CN209858403U - 旋转靶材的测试装置 - Google Patents

Abstract

本公开提供一种旋转靶材测试装置，涉及靶材技术领域，可以真实有效地表征旋转靶材的薄弱区域，解决旋转靶材缺乏有效测试装置的问题。本公开的旋转靶材测试底座和固定装置，测试板和拉伸装置。所述固定装置用于将采用如下方法制得的试样固定到所述底座上：根据所述旋转靶材的涂层的制备工艺在衬管上形成涂层，所述衬管用于模拟所述旋转靶材的背衬管，或者，截取预设长度的所述旋转靶材以获取待测试的试样，所述待测试的试样包括部分背衬管和位于该部分背衬管上的涂层。所述测试板用于粘贴在所述试样的外侧面涂层上。所述拉伸装置用于对所述测试板的一端施加使所述测试板与所述试样的涂层分离的拉力，以测试试样涂层的粘结力强度。

Description

旋转靶材的测试装置

技术领域

本实用新型涉及靶材技术领域，尤其涉及一种旋转靶材的测试装置。

背景技术

现有的薄膜太阳能电池芯片通常采用磁控溅射方式在基板上形成窗口层、吸收层等功能性膜层，而靶材是磁控溅射中高速荷能粒子轰击的目标材料，即溅射源。薄膜太阳能电池芯片制备中通常采用旋转靶材，其通常包括背衬管和涂覆在背衬管外周面的一层涂层，例如合金粉末涂层。

旋转靶材在使用过程中经常出现裂靶等不良现象，原因在于涂层的粘结力不够。目前表征涂层粘结力的方法是：将涂层制成薄板平整圆柱形试样，在基体块的一个端面粘结平整圆柱形试样，然后将加载块与平整圆柱形试样的另一表面粘结，然后再将基体块、涂层试样和加载块所形成的对偶件固定到工装上进行拉伸(参见圆柱平板形拉力测试，GB8642-2002)，测试其抗拉结合强度。但这种方法无法真实有效地表征旋转靶材真正的薄弱区域，缺乏实际指导意义。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种旋转靶材测试装置，可以真实有效地表征旋转靶材的薄弱区域，解决旋转靶材缺乏有效测试装置的问题。

为解决旋转靶材缺乏有效测试装置的问题，本公开实施例提供了如下技术方案：

本公开的一些实施例还提供一种旋转靶材测试装置，包括：

底座和固定装置，所述固定装置用于将采用如下方法制得的试样固定到所述底座上：根据所述旋转靶材的涂层的制备工艺在衬管上形成涂层，所述衬管用于模拟所述旋转靶材的背衬管，或者，

截取预设长度的所述旋转靶材以获取待测试的试样，所述待测试的试样包括部分背衬管和位于该部分背衬管上的涂层；

测试板和拉伸装置，所述测试板用于粘贴在所述试样的外侧面涂层上；所述拉伸装置用于对所述测试板的一端施加使所述测试板与所述试样的涂层分离的拉力，以测试试样涂层的粘结力强度。

在一些实施例中，所述测试装置还包括工装平台，所述固定装置设置于所述工装平台上，用于将所述试样固定到所述工装平台上；所述工装平台用于固定在所述底座。

在一些实施例中，所述拉伸装置为万能拉力试验机的拉伸机构，所述底座为万能拉力试验机的底座；所述测试装置还包括用于将所述测试板的一端与所述万能拉力试验机的拉伸机构紧固连接的连接件。

在一些实施例中，所述固定装置包括：U形螺栓和与所述U形螺栓配套的螺母，所述U形螺栓用于固定所述试样的第一端，所述U形螺栓两端设置有螺纹。

在一些实施例中，所述固定装置还包括：安装块和螺丝，所述安装块用于固定所述试样的第二端，所述安装块具有与所述试样适配的缺口，所述安装块的缺口的两侧分别设置有用于安装所述螺丝的螺纹孔。

