CN209722354U - 一种直拉单晶炉用组合加热器 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种直拉单晶炉用组合加热器，包括第一加热组件和第二加热组件，第一加热组件与第二加热组件对称设于单晶炉周侧，第一加热组件与第二加热组件均具有多个电极角，多个电极角相交设置，第一加热组件的电极角与第二加热组件的电极角不接触。本实用新型的有益效果是结构更加简单，具有多个加热组件，多个加热组件组合使用，使得加热器维修方便，易于拆分使用，在维修时只需更换损坏的加热组件，增加了加热器的使用寿命。

Description

一种直拉单晶炉用组合加热器

技术领域

本实用新型属于直拉单晶设备技术领域，尤其是涉及一种直拉单晶炉用组合加热器。

背景技术

从降低拉晶成本角度出发，设计采用更大尺寸的热场增加投料量，有助于降低开炉成本；但随之而来的问题是热场石墨件尺寸的增加，导致加热器的生产制造成本上升，主要表现为，加热器作为目前唯一一个不可由碳碳材质替代的石墨制品，随着热场尺寸的增加，它的原料供应遇到瓶颈，过程石墨料的浪费也会随之增加，造成加工成本上升。除此之外，现在单晶炉使用的主加热器为一个整体，石墨材质强度较低，加热器结构主体部分损坏后不可继续使用，会造成加热器的潜在成本过高。

发明内容

鉴于上述问题，本实用新型要解决的问题是提供一种直拉单晶炉用组合加热器，尤其适合直拉单晶炉使用，对单晶炉进行加热，该加热器具有多个组件，能够拆分替换使用，提高了加热器的灵活性和使用寿命。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种直拉单晶炉用组合加热器，包括第一加热组件和第二加热组件，第一加热组件与第二加热组件对称设于单晶炉周侧，第一加热组件与第二加热组件均具有多个电极角，多个电极角相交设置，第一加热组件的电极角与第二加热组件的电极角不接触。

进一步的，第一加热组件包括第一加热部和多个第一电极角，多个第一电极角均设于第一加热部一端，多个第一电极角等间距设置。

进一步的，第一加热部包括多个第一加热件，多个第一加热件依次连接。

进一步的，第二加热组件包括第二加热部和多个第二电极角，多个第二电极角均设于第二加热部一端，多个第二电极角等间距设置。

进一步的，第二加热部包括多个第二加热件，多个第二加热件依次连接。

进一步的，第一加热件为U型，第一加热件的厚度为5-10cm。

进一步的，第二加热件为U型，第二加热件的厚度为5-10cm。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

1.由于采用上述技术方案，使得直拉单晶的单晶炉结构更加简单，具有多个加热组件，多个加热组件组合使用，使得加热器维修方便，易于拆分使用，在维修时只需更换损坏的加热组件，增加了加热器的使用寿命；

2.加热器结构由两个或多个相同部分组成，其中一个加热组价损坏后可进行更换，其他加热组件正常使用，以此提高加热器的灵活性和使用寿命，解决大尺寸加热器加热器原料供应瓶颈；

3.加热器主体实现可拆分，由两个或多个加热组件组合构成，当其中一个加热组件损坏后进行替换，极大的降低了加热器使用成本。

附图说明

图1是本实用新型的一实施例的结构示意图；

图2是图1的俯视图；

图中：

1、第一加热部 2、竖直连接部 3、水平连接部

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步的说明。

图1示出了本实用新型一实施例的结构，具体示出了本实施例具体结构及连接关系，本实施例涉及一种直拉单晶炉用组合加热器，用于直拉单晶炉使用，该加热器具有多个加热组件，能够组合使用，便于加热器维修，维修时只需更换损坏的加热组件，延长了加热器的使用寿命，降低了加热器的使用成本。

上述的直拉单晶炉用组合加热器，包括第一加热组件和第二加热组件，第一加热组件与第二加热组件对称安装在直拉单晶炉周侧，第一加热组件与第二加热组件用于对直拉单晶炉进行加热，为直拉单晶炉提供热量，第一加热组件与第二加热组件均具有多个电极角，多个电极角相交设置，电极角与电极柱连接，用于与电源连接，便于对加热器提供能量，第一加热组件的电极角与第二加热组件的电极角不接触，电源分别为第一加热组件和第二加热组件提供能量，每一个加热组件相当于一个电阻，则第一加热组件与第二加热组件组合安装在直拉单晶炉后，为两个电阻并联，为直拉单晶炉提供热量。

