CN209702852U - 高密封性能真空镀膜机 - Google Patents
高密封性能真空镀膜机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209702852U CN209702852U CN201920343474.4U CN201920343474U CN209702852U CN 209702852 U CN209702852 U CN 209702852U CN 201920343474 U CN201920343474 U CN 201920343474U CN 209702852 U CN209702852 U CN 209702852U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- coating
- vacuum
- coating chamber
- pipeline
- sealing performance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn - After Issue
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 58
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 58
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 17
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 abstract description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Spray Control Apparatus (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Nozzles (AREA)
Abstract
本实用新型涉及高密封性能真空镀膜机。该镀膜机具有机架、镀膜室、设备舱，机架包括镀膜机机架和使镀膜室封闭的镀膜机舱门，镀膜机机架上设置有填充有密封胶条的凹槽；镀膜室中心设置有轴承，侧壁设置有加热电阻，加热电阻外侧设置有隔热绝缘层；沿轴承竖直方向设置有若干托盘，托盘上设置有若干固定待镀膜工件的支撑杆，镀膜室内还设置有若干喷枪；设备舱设置有真空系统和控制柜，真空系统通过穿过通孔的管道连接镀膜室，管道同时连接有扩散泵和机械泵，管道和扩散泵间设置有高真空蝶阀，管道和机械泵间设置有低真空蝶阀，扩散泵和低真空蝶阀间设置有储气桶。该镀膜机密封效果好，返流率低，降低体系镀膜所需温度，延长镀膜机使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型属于真空镀膜机领域，具体涉及高密封性能真空镀膜机。
背景技术
真空镀膜是在高真空环境下加热金属或金属材料，其氧化物变成气态原子或分子，沉积在金属或非金属表面而形成薄膜的一种方法，具有低能耗、无毒、无废液、污染小等优点。真空镀膜机主要由镀膜室、真空系统、电气控制及机架等部分组成，其中真空系统是用来真空抽气从而获得真空的重要部件，而现有的真空镀膜机存在密封性能不好、真空系统返流率较高，镀膜时所需的热能高，高温环境对镀膜机的零部件损害严重，使用周期短，且浪费能源；现有技术中一般采用多台真空泵进行抽真空操作，这就要求镀膜机增大设备舱的容纳面积，增加经济成本。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：针对上述缺陷，本实用新型提供一种高密封性能真空镀膜机，密封效果好，返流率低，降低体系镀膜所需温度，延长镀膜机使用寿命。
本实用新型解决其技术问题采用的技术方案如下：高密封性能真空镀膜机，具有机架、镀膜室、设备舱，所述机架包括镀膜机机架和使镀膜室封闭的镀膜机舱门，所述镀膜机机架与镀膜机舱门活动连接，所述镀膜机机架与镀膜机舱门闭合接触面上设置有相应的凹槽，所述凹槽中设置有密封胶条；镀膜机机架与镀膜机舱门连接处设置有密封胶条，可以避免连接处发生漏气等问题，提高真空镀膜机整机的密封性。
所述镀膜室中心设置有轴承，所述轴承上端连接有驱动轴承转动的变速箱，镀膜室侧壁设置有加热电阻，所述加热电阻外侧设置有隔热绝缘层；所述镀膜室内沿轴承竖直方向设置有若干托盘，所述托盘上设置有若干固定待镀膜工件的支撑杆，所述镀膜室内还设置有若干喷枪，所述镀膜室侧壁设置有与设备舱连通的通孔；所述的轴承、托盘、支撑杆、喷枪等操作设备设置在镀膜室内侧，仅开设有与设备舱连通的通孔，体系密闭性高。
所述设备舱设置有真空系统和控制柜，所述真空系统通过穿过通孔的管道连接镀膜室，所述管道呈Y型，同时连接有扩散泵和机械泵，所述管道和扩散泵间设置有高真空蝶阀，所述管道和机械泵间设置有低真空蝶阀；管道呈Y型，可以根据具体要求，切换高真空蝶阀或低真空蝶阀进行工作；采用扩散泵，可以提高抽气性能，而且是其返流率降低，可以实现超高真空，一定程度上降低镀膜操作中所需要的热能，延长镀膜机的使用寿命。
进一步的，所述扩散泵和低真空蝶阀间设置有储气桶，设置储气桶可以将扩散泵排出的气体在储气桶中压缩存储，然后被机械泵抽气抽走，进一步避免了抽真空过程中气体返流，提高设备安全，降低返流率。
进一步的，所述喷枪通过设置的电机二控制。
进一步的，所述变速箱通过导线连接有电机一，所述电机一设置在设备舱内，电机通过管线设置在设备舱内，镀膜机设备美观，便于运输。
进一步的，所述镀膜机舱门上设置有观察窗，设置的观察窗可以在不打开镀膜机舱门的前提下观察镀膜情况，及时发现潜在问题，提高工作效率。