在一些实施例中，所述缺口的边缘设置有与所述试样上的测试板对应的避让口。

在一些实施例中，所述工装平台上设置有与所述U形螺栓的两端对应的第一通孔，所述工装平台上设置有与所述螺纹孔对应的第二通孔。

在一些实施例中，在所述测试板欲被施加拉力的一端设置有固定孔；所述连接件将所述测试板与万能拉力试验机的夹具连接，所述连接件包括拉杆所述拉杆的一端用于插入所述测试板的固定孔内，另一端用于夹持在万能拉力试验机的夹具内。

在一些实施例中，所述连接件还包括两个插销；所述拉杆的两端均设置有第一插销孔，所述测试板的与容纳在所述固定孔内的拉杆的第一插销孔对应的位置设置有第二插销孔；所述两个插销的一个用于穿过所述测试板的第二插销孔和所述拉杆的第一端的第一插销孔，将所述测试板与所述拉杆的第一端固定，所述两个插销的另一个穿过所述拉杆的第二端的第一插销孔，以在测试时卡在所述夹具之上。

在一些实施例中，所述测试装置还包括管内支撑结构，用于测试时置于试样的背衬管或用于模拟背衬管的衬管中，避免所述背衬管或所述衬管被压缩变形。

使用本公开的实施例提供的旋转靶材测试装置进行测试时，在用于模拟背衬管的衬管上根据靶材涂层的工艺形成涂层，或者直接从旋转靶材上截取预设长度形成试样，然后将测试板粘结到试样的外侧面涂层上，最后在测试板的一端施加使测试板与试样分离的拉力，测试试样涂层的粘结力强度。该测试方法中可以直接从旋转靶材上截取预设长度的试样，这样得到的试样包括背衬管和位于背衬管之上的涂层，可以真实有效地表征旋转靶材的涂层在背衬管上的分布情况。或者，该测试方法还可以通过在用于模拟背衬管的衬管上形成涂层获得试样，这样得到的试样包括衬管和位于衬管之上的涂层，由于衬管是用于模拟旋转靶材的背衬管，其材质、外表面曲度和表面特性都尽量与旋转靶材的背衬管一致，该试样也可以真实有效地表征旋转靶材的涂层在背衬管上的分布情况。另外，该测试装置测试时，在的测试板的一端施加使测试板与试样分离的拉力，模拟将涂层从背衬管或用于模拟背衬管的衬管上“撕开”的情景，更接近于圆柱形靶材的实际应用情景，可测试出涂层与背衬管的结合强度，对于靶材制作的工艺参数的优化及靶材性能的筛选评估更具有指导意义。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对本公开实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开描述中用到的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获取其他的附图。

图1是本公开的一些实施例提供的一种旋转靶材测试方法的流程图；

图2是本公开的一些实施例提供的另一种旋转靶材测试方法的流程图；

图3是根据本公开的一些实施例得到的试样的示意图；

图4是根据图3所示试样的圆柱形外侧面的展开示意图；

图5是根据图3所示试样的横截面示意图；

图6是根据图5的局部B的放大示意图；

图7是根据本公开的一些实施例的长条状测试板的结构示意图一；

图8是根据本公开的一些实施例的长条状测试板的结构示意图二；

图9是根据本公开的一些实施例的长条状测试板的结构示意图三；

图10是根据本公开的一些实施例提供的固定有试样的安装平台的结构示意图；

图11是根据本公开的一些实施例提供的固定有试样的安装平台的非拉伸端一侧的结构示意图；和

图12是根据本公开的一些实施例进行的实验中插销卡在夹具之上的示意图。

附图标记说明：

1-长条状测试板；101-固定孔，102-第二插销孔，2-拉杆；3-插销；4-测试试样；41-衬管；42-试样涂层；43-凹槽；431-第一凹槽，432-第二凹槽，5-工装平台；6-管内径支撑块；7-U形螺栓；8-安装块；81-缺口；82-避让口；9-夹具；10-螺丝；11-螺母；12-蝶形垫圈；13-垫片；14-螺母；15-轴。

具体实施方式

下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获取的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

