CN209947790U - 一种程控离子源电源中和电流显示组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种程控离子源电源中和电流显示组件，包括：一霍尔离子源设备；所述霍尔离子源设备内部的电路板上分别设置有中和电流取样模块、电流放大模块、中央处理模块和终端，所述中和电流取样模块、电流放大模块、中央处理模块对应的电子元件或电子组件皆串连在所述霍尔离子源设备内部的电路板上。本实用提供的程控离子源电源中和电流显示组件，通过中和电流显示组件对霍尔离子源设备运行中的中和电流的大小，从而确定离子源能量的大小，并通过显示屏进行显示，方便使用者在生产过程中及时的去发现并控制中和电流的大小，避免脱膜和镀膜产品上起点损坏问题的发生，保证了镀膜的质量。

Description

一种程控离子源电源中和电流显示组件

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机上辅助镀膜设备技术领域，具体来说涉及一种程控离子源电源中和电流显示组件。

背景技术

目前市场上的霍尔离子源在实际生产的使用过程，因为设备上没有对设备运行过程的的中和电流显示，而没有中和电流显示的霍尔离子源在使用过程中，有时会因为中和电流太小而达不到辅助镀膜的要求，造成镀膜的产品在镀膜的过程中发生脱膜的情况；或者有时因为中和电流太大，会发生真空室内放电打火的现象，从而对造面镀膜产品上起点损坏。

实用新型内容

鉴于现有技术存在的上述问题，本实用新型的一方面目的在于提供一种程控离子源电源中和电流显示组件，以解决现阶段发现的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供的一种程控离子源电源中和电流显示组件，包括：

一霍尔离子源设备；所述霍尔离子源设备内部的电路板上分别设置有中和电流取样模块、电流放大模块、中央处理模块和终端，所述中和电流取样模块、电流放大模块、中央处理模块对应的电子元件或电子组件皆串连在所述霍尔离子源设备内部的电路板上。

作为优选，所述中央处理模块具体为单片机。

作为优选，所述终端为显示设备，具体为液晶显示屏。

与现有技术相比较，本实用新型提供的一种程控离子源电源中和电流显示组件，具备以下有益效果：本实用中针对霍尔离子源设备在实际使用过程中，因为缺乏中和电流显示，而造成生产过程中问题，通过中和电流显示组件对霍尔离子源设备运行中的中和电流的大小，从而确定离子源能量的大小，并通过显示屏进行显示，方便使用者在生产过程中及时的去发现并控制中和电流的大小，避免脱膜和镀膜产品上起点损坏问题的发生，保证了镀膜的质量。

应当理解，前面的一般描述和以下详细描述都仅是示例性和说明性的，而不是用于限制本公开。

本申请文件提供本公开中描述的技术的各种实现或示例的概述，并不是所公开技术的全部范围或所有特征的全面公开。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构流程图。

主要附图标记：

1、霍尔离子源设备；2、中和电流取样模块；3、电流放大模块；4、中央处理模块。

具体实施方式

为了使得本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，还可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

为了保持本公开实施例的以下说明清楚且简明，本公开省略了已知功能和已知部件的详细说明。

一种程控离子源电源中和电流显示组件，包括一霍尔离子源设备1本体。

针对本实用中，霍尔离子源设备1在实际生产活动中，因为缺乏对中和电流的显示，而造成：第一，中和电流太小而达不到辅助镀膜的要求，造成镀膜的产品在镀膜的过程中发生脱膜的情况；第二，因为中和电流太大，会发生真空室内放电打火的现象。

如图1所示，通过在霍尔离子源设备1内部的电路板上增加分别设置有中和电流取样模块2、电流放大模块3、中央处理模块4和终端5，中和电流取样模块2、电流放大模块3、中央处理模块4对应的电子元件或电子组件皆串连在霍尔离子源设备1内部的电路板上。

并且，具体的中央处理模块4具体为单片机。

再者，具体的终端5为显示设备，具体为液晶显示屏。

结合图2对本实用提供技术方案进行描述，当霍尔离子源设备1进行镀膜作业的过程，本实用提供的中和电流显示，首先会对中和电流进行取样，并通过放大电路将中和电流进行放大，再通过单片机对接收的电压数据进行分析和处理，并转为为数值，最后通过液晶显示屏进行表达，从而方便使用者在实际生产操作中，通过液晶显示屏贯穿中和电流的变化量，并对其进行控制，从而保证镀膜产品的质量。

本领域技术人员可以理解的是，其他类似连接方式也可以实现本实用新型，例如焊接、粘接或者螺接等方式。

以上实施例仅为本实用的示例性实施例，不用于限制本实用，本实用的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本实用的实质和保护范围内，对本实用做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本实用的保护范围内。

Claims (3)

1.一种程控离子源电源中和电流显示组件，其特征在于，包括：

一霍尔离子源设备(1)；所述霍尔离子源设备(1)内部的电路板上分别设置有中和电流取样模块(2)、电流放大模块(3)、中央处理模块(4)和终端(5)，所述中和电流取样模块(2)、电流放大模块(3)、中央处理模块(4)对应的电子元件或电子组件皆串连在所述霍尔离子源设备(1)内部的电路板上。

2.根据权利要求1所述的一种程控离子源电源中和电流显示组件，其特征在于，所述中央处理模块(4)具体为单片机。

3.根据权利要求1所述的一种程控离子源电源中和电流显示组件，其特征在于，所述终端(5)为显示设备，具体为液晶显示屏。

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