CN209764766U - 一种扫描电镜多用途样品台装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于分析用实验设备配件装置领域，提出一种多用途扫描电镜用样品台装置。提出的一种扫描电镜多用途样品台装置具有固定在扫描电镜上的底座；底座为横截面为正六边形的柱体；底座的上端面具有多个用以固定样品座的位置孔Ⅰ：对应每个位置孔Ⅰ设置有固定孔Ⅰ；底座的侧面均布有多个用以固定样品座的位置孔Ⅱ；位置孔Ⅱ位于相邻两个位置孔Ⅰ之间，且位置孔Ⅱ的轴线垂直于位置孔Ⅰ的轴线；对应每个位置孔Ⅱ设置有固定孔Ⅱ。本实用新型解决了现有的样品台利用率低与测试效率低的问题。
Description
技术领域：
本实用新型涉及一种分析用实验设备配件，具体涉及一种扫描电镜多用途样品台装置。
背景技术
扫描电镜主要是利用二次电子信号成像来观察样品表面形貌，具有制样简单、分辨率高、景深大等特点。随着科研技术的进步与发展，扫描电镜广泛应用于科研单位和高校，样品的多样性使扫描电镜样品台需满足更多要求：承载量大，牢固性好，多用途。
样品台作为扫描电镜的一个重要配件，在样品制备过程中，测试人员与仪器接触最多的就是扫描电镜的样品台。样品台的设计通常倾向于小体积，使用方便的设计。测试效率很大程度上是由制样效率来决定，测试结果除了由样品自身的导电性与扫描电镜测试参数决定外，样品的制备效果也在很大程度影响了信号接收器对二次电子的接收，进而影响了扫描电镜对样品的成像。扫描电镜内置倾斜台的倾斜范围有限，使对不规则样品的多角度观察受到了限制。目前扫描电镜对样品的形貌观察主要应用于粉末、块体表面及断面的观察，为了使扫描电镜在使用过程中，可对不同类型的样品进行分析，多数厂家会针对不同类型的样品设计对应的样品台；但这会使仪器配件过于繁多，并且在更换样品台的过程中会带来对样品的污染和浪费时间，且样品台利用率极低；同时扫描电镜属于高端测试仪器，其样品台的购置会带来昂贵的花费；为了提高扫描电镜的测试效率，能满足多种类型样品的测试，提高样品的可观察范围，也减少用户购置样品台的花费，本文提出了一种多用途的扫描电镜样品台的设计。
实用新型内容：
为了解决上述问题，本实用新型的目的是提出一种扫描电镜多用途样品台装置。
本实用新型为完成上述目的采用如下技术方案：
一种扫描电镜多用途样品台装置，扫描电镜多用途样品台装置具有固定在扫描电镜上的底座；所述的底座为横截面为正六边形的柱体；所述底座的上端面具有多个用以固定小样品座的位置孔Ⅰ：其中一个所述的位置孔Ⅰ位于底座上端面的中心，其它所述的位置孔Ⅰ沿圆周均布，且每个所述的位置孔Ⅰ对应正六边形的角设置；对应每个所述的位置孔Ⅰ设置有固定孔Ⅰ；所述的固定孔Ⅰ的轴线垂直于所述位置孔Ⅰ的轴线，且所述的固定孔Ⅰ连通所对应的位置孔Ⅰ；所述的固定孔Ⅰ为内壁面具有内螺纹的螺纹孔；
所述底座的侧面均布有多个用以固定小样品座的位置孔Ⅱ；所述位置孔Ⅱ位于相邻两个位置孔Ⅰ之间，且位置孔Ⅱ的轴线垂直于所述位置孔Ⅰ的轴线；对应每个所述的位置孔Ⅱ设置有固定孔Ⅱ；所述的固定孔Ⅱ的轴线垂直于所述位置孔Ⅱ的轴线，且所述的固定孔Ⅱ连通所对应的位置孔Ⅱ；所述的固定孔Ⅱ为内壁面具有内螺纹的螺纹孔。
所述的样品台具有用以放置样品的小样品座；所述的小样品座上端为矩形板，底部具有用以与位置孔Ⅰ或位置孔Ⅱ配合的固定柱。
所述的固定柱位于小样品座所述矩形板的底部中心，且垂直于所述的矩形板设置。
本实用新型提出的一种扫描电镜多用途样品台装置，采用上述技术方案，一个样品台适用于多种类型样品的分析，解决了现有的样品台利用率低与测试效率低的问题；提高了扫描电镜所用样品台的使用效率，增大了扫描电镜对样品的观察范围，实现了高效率扫描电镜测试样品制备。
附图说明
图1为本实用新型中小样品座的结构主视图。
图2为图1的俯视图。
图3为本实用新型的样品台底座主视图。
图4 为本实用新型的样品台底座左视图。
图5为本实用新型的样品台底座俯视图。
图中：1、小样品座，2、底座，2-1、位置孔Ⅰ，2-2、固定孔Ⅰ，