发明人发现，靶材本体与背衬管的粘结力太低常导致靶材在使用过程中出现裂靶等不良现象。目前表征喷涂粘结力的方法如背景技术部分所述，将涂层制成薄板平整圆柱形试样，然后再将该圆柱形试样粘结在工装上进行拉伸，测试其抗拉结合强度。对于采用喷涂方法制成的旋转靶材，若采用该方法进行测试，常存在以下弊端：1)该方法表征的是平板圆柱形试样内部的粘结力，是涂层内部的粘结力，无法真正表征旋转靶材的曲面上涂层的真实粘结强度；2)对于靶材，失效常发生在涂层与背衬管之间，发生在靶材内部失效的情况较少。也就是说，粘结的薄弱环节在背衬管与粘结层之间，该方法无法表征旋转靶材真正的薄弱区域。

本公开的一些实施例提供一种旋转靶材测试方法，所述旋转靶材包括背衬管和形成在所述背衬管外周面的涂层，如图1所示，所述测试方法包括：

101、取样：根据所述旋转靶材的涂层的制备工艺在衬管上形成涂层，从而获得待测试的试样，所述衬管用于模拟所述旋转靶材的背衬管，或者，直接截取预设长度的旋转靶材以获取待测试的试样，所述待测试的试样即截取的预设长度的旋转靶材，包括部分背衬管和位于该部分背衬管之上的涂层；

102、制样：将测试板粘贴到所述试样的外侧面涂层上；

103、测试：将带有测试板的所述试样固定，然后在所述测试板的一端施加使测试板与所述试样分离的拉力，测试试样涂层的粘结力强度。测试板例如为长条状测试板。

取样步骤中，目标是获得与旋转靶材一致的试样。旋转靶材一般包括背衬管和形成在背衬管上的涂层，因此试样也需要包括相对应的结构。例如可以从所述旋转靶材上直接截取预设长度，作为待测试的试样；当然，也可以直接选取整个旋转靶材作为待测试的试样。通过截取获得的试样包括部分背衬管和位于这部分背衬管之上的涂层。试样的长度一般要满足测试阶段所使用设备对试样长度的要求。

当然也可以通过其他方式获得与旋转靶材一致的试样。例如，先准备一个衬管，然后在根据待测试旋转靶材的涂层的制备工艺在衬管上形成涂层，从而获得旋转靶材的测试试样。上述衬管用于模拟旋转靶材的背衬管，因此除衬管的长度外，衬管的外侧面与旋转靶材的背衬管的外侧面一致，包括但不限于衬管外侧面的材质、曲度、粗糙程度等。以圆柱形衬管为例，衬管的外侧面指衬管的圆柱形外表面。

在一些实施例中，准备一个用于模拟旋转靶材的背衬管的圆柱形衬管，然后按照与制备待测试的旋转靶材的涂层的工艺一致的制备工艺，在圆柱形衬管上形成靶材涂层。这样制得的试样包括圆柱形衬管(用于模拟旋转靶材的背衬管)和圆柱形衬管上的靶材涂层。

对于有些旋转靶材，特别是陶瓷靶材，因靶材本身脆性较大，无法直接从靶材上直接截取取样，在这种场景下，即可采用在衬管上形成靶材涂层的方法获得试样。

制样步骤中，将测试板粘贴到试样的外侧面涂层上。试样的外侧面涂层指分布在衬管的柱形外周面上的涂层。如果衬管存在端面，试样的外侧面涂层不包括分布在衬管的端面上的涂层。例如，以圆柱形衬管为例，可以通过在试样的圆柱形外侧面的涂层上涂敷粘结剂，然后将长条状测试板粘贴到试样的圆柱形外侧面涂层上。或者还可以在试样的圆柱形外侧面的涂层和长条状测试板上均涂敷粘结剂，将长条状测试板粘贴到所述涂层上。

测试步骤中，在测试板的一端施加使测试板与试样分离的拉力，测试试样涂层的粘结力强度。例如，测试步骤中可通过万能拉力试验机实现拉力的施加。在一些实施例中，采用万能拉力试验机在长条状测试板的一端施加拉力，采用拉伸模式测试，直至试样断裂。所测得的结果即为该试样的断裂强度。

本公开实施例提供的旋转靶材测试方法更接近于柱形旋转靶材的实际应用场合，可以准确地测试柱形靶材的断裂强度，对于靶材制作的工艺参数的优化及靶材性能的筛选评估更具有指导意义，还可以用于指导喷涂过程中工艺参数的优化。

