CN209886363U - 一种黑硅表面加工的通风装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及黑硅加工技术领域，且公开了一种黑硅表面加工的通风装置，包括反应室，所述反应室的内部固定安装有隔板，所述隔板的顶部固定安装有抽风机，所述反应室的内部开设有位于隔板上方的出气孔，所述隔板的内部开设有位于出气孔下方的透气孔，所述反应室的内部固定安装有安装板，所述安装板的内部转动连接有转动杆，所述转动杆的外壁固定安装有位于安装板背面的转动叶片，所述转动叶片的正面固定安装有定位杆。该黑硅表面加工的通风装置，解决了现有的黑硅表面加工的通风装置对进风口的角度调节上还不够完善，黑硅在表面进行加工时，需要对黑硅的表面进行吹扫，在风口的角度不能进行调节时，降低了风对污染物的吹扫效率的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及黑硅加工技术领域，具体为一种黑硅表面加工的通风装置。
背景技术
黑硅是最新研究发现的一种能大幅提高光电转换效率的新型电子材料，黑硅能够捕捉几乎全部日光，由于黑硅的表面为黑色，它能将可见光和红外线都进行吸收，这种材料能够提高光的使用效率，黑硅在制绒时，需要进行表面加工，使得黑硅表面织构化，即在黑硅表面制备陷光结构，常用的工艺为激光刻蚀工艺，电化学腐蚀工艺和反应离子刻蚀工艺，在反应室中会产生大量污染物，因此，需要通风装置进行通风，且在进行表面加工时，需要针对不同的加工情况需要通风装置内循环与外循环。
例如中国专利CN 207176121 U中公开的一种黑硅表面加工的通风装置，该实用新型的一种黑硅表面加工的通风装置能够根据黑硅表面加工的不同工艺，调整抽风机的数量，从而改变通风性能，便于灵活调整，但是，通过调整抽风机的数量来改变通风的性能过于繁琐，且现有的黑硅表面加工的通风装置对进风口的角度调节上还不够完善，黑硅在表面进行加工时，需要对黑硅的表面进行吹扫，在风口的角度不能进行调节时，降低了风对污染物的吹扫效率，故而提出一种黑硅表面加工的通风装置来解决上述所提出的问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种黑硅表面加工的通风装置，具备便于调节进风孔角度等优点，解决了现有的黑硅表面加工的通风装置对进风口的角度调节上还不够完善，黑硅在表面进行加工时，需要对黑硅的表面进行吹扫，在风口的角度不能进行调节时，降低了风对污染物的吹扫效率的问题。
(二)技术方案
为实现上述便于调节进风孔角度的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种黑硅表面加工的通风装置，包括反应室，所述反应室的内部固定安装有隔板，所述隔板的顶部固定安装有抽风机，所述反应室的内部开设有位于隔板上方的出气孔，所述隔板的内部开设有位于出气孔下方的透气孔，所述反应室的内部固定安装有安装板，所述安装板的内部转动连接有转动杆，所述转动杆的外壁固定安装有位于安装板背面的转动叶片，所述转动叶片的正面固定安装有定位杆，所述定位杆的外壁转动连接有齿板，所述反应室的右侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有与齿板啮合的转动齿轮，所述齿板的左侧固定安装有连接块，所述连接块的底部固定连接有连接绳索，所述反应室的右侧活动安装有与连接绳索接触的转向轮，所述隔板的顶部活动安装有位于透气孔顶部的盖板，所述盖板的右侧固定安装有与连接绳索固定连接的连接半圆环，所述隔板的顶部固定安装有位于连接绳索外壁的定位块，所述定位块的左侧固定安装有复位弹簧。
优选的，所述盖板的宽度大于透气孔的宽度，且盖板与透气孔紧密接触。
优选的，所述定位块的宽度大于复位弹簧的内径，所述反应室的内部开设有外径与连接绳索适配的通孔。
优选的，所述转动叶片在转动杆上转动的角度大于二十度，所述定位杆在齿板上转动的角度为周角。
优选的，所述转动叶片的纵向中心线位于安装板纵向中心线的右侧，所述隔板的顶部与反应室的内顶壁不接触。
优选的，所述连接绳索通过转向轮呈九十度的弯折状，且转向轮到连接块的距离大于转动叶片的宽度。
(三)有益效果
与现有技术相比，本实用新型提供了一种黑硅表面加工的通风装置，具备以下有益效果：
该黑硅表面加工的通风装置，通过驱动电机带动转动齿轮进行转动，且齿板与驱动电机进行啮合，从而带动驱动电机进行上下移动，使得与齿板活动连接的转动叶片在安装板上进行转动，从而改变了风进入反应室内部的角度，使得进入反应室内部的风能够调节到一个适合黑硅表面加工的角度，提高了对内部产生的污染气体进行吹扫的效率，保证了对污染物进行完全清理，同时在齿板向上移动至一定的长度时，空气不能从转动叶片进入反应室的内部时，且隔板的内部开设的透气孔，此时空气能从透气孔进入，实现了内循环，在满足了黑硅进行表面加工时，对通风不同状态的要求。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型图1处A处局部放大图；
图3为本实用新型转动齿轮与齿板配合图。