进一步的，所述的管道和通孔为过盈配合；过盈配合的连接方式，可以保障通孔边缘与管道的连接紧密度，进一步提高镀膜机整机的密封性。
本实用新型的有益效果是：采用上述方案，真空镀膜机的密封性能高。镀膜机机架与镀膜机舱门连接处设置有密封胶条，可以避免连接处发生漏气等问题，提高真空镀膜机整机的密封性；所述的轴承、托盘、支撑杆、喷枪等操作设备设置在镀膜室内侧，仅开设有与设备舱连通的通孔，体系密闭性高；管道呈Y型，可以根据具体要求，切换高真空蝶阀或低真空蝶阀进行工作；采用扩散泵，可以提高抽气性能，而且是其返流率降低，可以实现超高真空，一定程度上降低镀膜操作中所需要的热能，延长镀膜机的使用寿命；设置储气桶可以将扩散泵排出的气体在储气桶中压缩存储，然后被机械泵抽气抽走，进一步避免了抽真空过程中气体返流，提高设备安全，降低返流率；过盈配合的连接方式，可以保障通孔边缘与管道的连接紧密度，进一步提高镀膜机整机的密封性。
附图说明
通过下面结合附图的详细描述，本实用新型前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。
图1为本实用新型除舱门部分剖视图；
图2为本实用新型立体结构示意图；
图3为本实用新型机架结构示意图；
其中：1为机架，101为镀膜机机架，102为镀膜机舱门，103为观察窗，104为凹槽，105为密封胶条，2为镀膜室，201为加热电阻，202为隔热绝缘层，203为轴承，204为托盘，205为支撑杆，206为喷枪，207为电机二，208为通孔，3为设备舱，301为高真空蝶阀，302为扩散泵，303为管道，304为储气桶，305为低真空蝶阀，306为机械泵，4为变速箱，5为电机一，6为控制柜。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
参照图1—图3所示，高密封性能真空镀膜机，具有机架1、镀膜室2、设备舱3，所述机架1包括镀膜机机架101和使镀膜室封闭的镀膜机舱门102，所述镀膜机机架101与镀膜机舱门102通过合页活动连接，镀膜机舱门102上设置有观察窗103，所述镀膜机机架101与镀膜机舱门102闭合接触面上设置有相应的凹槽104，所述凹槽104中设置有密封胶条105；
所述镀膜室2中心设置有轴承203，所述轴承203上端连接有驱动轴承转动的变速箱4，镀膜室2侧壁设置有加热电阻201，所述加热电阻201外侧设置有隔热绝缘层202；所述镀膜室2内沿轴承203竖直方向设置有若干托盘204，所述托盘204上设置有若干固定待镀膜工件的支撑杆205，所述镀膜室2内还设置有若干喷枪206，所述镀膜室2侧壁设置有与设备舱3连通的通孔208；所述喷枪206通过设置的电机二207控制，所述变速箱4通过导线连接有电机一5，电机一5设置在设备舱3内；
所述设备舱3设置有真空系统和控制柜6，所述真空系统通过穿过通孔208的管道303连接镀膜室2，管道303和通孔208为过盈配合；所述管道303呈Y型，同时连接有扩散泵302和机械泵306，所述管道303和扩散泵302间设置有高真空蝶阀301，所述管道303和机械泵306间设置有低真空蝶阀305，所述扩散泵302和低真空蝶阀305间设置有储气桶304。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (7)
1.高密封性能真空镀膜机，具有机架(1)、镀膜室(2)、设备舱(3)，其特征在于：
所述机架(1)包括镀膜机机架(101)和使镀膜室封闭的镀膜机舱门(102)，所述镀膜机机架(101)与镀膜机舱门(102)活动连接，所述镀膜机机架(101)与镀膜机舱门(102)闭合接触面上设置有相应的凹槽(104)，所述凹槽(104)中设置有密封胶条(105)；
所述镀膜室(2)中心设置有轴承(203)，所述轴承(203)上端连接有驱动轴承转动的变速箱(4)，镀膜室(2)侧壁设置有加热电阻(201)，所述加热电阻(201)外侧设置有隔热绝缘层(202)；所述镀膜室(2)内沿轴承(203)竖直方向设置有若干托盘(204)，所述托盘(204)上设置有若干固定待镀膜工件的支撑杆(205)，所述镀膜室(2)内还设置有若干喷枪(206)，所述镀膜室(2)侧壁设置有与设备舱(3)连通的通孔(208)；
所述设备舱(3)设置有真空系统和控制柜(6)，所述真空系统通过穿过通孔(208)的管道(303)连接镀膜室(2)，所述管道(303)同时连接有扩散泵(302)和机械泵(306)，所述管道(303)和扩散泵(302)间设置有高真空蝶阀(301)，所述管道(303)和机械泵(306)间设置有低真空蝶阀(305)。
2.如权利要求1所述的高密封性能真空镀膜机，其特征在于：所述扩散泵(302)和低真空蝶阀(305)间设置有储气桶(304)。
3.如权利要求1所述的高密封性能真空镀膜机，其特征在于：所述喷枪(206)通过设置的电机二(207)控制。
4.如权利要求1所述的高密封性能真空镀膜机，其特征在于：所述变速箱(4)通过导线连接有电机一(5)。
5.如权利要求4所述的高密封性能真空镀膜机，其特征在于：所述电机一(5)设置在设备舱(3)内。
6.如权利要求1所述的高密封性能真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜机舱门(102)上设置有观察窗(103)。
7.如权利要求1所述的高密封性能真空镀膜机，其特征在于：所述的管道(303)和通孔(208)为过盈配合。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920343474.4U CN209702852U (zh) | 2019-03-18 | 2019-03-18 | 高密封性能真空镀膜机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920343474.4U CN209702852U (zh) | 2019-03-18 | 2019-03-18 | 高密封性能真空镀膜机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209702852U true CN209702852U (zh) | 2019-11-29 |