在一些实施例中，在取样后，将长条状测试板粘贴到试样的外侧面涂层上之前，将待测试的部分涂层与所述试样外侧面的其余涂层分割开来，这样可以避免其余涂层对待测试的部分涂层的测试结果产生不利影响。本公开对具体分割方式不做限定，只需使待测试的部分涂层与相邻的非测试部分涂层不连接，从而在测试时不受影响即可。例如可以通过在涂层上刻槽的方式，将待测试的部分涂层与外侧面的其余涂层分割开来。待测试的部分涂层指与长条状测试板粘结的那部分涂层，待测试的部分涂层的面积小于等于长条状测试板的面积。

在一些实施例中，在取样后，将长条状测试板粘贴到试样的外侧面涂层上之前，将所述外侧面涂层分割成多个部分，每一部分对应为一个试样涂层。每一试样涂层都可用于进行一次粘结力强度测试，一次取样即可形成多个可测试的试样涂层，避免了材料浪费，提高了测试效率。本公开对试样外侧面的涂层的具体分割成多少部分，采用何种具体分割方式不做限定，只需使分割后形成的试样涂层在测试不相互影响即可。例如，可以通过对试样外侧面的涂层进行切割，形成多个分割槽(例如凹槽43)，分割槽的深度和宽度以使相邻试样涂层在测试不相互影响为准。在一些实施例中采用的是铣床加工进行刻槽，以实现不同拉伸试样涂层的独立或分离，即不同试样涂层之间不互相干涉、影响。

在一些实施例中，在取样后，将长条状测试板粘贴到试样的外侧面涂层上之前，先对试样进行处理，包括：将试样的外侧面涂层分割成多个部分，每一部分对应为一个试样涂层；然后对每一个试样涂层，根据测试板大小确定试样涂层上用于进行测试的部分涂层，并将这部分待测试涂层与试样外侧面的其余涂层分割开来。

如图3和图4所示，在一些实施例中，所述试样4为圆柱形；如图2所示，在取样后，将长条状测试板粘贴到试样的外侧面涂层之前，所述测试方法还包括：

102A、在试样的两端沿试样的圆柱形外侧面刻槽(例如图4中的第一凹槽431)，使待测试的部分涂层与所述试样两端的涂层分割开；

102B、在所述试样的圆柱形外侧面的涂层上沿所述试样的长度方向刻槽(例如图4中的第二凹槽432)，将所述圆柱形外侧面的涂层分割成多个部分。

在一些实施例中，为方便测试，会将试样两端的部分涂层去除，但试样两端的涂层可能没有去除干净，或者没有沿着待测试的部分涂层的边缘彻底去除，可能影响待测试的部分涂层的测试效果，为此，再在试样的两端沿圆柱形外侧面刻槽，例如第一凹槽431，使待测试的部分涂层与所述试样两端可能存在涂层分割开。

在一些实施例中，通过粘结剂将长条状测试板粘贴到试样的外侧面涂层上，为确保失效不至于发生在粘结剂与测试板之间，所述粘结剂本身的断裂强度大于所述靶材的涂层与背衬管之间的断裂强度。

在一些实施例中，所述制样步骤在涂敷粘结剂之前还包括：对试样的待测试部分涂层进行处理，以使待测试部分涂层与长条状测试板吻合，可以增加待测试部分涂层与长条状测试板的黏附面积。以圆柱形衬管为例，因待测试涂层分布在试样的圆柱形外侧面，因此涂层外表面具有一定的曲度，而长条状测试板是平板状，与涂层的接触面有限，由此可能导致现有粘结剂的粘结力度不够，不能很好地将长条状测试板粘结到涂层上，特别是在待测试的旋转靶材半径较小，对旋转靶材的涂层粘结度要求又较高的情境下。现有粘结剂的粘结力度不够，指长条状测试板粘结到涂层时，测试时粘结处先发生断裂失效，不能实现测试目的。这时，可通过对试样的待测试部分涂层进行处理，使待测试部分涂层与长条状测试板吻合，粘结时不出现大的间隙。另外，还可对所述试样的涂层表面和所述测试板的工作表面进行粗糙化处理。