2-3、位置孔Ⅱ，2-4、固定孔Ⅱ。
具体实施方式
结合附图和具体实施例对本实用新型加以说明：
一种扫描电镜多用途样品台装置，如图3、图4、图5所示，扫描电镜多用途样品台装置具有固定在扫描电镜上的底座2；所述的底座2为横截面为正六边形的柱体；所述底座2的上端面具有七个用以固定小样品座的位置孔Ⅰ2-1：其中一个所述的位置孔Ⅰ2-1位于底座2上端面的中心，其它六个所述的位置孔Ⅰ2-1沿圆周均布，且每个所述的位置孔Ⅰ2-1对应正六边形的角设置；对应每个所述的位置孔Ⅰ2-1设置有固定孔Ⅰ2-2；所述的固定孔Ⅰ2-2的轴线垂直于所述位置孔Ⅰ2-1的轴线，且所述的固定孔Ⅰ2-2连通所对应的位置孔Ⅰ；所述的固定孔Ⅰ2-2为内壁面具有内螺纹的螺纹孔2-1；
结合图3，所述底座的侧面均布有多个用以固定小样品座的位置孔Ⅱ2-3；所述位置孔Ⅱ2-3位于相邻两个位置孔Ⅰ2-1之间，且位置孔Ⅱ2-3的轴线垂直于所述位置孔Ⅰ2-1的轴线；对应每个所述的位置孔Ⅱ设置有固定孔Ⅱ2-4；所述的固定孔Ⅱ2-4的轴线垂直于所述位置孔Ⅱ2-3的轴线，且所述的固定孔Ⅱ2-4连通所对应的位置孔Ⅱ2-3；所述的固定孔Ⅱ2-4为内壁面具有内螺纹的螺纹孔；
结合图1、图2，所述的小样品座1具有用以放置样品的矩形板；所述矩形板的底部具有用以与位置孔Ⅰ或位置孔Ⅱ配合的固定柱；所述的固定柱位于小样品座所述矩形板的底部中心，且垂直于所述的矩形板设置；所述的小样品座可使用双面导电胶带后在其上放置样品，样品既可以是粉末，也可以是块体，小样品座可通过底部固定柱插入样品台底座的位置孔Ⅰ或位置孔Ⅱ内，用螺钉固定。
样品台底座侧边的位置孔Ⅱ，可将样品座底部圆柱脚从侧边插入样品台底座，用螺钉从上表面固定孔锁紧将其固定，可用作块体样品断面分析。
本实用新型的使用情况是，样品台底座可同时在上表面放置七个小样品座和在侧面放置六个小样品座。也可对于进行完表面观察后还需进行断面观察的样品，可直接从底座上表面取下插入侧面进行样品另一面的观察，并结合扫描电镜内置倾斜台对样品进行多角度观察。
本实用新型不限于必须使用小样品座，对于底部平整的块样品，可不使用样品座，直接用双面导电胶将块状样品固定于样品台底座上表面。对于侧面平整的样品，也可直接用双面导电胶带将其固定于大样品台侧面。
Claims (3)
1.一种扫描电镜多用途样品台装置，其特征在于：扫描电镜多用途样品台装置具有固定在扫描电镜上的底座；所述的底座为横截面为正六边形的柱体；所述底座的上端面具有多个用以固定小样品座的位置孔Ⅰ：其中一个所述的位置孔Ⅰ位于底座上端面的中心，其它所述的位置孔Ⅰ沿圆周均布，且每个所述的位置孔Ⅰ对应正六边形的角设置；对应每个所述的位置孔Ⅰ设置有固定孔Ⅰ；所述的固定孔Ⅰ的轴线垂直于所述位置孔Ⅰ的轴线，且所述的固定孔Ⅰ连通所对应的位置孔Ⅰ；所述的固定孔Ⅰ为内壁面具有内螺纹的螺纹孔；
所述底座的侧面均布有多个用以固定样品座的位置孔Ⅱ；所述位置孔Ⅱ位于相邻两个位置孔Ⅰ之间，且位置孔Ⅱ的轴线垂直于所述位置孔Ⅰ的轴线；对应每个所述的位置孔Ⅱ设置有固定孔Ⅱ；所述的固定孔Ⅱ的轴线垂直于所述位置孔Ⅱ的轴线，且所述的固定孔Ⅱ连通所对应的位置孔Ⅱ；所述的固定孔Ⅱ为内壁面具有内螺纹的螺纹孔。
2.如权利要求1所述的一种扫描电镜多用途样品台装置，其特征在于：所述的样品台具有用以放置样品的小样品座；所述小样品座上端为矩形板，底部具有用以与位置孔Ⅰ或位置孔Ⅱ配合的固定柱。
3.如权利要求2所述的一种扫描电镜多用途样品台装置，其特征在于：所述的固定柱位于小样品座所述矩形板的底部中心，且垂直于所述的矩形板设置。
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- 2019-04-01 CN CN201920424519.0U patent/CN209764766U/zh active Active
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