11,无叶风扇环形壳体10内设有环形导风道12,无叶风扇环形壳体10外表面设有进风孔13,进风孔13与环形导风道12导通。吸风座21配置于无叶风扇环形壳体10外侧,吸风座21内设置有吸风道以及向吸风道内鼓风的风扇23。初效过滤板31配置于排风道11的进风端,且初效过滤板31覆盖吸风座21的进风端。化学过滤板32配置于排风道11的出风端。
需要说明的是,无叶风扇原理的应用,使得利用原有的空间和功耗,达到原先10倍以上的空气通过量,并且无叶风扇取消了风扇片切割空气,不会产生阶段性冲击或者波浪形空气流,从而提供更平稳的空气流,更适用于高端制造工厂;初效过滤板31在本排风装置中的位置分布使得进入排风道11和吸风座 21内的空气都得到初步过滤,化学过滤器处于排风道11内,并且处于排风道 11的出风端,使得经过本排风装置的空气都能达到化学过滤效果,从而拦截化学污染物。
在本实施例中,无叶风扇环形壳体10包括可拆卸连接的外壳1a和内壳1b,环形导风道12设置于外壳1a与内壳1b之间,进风孔13设置于外壳1a上,吸风座21与外壳1a固定连接。在本实施例中,外壳1a和内壳1b螺纹连接。并且,内壳1b出风端的内表面凹设有环形台阶14,环形台阶14螺纹连接有挤压环15,化学过滤板32挤压连接与环形台阶14与挤压环15之间。
需要说明的是,螺纹连接的外壳1a和内壳1b可以便于形成环形导风道12,并且便于拆装和内部检修;相同的,采用挤压环15安装化学过滤板32同样是为了化学过滤板32的拆装,从而进行快速更换。
在本实施例中,挤压环15端部固定连接有出风滤网41。
在本实施例中,无叶风扇环形壳体10外侧配置有一对吸风座21,该对吸风座21关于外壳1a对称分布。
在本实施例中,化学过滤板32卡接于该对吸风座21之间,该对吸风座21 之间还卡接有进风滤网42。出风滤网41和进风滤网42是为了防止外部体积较大的污染物进入本装置对本装置的工作造成影响。
为了进一步提高导风效果,避免漏风,在本实施例中,外壳1a和内壳1b 之间的连接处挤压设置有密封圈。
值得注意的是,在本实施例中,化学过滤板32采用HEPA高效过滤板,从而对于0.1微米和0.3微米的有效率达到99.7%,HEPA是烟雾、灰尘以及细菌等污染物最有效的过滤媒介。
最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (9)
1.一种带化学过滤的排风装置,其特征是,包括:
无叶风扇环形壳体,该无叶风扇环形壳体中心设有排风道,该无叶风扇环形壳体内设有环形导风道,该无叶风扇环形壳体外表面设有进风孔,该进风孔与该环形导风道导通;
吸风座,配置于该无叶风扇环形壳体外侧,该吸风座内设置有吸风道以及向该吸风道内鼓风的风扇;
初效过滤板,配置于该排风道的进风端,且该初效过滤板覆盖该吸风座的进风端;以及
化学过滤板,配置于该该排风道的出风端。
2.根据权利要求1所述的排风装置,其特征是,该无叶风扇环形壳体包括可拆卸连接的外壳和内壳,该环形导风道设置于该外壳与该内壳之间,该进风孔设置于该外壳上,该吸风座与该外壳固定连接。
3.根据权利要求2所述的排风装置,其特征是,该外壳和该内壳螺纹连接。
4.根据权利要求2所述的排风装置,其特征是,该内壳出风端的内表面凹设有环形台阶,该环形台阶螺纹连接有挤压环,该化学过滤板挤压连接与该环形台阶与该挤压环之间。
5.根据权利要求4所述的排风装置,其特征是,该挤压环端部固定连接有出风滤网。
6.根据权利要求1所述的排风装置,其特征是,该无叶风扇环形壳体外侧配置有一对该吸风座,该对吸风座关于该外壳对称分布。
7.根据权利要求6所述的排风装置,其特征是,该化学过滤板卡接于该对吸风座之间,该对吸风座之间还卡接有进风滤网。
8.根据权利要求2所述的排风装置,其特征是,该外壳和该内壳之间的连接处挤压设置有密封圈。
9.根据权利要求1所述的排风装置,其特征是,该化学过滤板采用HEPA高效过滤板。
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