为便于理解，下面结合一种示例性实施例进行描述，如图3-12所示，本示例提供的测试方法，包括：

取样：在圆柱形衬管41上喷涂对应的靶材涂层或者直接从靶材上截取预设长度的试样4。

制样：

制样步骤一，试样处理：进行试样4处理后，试样4的尺寸及有效靶材涂层试样尺寸(单位英寸)见图3-图6，试样总长11.5英寸，试样4的圆柱形外侧面形成有相互独立的9个有效的测试试样涂层42，有效试样涂层42长6英寸。所述试样处理过程包括：

(1)将试样4两端的涂层去除。

(2)在试样4的两端沿圆柱形外圆周面刻槽，例如第一凹槽431，深度以割裂或去除涂层为准，使两端可能存在的涂层不影响待测试的涂层。

(3)在试样4的圆柱形外圆周面上，沿试样4的长度方向(即平行于圆柱状试样4的中轴线方向)刻槽，例如第二凹槽432，深度以割裂涂层或去除凹槽内涂层为准，将试样4的圆柱形外侧面分成多个试样涂层42。如图2-5所示，试样4的圆柱形外侧面涂层被分成9个试样涂层42。试样的刻槽处理例如可以通过铣床加工实现。

刻槽后形成的凹槽43宽0.25英寸。为确保相邻的试样涂层42测试时互不影响，附图所示实施例采用了双刻槽的方式，即相邻的试样涂层42之间存在两个凹槽43。试样的其他尺寸见附图4-6，由于具体尺寸仅为示例，对本公开实施例的实施效果并无影响，在此不再细述。

制样步骤二：在其中一个试样4上均匀地涂上双组份的粘结剂，然后将等宽的长条测试板1例如长条不锈钢板平板，与其涂有粘结剂的试样涂层42表面对齐粘结。选用粘结剂一般要求粘结剂本身的断裂强度大于靶材的断裂强度，避免断裂时发生在粘结剂与靶材交界处。同时，粘结剂的选择可以选用室温固化类的粘结剂。例如爱牢达Araldite粘结剂。

为确保失效不至于发生在粘结剂与长条测试板1之间，在涂覆粘结剂前，常使用砂纸对试样4及长条测试板1进行粗化。同时确保长条测试板1与试样4的涂层表面上均涂上粘结剂，长条测试板1与试样4表面吻合，中间不可出现空隙。

如图7所示，长条测试板1欲被施加拉力的一端设置有固定孔101。在该端的侧面即与设置有固定孔101的面相接的两个侧面，还设置有第二插销孔102。长条测试板1的示例性尺寸见附图7-9，由于具体尺寸可以根据实际需要设计，对本公开的技术方案的实施效果并无影响，在此不再细述。

测试：待粘结剂固化后，将该试样4装载在特定的工装平台5上。该工装平台5结构如图9和图10所示。

本步骤中使用了本公开的一些实施例提供的旋转靶材测试装置，包括：工装平台5、固定装置、万能拉力试验机和连接件。本示例中采用万能拉力试验机对长条测试板1的一端施加拉力。固定装置设置于工装平台5上，用于将试样4固定到所述工装平台5上；工装平台5固定在万能拉力试验机的底座。连接件用于将长条状测试板1的一端与万能拉力试验机的拉伸机构紧固连接。例如，连接件将长条状测试板1的一端与万能拉力试验机的夹具紧固连接。

图9和图10示出固定有试样4的工装平台5的结构示意图。所述固定装置包括：U形螺栓7和与所述U形螺栓7配套的螺母11，U形螺栓7用于固定试样4的第一端，所述U形螺栓7两端设置有螺纹。所述固定装置还包括：安装块8和螺丝10，安装块8用于固定试样4的第二端，安装块8具有与试样4适配的缺口81，缺口81的边缘设置有与试样4上的长条状测试板1对应的避让口82，安装块8的缺口81两侧分别设置有用于安装螺丝10的螺纹孔(未示出)。工装平台5上设置有与U形螺栓7的两端对应的第一通孔，工装平台5上还设置有与螺丝10对应的第二通孔。第二通孔也可设置成具有内螺纹的通孔。