Family
ID=68644542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201920343474.4U Withdrawn - After Issue CN209702852U (zh) | 2019-03-18 | 2019-03-18 | 高密封性能真空镀膜机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209702852U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109722640A (zh) * | 2019-03-18 | 2019-05-07 | 常州市乐萌压力容器有限公司 | 高密封性能真空镀膜机及其控制方法 |
| CN111197155A (zh) * | 2020-03-24 | 2020-05-26 | 常州市乐萌压力容器有限公司 | 可跟随的旋转磁控溅射膜厚多点测量装置和检测方法 |
-
2019
- 2019-03-18 CN CN201920343474.4U patent/CN209702852U/zh not_active Withdrawn - After Issue
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109722640A (zh) * | 2019-03-18 | 2019-05-07 | 常州市乐萌压力容器有限公司 | 高密封性能真空镀膜机及其控制方法 |
| CN109722640B (zh) * | 2019-03-18 | 2023-12-01 | 常州市乐萌压力容器有限公司 | 高密封性能真空镀膜机及其控制方法 |
| CN111197155A (zh) * | 2020-03-24 | 2020-05-26 | 常州市乐萌压力容器有限公司 | 可跟随的旋转磁控溅射膜厚多点测量装置和检测方法 |
| CN111197155B (zh) * | 2020-03-24 | 2024-05-10 | 常州市乐萌压力容器有限公司 | 可跟随的旋转磁控溅射膜厚多点测量装置和检测方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN209702852U (zh) | 高密封性能真空镀膜机 | |
| CN201191121Y (zh) | 电冰柜真空隔热箱体 | |
| CN205117684U (zh) | 一种微型液泵 | |
| CN108194231A (zh) | 一种小型固体火箭发动机喷管堵盖 | |
| CN204371667U (zh) | 涡旋压缩机 | |
| CN212203349U (zh) | 一种新型超低温截止阀 | |
| CN105758099A (zh) | 冷柜的冷冻仓密封组件 | |
| CN109722640A (zh) | 高密封性能真空镀膜机及其控制方法 | |
| CN215713353U (zh) | 一种真空镀膜机 | |
| CN213629011U (zh) | 膜片式电磁阀 | |
| CN210179970U (zh) | 一种适用于多门多温区冰箱的箱内风道组件 | |
| CN204386880U (zh) | 变容量压缩机及包括该变容量压缩机的电器产品 | |
| CN203036932U (zh) | 冷柜 | |
| CN215002920U (zh) | 一种烧结机侧密封装置 | |
| CN211033760U (zh) | 一种新型油缸盖卸油装置 | |
| CN217222023U (zh) | 一种金属柜体喷涂烘干一体化装置 | |
| CN218063434U (zh) | 一种蝶阀密封结构 | |
| CN101982245A (zh) | 一种油压涂装机 | |
| CN112483345B (zh) | 一种大面积空心楼盖施工用浇筑泵送装置 | |
| CN203717527U (zh) | 一种环保型水介质液压缸筒 | |
| CN201191122Y (zh) | 电冰箱真空隔热箱体 | |
| CN218206849U (zh) | 一种三通接头排气阀 | |
| CN209224666U (zh) | 一种保温装饰一体化板的生产设备 | |
| CN215062976U (zh) | 一种节能减排的真空冷冻机装置 | |
| CN103983074B (zh) | 冰箱 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| AV01 | Patent right actively abandoned | ||
| AV01 | Patent right actively abandoned | ||
| AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20191129 Effective date of abandoning: 20231201 |
|
| AV01 | Patent right actively abandoned |
Granted publication date: 20191129 Effective date of abandoning: 20231201 |