具体地，如图1和2所示，上述的第一加热组件为具有一定圆弧的板状结构，该第一加热组件的高度与直拉单晶炉的高度相适应，便于第一加热组件安装后对直拉单晶炉进行加热，该圆弧的圆心角优选为180°，即该第一加热组件为半圆的板状结构，其半径的最小值与直拉单晶炉的直径相适应，便于第一加热组件的安装。这里，第一加热组件包括第一加热部1和多个第一电极角，第一加热部1用于对直拉单晶炉进行加热，第一电极角用于与电极柱连接，便于电源对加热器提供电能，多个第一电极角均设于第一加热部1一端，便于第一加热组件安装在直拉单晶炉的周侧，且多个第一电极角等间距设置，每一个第一电极角位于第一加热组件的一个直径上，则多个第一电极角相交设置，其交点位于第一加热组件的圆心上，同时，多个第一电极角远离第一加热部1的一端不接触，也就是，位于不同第一加热组件的直径上的多个第一电极角的延长线相交于第一加热组件的圆心上，每一个第一电极角远离第一加热部的一端指向第一加热组件的圆心。

第一电极角为L型结构，包括竖直连接部2和水平连接部3，竖直连接部2与水平连接部3可以通过螺栓等连接件连接，或者是一体成型，或者是其他连接方式，根据实际需求进行选择，优选的，这里，水平连接部2与竖直连接部3一体成型。竖直连接部2与第一加热部1连接，在远离第一加热部1的水平连接部3上设有安装孔，第一电极角通过安装孔与电极柱连接。该第一电极角的水平连接部3的形状可以是长方形，也可以是三角形，或者是扇形，或者是其他形状，根据实际需求进行选择，优选的，这里，第一电极角的水平连接部3为长方形，在端部的安装孔处为半圆形，便于与电极柱连接。第一电极角的数量可以是两个，也可以是三个，或者是多个，根据实际需求进行选择，优选的，这里，第一电极角的数量为两个，两个第一电极角分别位于圆心角为45°和135°的直径上，两个第一电极角对称设置，以此设置，能够充分利用空间，便于第一加热组件的安装。这里，第一电极角的材质为碳碳材质，能够进行多次使用，且能够在高温条件下使用。

上述的第一加热部1为半圆的板状结构，且第一加热部1包括多个第一加热件，多个第一加热件依次连接，这里第一加热件为U型，第一加热件的厚度为5-10cm，第一加热件的材质碳碳材质，能够进行多次使用，且碳碳材质能够在高温条件下使用，使用寿命长。该直拉单晶炉用组合加热器具有第一加热组件和第一加热组件，且第一加热组件和第二加热组件在安装后无接触，也就是，第一加热组件和第二加热组件分别为单独的一个电阻，组合安装后为两个电阻并联，与现有整体加热器相比，并联电阻之和变小，则在相同的电压情况下，产生的热量较少，不能达到直拉单晶过程中所需的温度要求，所以，第一加热组件中的每一个加热件的横截面增大，第一加热件的厚度为5-10cm，以使得该组合加热器的电阻达到目标电阻，使得该组合加热器的强度增加。

在本实施例中，第一加热件的数量根据直拉单晶炉的直径进行选择，且多个第一加热件可以通过螺栓等连接件进行连接，也可以是一体成型，或者是其他连接方式，根据实际需求进行选择，优选的，这里，多个第一加热件以此成型，使得第一加热组件结构稳定，在使用过程中不易产生变形。

此外，第一加热部1与第一电极角可以通过螺栓等连接件进行连接，也可以是一体成型，或者是其他连接方式，根据实际需求进行选择，优选的，

第一电极角与第一加热部1一体成型，减少其在使用过程中的变形。

上述的第二加热组件与第一加热组件在结构上相同，且第一加热组件与第二加热组件对称安装在直拉单晶炉的两侧，第一加热组件与第二加热组件组合安装后，构成一个内部有空腔的圆柱状结构，直拉单晶炉位于第一加热组件和第二加热组件之间，便于该组合加热器对直拉单晶炉进行加热。具体地，第二加热组件为具有一定圆弧的板状结构，该第二加热组件的高度与直拉单晶炉的高度相适应，便于第二加热组件安装后对直拉单晶炉进行加热，该圆弧的圆心角优选为180°，即该第二加热组件为半圆的板状结构，其半径的最小值与直拉单晶炉的直径相适应，便于第二加热组件的安装。这里，第二加热组件包括第二加热部和多个第二电极角，第二加热部用于对直拉单晶炉进行加热，第二电极角用于与电极柱连接，便于电源对加热器提供电能，多个第二电极角均设于第二加热部一端，便于第二加热组件安装在直拉单晶炉的周侧，且多个第二电极角等间距设置，每一个第二电极角位于第二加热组件的一个直径上，则多个第二电极角相交设置，其交点位于第二加热组件的圆心上，同时，多个第二电极角远离第二加热部的一端不接触，也就是，位于不同第二加热组件的直径上的多个第二电极角的延长线相交于第二加热组件的圆心上，每一个第二电极角远离第二加热部的一端指向第二加热组件的圆心。