安装块8通过缺口81将试样4固定，但避让口82的边缘与长条状测试板1存在一定的间距，预留出测试时长条状测试板1从试样涂层42“撕开”所需要的空间。在一些实施例中，缺口81与试样4之间还可设计若干不同厚度的垫片，以适应不同直径大小的试样4。

在一些实施例中，所述测试装置还包括管内支撑结构，用于测试时置于试样的背衬管或用于模拟背衬管的衬管中。例如，所述管内支撑结构可包括两个管内径支撑块6，连接两个管内径支撑块6的轴15和螺母14。轴15和螺母14可调节两个管内径支撑块6之间的间距。管内径支撑块6、轴15和螺母14组成管内支撑结构，避免背衬管或模拟背衬管的衬管41在安装块8、U形螺栓7和工装平台5的固定作用下被挤压变形，由此避免了该挤压变形导致的测试失真。

在安装螺母11固定U形螺栓7时，还可先安装垫圈13。在一些实施例中，在安装螺丝10固定安装块8时，还可先安装蝶形垫圈12。

将固定有试样4的工装平台5的一端固定于万能试验机的底座上，另一端与万能试验机的夹具9进行紧固连接。装载试样时需采用水平尺，确保试样及工装平台5放置水平。

将工装平台5用螺丝固定在万能试验机的底座上。另一端拉杆与万能试验机夹具9夹紧，同时插销3两端固定在万能试验机夹具9两侧。采用拉伸模式，通常拉伸速度可以选取1mm/min，测试直至试样断裂。所测得的结果即为该试样的断裂强度。

采用类似的方式，可以测得该试样4圆周方向上的其他8个测试试样的断裂强度

本示例还提供一种新设计的连接件，用于将长条状测试板1的一端与万能拉力试验机的夹具紧固连接。所述连接件包括拉杆2和两个插销3，拉杆2的一端用于插入长条状测试板1的固定孔101内，另一端用于夹持在万能拉力试验机的夹具内；所述拉杆2的两端均设置有第一插销孔201，长条状测试板1的与容纳在固定孔101内的拉杆2的第一插销孔201对应的位置设置有第二插销孔102；两个插销3的一个用于穿过拉杆2的第一端(图10中的下端)的第一插销孔201和长条状测试板1的第二插销孔102，将长条状测试板1与拉杆2固定，两个插销3的另一个穿过拉杆2的第二端(图10中的上端)的第一插销孔201，以在测试时卡在夹具之上，如图12所示。

以上所述旋转靶材测试装置仅为一种示例性实施例，当然也可以不使用万能拉力试验机。

在本公开的一些实施例中，还提供一种旋转靶材测试装置，包括：

底座和固定装置，所述固定装置用于将如上面所述的旋转靶材测试方法中制得的试样4固定到所述底座上；此底座用于固定试样4，本领域技术人员可参照上述工装平台的结构进行设计，在此不做具体限制。

长条状测试板和拉伸装置，所述长条状测试板用于粘贴在所述试样4的外侧面涂层上；所述拉伸装置用于对所述长条状测试板的一端施加使所述测试板与所述试样的涂层分离的拉力，以测试试样涂层的粘结力强度。

本公开实施例对底座、固定装置和拉伸装置的具体结构不做限定，只要能实现对应的功能即可。

可选地，在一些实施例中，所述测试装置还包括工装平台，所述固定装置设置于所述工装平台上，用于将所述试样固定到所述工装平台上；所述工装平台用于固定在所述底座。

本公开的实施例通过将粉末喷涂在衬管或者直接从靶材上截取指定长度，然后加工成特定形状的试样。一个试样的圆周上，通过分割可以制备多个有效的测试断裂强度的测试试样涂层。本公开的实施例同时还提供一种测试装置，包括一套用于固定上述试样的底座和测试夹具，实现了柱形靶材的断裂强度的表征。