图中：1反应室、2隔板、3抽风机、4出气孔、5透气孔、6安装板、7转动杆、8转动叶片、9定位杆、10齿板、11驱动电机、12转动齿轮、13连接块、14连接绳索、15转向轮、16定位块、17复位弹簧、18连接半圆环、19盖板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，一种黑硅表面加工的通风装置，包括反应室1，反应室1的内部固定安装有隔板2，隔板2的顶部固定安装有抽风机3，抽风机3的型号可为YX-71D-4，反应室1的内部开设有位于隔板2上方的出气孔4，隔板2的内部开设有位于出气孔4下方的透气孔5，反应室1的内部固定安装有安装板6，安装板6的内部转动连接有转动杆7，转动杆7的外壁固定安装有位于安装板6背面的转动叶片8，反应室1靠近8的两侧均为圆角设置，保证转动叶片8转动后能与反应室紧密贴触，转动叶片8在转动杆7上转动的角度大于二十度，定位杆9在齿板10上转动的角度为周角，转动叶片8的纵向中心线位于安装板6纵向中心线的右侧，隔板2的顶部与反应室1的内顶壁不接触，转动叶片8的正面固定安装有定位杆9，定位杆9的外壁转动连接有齿板10，反应室1的右侧固定安装有驱动电机11，驱动电机11的型号可为Y160M-4，驱动电机11的输出轴固定连接有与齿板10啮合的转动齿轮12，齿板10的左侧固定安装有连接块13，连接块13的底部固定连接有连接绳索14，连接绳索14通过转向轮15呈九十度的弯折状，且转向轮15到连接块13的距离大于转动叶片8的宽度，反应室1的右侧活动安装有与连接绳索14接触的转向轮15，隔板2的顶部活动安装有位于透气孔5顶部的盖板19，盖板19的宽度大于透气孔5的宽度，且盖板19与透气孔5紧密接触，盖板19的右侧固定安装有与连接绳索14固定连接的连接半圆环18，隔板2的顶部固定安装有位于连接绳索14外壁的定位块16，定位块16的宽度大于复位弹簧17的内径，反应室1的内部开设有外径与连接绳索14适配的通孔，定位块16的左侧固定安装有复位弹簧17，通过驱动电机11带动转动齿轮12进行转动，且齿板10与驱动电机11进行啮合，从而带动驱动电机11进行上下移动，使得与齿板10活动连接的转动叶片8在安装板6上进行转动，从而改变了风进入反应室1内部的角度，使得进入反应室1内部的风能够调节到一个适合黑硅表面加工的角度，提高了对内部产生的污染气体进行吹扫的效率，保证了对污染物进行完全清理，同时在齿板10向上移动至一定的长度时，空气不能从转动叶片8进入反应室1的内部时，且隔板2的内部开设的透气孔5，此时空气能从透气孔5进入，实现了内循环，在满足了黑硅进行表面加工时，对通风不同状态的要求。
综上所述，该黑硅表面加工的通风装置，通过驱动电机11带动转动齿轮12进行转动，且齿板10与驱动电机11进行啮合，从而带动驱动电机11进行上下移动，使得与齿板10活动连接的转动叶片8在安装板6上进行转动，从而改变了风进入反应室1内部的角度，使得进入反应室1内部的风能够调节到一个适合黑硅表面加工的角度，提高了对内部产生的污染气体进行吹扫的效率，保证了对污染物进行完全清理，同时在齿板10向上移动至一定的长度时，空气不能从转动叶片8进入反应室1的内部时，且隔板2的内部开设的透气孔5，此时空气能从透气孔5进入，实现了内循环，在满足了黑硅进行表面加工时，对通风不同状态的要求。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种黑硅表面加工的通风装置，包括反应室(1)，其特征在于：所述反应室(1)的内部固定安装有隔板(2)，所述隔板(2)的顶部固定安装有抽风机(3)，所述反应室(1)的内部开设有位于隔板(2)上方的出气孔(4)，所述隔板(2)的内部开设有位于出气孔(4)下方的透气孔(5)，所述反应室(1)的内部固定安装有安装板(6)，所述安装板(6)的内部转动连接有转动杆(7)，所述转动杆(7)的外壁固定安装有位于安装板(6)背面的转动叶片(8)，所述转动叶片(8)的正面固定安装有定位杆(9)，所述定位杆(9)的外壁转动连接有齿板(10)，所述反应室(1)的右侧固定安装有驱动电机(11)，所述驱动电机(11)的输出轴固定连接有与齿板(10)啮合的转动齿轮(12)，所述齿板(10)的左侧固定安装有连接块(13)，所述连接块(13)的底部固定连接有连接绳索(14)，所述反应室(1)的右侧活动安装有与连接绳索(14)接触的转向轮(15)，所述隔板(2)的顶部活动安装有位于透气孔(5)顶部的盖板(19)，所述盖板(19)的右侧固定安装有与连接绳索(14)固定连接的连接半圆环(18)，所述隔板(2)的顶部固定安装有位于连接绳索(14)外壁的定位块(16)，所述定位块(16)的左侧固定安装有复位弹簧(17)。
2.根据权利要求1所述的一种黑硅表面加工的通风装置，其特征在于：所述盖板(19)的宽度大于透气孔(5)的宽度，且盖板(19)与透气孔(5)紧密接触。
3.根据权利要求1所述的一种黑硅表面加工的通风装置，其特征在于：所述定位块(16)的宽度大于复位弹簧(17)的内径，所述反应室(1)的内部开设有外径与连接绳索(14)适配的通孔。
4.根据权利要求1所述的一种黑硅表面加工的通风装置，其特征在于：所述转动叶片(8)在转动杆(7)上转动的角度大于二十度，所述定位杆(9)在齿板(10)上转动的角度为周角。
5.根据权利要求1所述的一种黑硅表面加工的通风装置，其特征在于：所述转动叶片(8)的纵向中心线位于安装板(6)纵向中心线的右侧，所述隔板(2)的顶部与反应室(1)的内顶壁不接触。
6.根据权利要求1所述的一种黑硅表面加工的通风装置，其特征在于：所述连接绳索(14)通过转向轮(15)呈九十度的弯折状，且转向轮(15)到连接块(13)的距离大于转动叶片(8)的宽度。
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