第二电极角为L型结构，包括竖直连接部和水平连接部，竖直连接部与水平连接可以通过螺栓等连接件连接，或者是一体成型，或者是其他连接方式，根据实际需求进行选择，优选的，这里，水平连接部与竖直连接部一体成型。竖直连接部与第二加热部连接，在远离第二加热部的水平连接部上设有安装孔，第二电极角通过安装孔与电极柱连接。该第二电极角的水平连接部的形状可以是长方形，也可以是三角形，或者是扇形，或者是其他形状，根据实际需求进行选择，优选的，这里，第二电极角的水平连接部为长方形，在端部的安装孔处为半圆形，便于与电极柱连接。第二电极角的数量可以是两个，也可以是三个，或者是多个，根据实际需求进行选择，优选的，这里，第二电极角的数量为两个，两个第二电极角分别位于圆心角为45°和135°的直径上，两个第二电极角对称设置，以此设置，能够充分利用空间，便于第二加热组件的安装。这里，第二电极角的材质为碳碳材质，能够进行多次使用，且能够在高温条件下使用。

上述的第二加热部为半圆的板状结构，且第二加热部包括多个第二加热件，多个第二加热件依次连接，这里第二加热件为U型，第二加热件的厚度为5-10cm，第二加热件的材质碳碳材质，能够进行多次使用，且碳碳材质能够在高温条件下使用，使用寿命长。该直拉单晶炉用组合加热器具有第二加热组件和第二加热组件，且第二加热组件和第二加热组件在安装后无接触，也就是，第二加热组件和第二加热组件分别为单独的一个电阻，组合安装后为两个电阻并联，与现有整体加热器相比，并联电阻之和变小，则在相同的电压情况下，产生的热量较少，不能达到直拉单晶过程中所需的温度要求，所以，第二加热组件中的每一个加热件的横截面增大，第二加热件的厚度为5-10cm，以使得该组合加热器的电阻达到目标电阻，使得该组合加热器的强度增加。

在本实施例中，第二加热件的数量根据直拉单晶炉的直径进行选择，且多个第二加热件可以通过螺栓等连接件进行连接，也可以是一体成型，或者是其他连接方式，根据实际需求进行选择，优选的，这里，多个第二加热件以此成型，使得第二加热组件结构稳定，在使用过程中不易产生变形。

此外，第二加热部与第二电极角可以通过螺栓等连接件进行连接，也可以是一体成型，或者是其他连接方式，根据实际需求进行选择，优选的，第二电极角与第二加热部一体成型，减少其在使用过程中的变形。

本实施例的工作过程：该直拉单晶炉用组合加热器在使用时，将第一加热组件和第二加热组件对称安装在直拉单晶炉的两侧，且第一电极角与第二电极角分别与电极柱连接，便于该加热器的安装，加热器安装后，对直拉单晶炉进行加热，进行直拉单晶。

本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，使得直拉单晶的单晶炉结构更加简单，具有多个加热组件，多个加热组件组合使用，使得加热器维修方便，易于拆分使用，在维修时只需更换损坏的加热组件，增加了加热器的使用寿命；加热器结构由两个或多个相同部分组成，其中一个加热组价损坏后可进行更换，其他加热组件正常使用，以此提高加热器的灵活性和使用寿命，解决大尺寸加热器加热器原料供应瓶颈；加热器主体实现可拆分，由两个或多个加热组件组合构成，当其中一个加热组件损坏后进行替换，极大的降低了加热器使用成本。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (7)

1.一种直拉单晶炉用组合加热器，其特征在于：包括第一加热组件和第二加热组件，所述第一加热组件与所述第二加热组件对称设于单晶炉周侧，所述第一加热组件与所述第二加热组件均具有多个电极角，所述多个电极角相交设置，所述第一加热组件的电极角与所述第二加热组件的电极角不接触。

2.根据权利要求1所述的直拉单晶炉用组合加热器，其特征在于：所述第一加热组件包括第一加热部和多个第一电极角，所述多个第一电极角均设于所述第一加热部一端，所述多个第一电极角等间距设置。

3.根据权利要求2所述的直拉单晶炉用组合加热器，其特征在于：所述第一加热部包括多个第一加热件，所述多个第一加热件依次连接。

4.根据权利要求1-3任一项所述的直拉单晶炉用组合加热器，其特征在于：所述第二加热组件包括第二加热部和多个第二电极角，所述多个第二电极角均设于所述第二加热部一端，所述多个第二电极角等间距设置。

5.根据权利要求4所述的直拉单晶炉用组合加热器，其特征在于：所述第二加热部包括多个第二加热件，所述多个第二加热件依次连接。

6.根据权利要求3所述的直拉单晶炉用组合加热器，其特征在于：所述第一加热件为U型，所述第一加热件的厚度为5-10cm。

7.根据权利要求5所述的直拉单晶炉用组合加热器，其特征在于：所述第二加热件为U型，所述第二加热件的厚度为5-10cm。