本公开的实施例提供一种表征旋转靶材的断裂强度的表征方法及装置，该方法能够较真实的表征旋转靶材例如圆柱形靶材内部及靶材与衬管的真实粘结力，更接近于实际的应用场合。该测试结果对于喷涂实际工艺参数的优化及靶材的筛选，更具有实际的指导意义。

在一些实施例中，还包括管内支撑结构，用于测试时置于试样(4)的背衬管或用于模拟背衬管的衬管(41)中，避免所述背衬管或所述衬管(41)被压缩变形。

所述管内支撑结构包括两个管内径支撑块6，连接两个管内径支撑块6的轴15和螺母14。轴15和螺母14用于调节两个管内径支撑块6之间的间距，避免背衬管或模拟背衬管的衬管41在安装块8、U形螺栓7和工装平台5固定作用下被挤压变形，由此避免了该挤压变形导致的测试失真。

以上，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种旋转靶材测试装置，其特征在于，包括：

底座和固定装置，所述固定装置用于将采用如下方法制得的试样(4)固定到所述底座上：根据所述旋转靶材的涂层的制备工艺在衬管(41)上形成涂层，所述衬管(41)用于模拟所述旋转靶材的背衬管，或者，

截取预设长度的所述旋转靶材以获取待测试的试样(4)，所述待测试的试样(4)包括部分背衬管和位于该部分背衬管上的涂层；

测试板(1)和拉伸装置，所述测试板(1)用于粘贴在所述试样(4)的外侧面涂层上；所述拉伸装置用于对所述测试板(1)的一端施加使所述测试板(1)与所述试样的涂层(42)分离的拉力，以测试试样涂层的粘结力强度。

2.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述测试装置还包括工装平台(5)，所述固定装置设置于所述工装平台(5)上，用于将所述试样(4)固定到所述工装平台(5)上；所述工装平台(5)用于固定在所述底座。

3.如权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述拉伸装置为万能拉力试验机的拉伸机构，所述底座为万能拉力试验机的底座；

所述测试装置还包括用于将所述测试板(1)的一端与所述万能拉力试验机的拉伸机构紧固连接的连接件。

4.如权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述固定装置包括：

U形螺栓(7)和与所述U形螺栓配套的螺母，所述U形螺栓(7)用于固定所述试样(4)的第一端，所述U形螺栓(7)两端设置有螺纹。

5.如权利要求4所述的测试装置，其特征在于，所述固定装置还包括：

安装块(8)和螺丝(10)，所述安装块(8)用于固定所述试样(4)的第二端，所述安装块(8)具有与所述试样(4)适配的缺口，所述安装块(8)的缺口(81)的两侧分别设置有用于安装所述螺丝的螺纹孔。

6.如权利要求5所述的测试装置，其特征在于，所述缺口(81)的边缘设置有与所述试样(4)上的测试板(1)对应的避让口(82)。

7.如权利要求6所述的测试装置，其特征在于，所述工装平台(5)上设置有与所述U形螺栓(7)的两端对应的第一通孔，所述工装平台(5)上还设置有与所述螺纹孔对应的第二通孔。

8.如权利要求3所述的测试装置，其特征在于，在所述测试板(1)欲被施加拉力的一端设置有固定孔(101)；

所述连接件包括拉杆(2)，所述拉杆(2)的一端用于插入所述测试板(1)的固定孔(101)内，另一端用于夹持在万能拉力试验机的夹具(9)内。

9.如权利要求8所述的测试装置，其特征在于，所述连接件还包括两个插销(3)；所述拉杆的两端均设置有第一插销孔(201)，所述测试板(1)的与容纳在所述固定孔(101)内的拉杆(2)的第一插销孔(201)对应的位置设置有第二插销孔(102)；

所述两个插销(3)的一个用于穿过所述测试板(1)的第二插销孔(102)和所述拉杆(2)第一端的第一插销孔(201)，将所述测试板(1)与所述拉杆(2)的第一端固定，所述两个插销(3)的另一个穿过所述拉杆(2)的第二端的第一插销孔(201)，以在测试时卡在所述夹具(9)之上。

10.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，还包括管内支撑结构，用于测试时置于试样(4)的背衬管或用于模拟背衬管的衬管(41)中，避免所述背衬管或所述衬管(41)被压缩变形。