CN209699614U - 一种晶棒切割固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶棒切割固定装置，包括竖杆、支撑台、工作台和底座，所述工作台底端的一侧安装有控制面板，且控制面板的内部安装有单片机，所述工作台底端的另一侧安装有废料箱，且废料箱的底端安装有出料口，所述工作台的顶端安装有底座，且底座顶端的一侧通过固定脚固定有支撑台，所述支撑台的顶端安装有传动滚，且传动滚的一端安装有第二驱动电机，所述第二驱动电机的外侧设置有机壳，所述第二驱动电机的输出端通过转轴与传动滚连接，所述支撑台内部的两端均设置有滑槽。本实用新型通过安装有限位板，且限位板的内部均匀设置有限位孔，晶棒在传送过程中，将晶棒穿过限位板内部限位孔，起到限位和固定的作用。

Description

一种晶棒切割固定装置

技术领域

本实用新型涉及切割装置技术领域，具体为一种晶棒切割固定装置。

背景技术

晶棒是指半导体单晶硅棒，生产晶棒时需要使用一种切割装置，用于切割晶棒，但是现有的晶棒切割装置存在很多问题或缺陷。

第一，传统的晶棒切割装置没有对晶棒进行固定，切割时，晶棒的位置容易偏移，无法保证切口的平整度。

第二，传统的晶棒切割装置没有对切割时产生的碎屑进行收集，一则浪费资源，二则飞溅的碎屑不便于清理，污染工位附近的环境。

第三，传统的晶棒切割装置不便于调整切割的长度，适用性差，无法满足用户的需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶棒切割固定装置，以解决上述背景技术中提出的晶棒的位置容易偏移，无法保证切口的平整度、没有对切割时产生的碎屑进行收集和不便于调整切割的长度，适用性差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶棒切割固定装置，包括竖杆、支撑台、工作台和底座，所述工作台底端的一侧安装有控制面板，且控制面板的内部安装有单片机，所述工作台底端的另一侧安装有废料箱，且废料箱的底端安装有出料口，所述工作台的顶端安装有底座，且底座顶端的一侧通过固定脚固定有支撑台，所述支撑台的顶端安装有传动滚，且传动滚的一端安装有第二驱动电机，所述第二驱动电机的外侧设置有机壳，所述第二驱动电机的输出端通过转轴与传动滚连接，所述支撑台内部的两端均设置有滑槽，且滑槽的内部均设置有滑竿，所述底座顶端的另一侧安装有第一电动滑轨，且第一电动滑轨通过第一滑块固定有工位槽，所述滑竿远离支撑台的一侧均与工位槽连接，所述工位槽顶端的一侧安装有红外接收器，所述工位槽靠近支撑台一侧的顶端安装有红外测距仪，所述工作台顶端两侧的边缘处均通过螺栓固定有竖杆，且竖杆上均安装有LED灯，所述工作台顶端一侧的竖杆一侧安装有风筒，且风筒内部的一侧安装有负压风机，所述风筒的另一侧安装有导料管，且导料管远离风筒的一端与废料箱一侧的顶端相连通，所述竖杆之间的顶端通过角钢固定有横梁，且横梁的两端均安装有第二电动滑轨，所述控制面板的输出端通过导线与单片机的输入端电性连接，所述红外接收器的输出端通过导线与单片机的输入端电性连接，所述红外测距仪的输出端通过导线与单片机的输入端电性连接，所述单片机的输出端通过导线与第二电动滑轨的输入端电性连接，所述单片机的输出端通过导线与第二驱动电机的输入端电性连接，所述单片机的输出端通过导线与液压气缸的输入端电性连接，所述单片机的输出端通过导线与负压风机的输入端电性连接。

优选的，所述竖杆与工作台之间呈拆卸安装结构。

优选的，所述支撑台顶端两侧的边缘处均通过螺栓固定有限位板，且限位板的内部皆均匀设置有限位孔，所述限位孔在限位板的内部呈等间距分布。

优选的，所述工作台的底端安装有支撑架，且支撑架底端的四个拐角处均安装有万向轮，所述支撑架与工作台的底端之间呈焊接一体化结构。

优选的，所述支撑架的表面均匀涂覆有油漆。

优选的，所述第二电动滑轨通过第二滑块固定有液压气缸，且液压气缸的底端安装有液压伸缩杆，所述第二滑块底端的一侧安装有与红外接收器相互配合的红外探测器，所述液压伸缩杆的底端安装有第一驱动电机，且第一驱动电机的一侧设置有切割刀片，所述第一驱动电机的输出端通过转轴与切割刀片连接，所述工位槽通过第二滑块与第二电动滑轨之间构成滑动结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该晶棒切割固定装置结构合理，具有以下优点：

1、通过安装有第一电动滑轨，且第一电动滑轨通过第一滑块固定有工位槽，同时在工位槽靠近支撑台一侧的顶端安装有红外测距仪，使得本装置可以快速调整被切割的单根晶棒的长度，调节时，给第一电动滑轨通电，第一电动滑轨通电后产生磁力，磁力驱动第一滑块在第一电动滑轨上滑动，调节工位槽的位置，调节完毕后，红外测距仪将距离数据发送给单片机，单片机再将信号发送给第二驱动电机，调整晶棒的输送长度，切割时，调整切割刀片的位置，同时红外接收器接收到红外探测器发送的红外信号，第二驱动电机启动，对晶棒进行切割。

2、通过安装有限位板，且限位板的内部均匀设置有限位孔，晶棒在传送过程中，将晶棒穿过限位板内部限位孔，起到限位和固定的作用。

3、通过安装有风筒，且风筒内部的一侧安装有负压风机，启动负压风机，将切割时产生的碎屑通过导料管吸入到废料箱内收集起来，再通过出料口进行清理，一则避免浪费资源，二则防止碎屑污染工位槽附近的环境，便于清理。

附图说明

图1为本实用新型的正视剖面结构示意图；

图2为本实用新型的限位板侧视结构示意图；

图3为本实用新型的传动滚俯视结构示意图；

图4为本实用新型图1中A处放大结构示意图；

图5为本实用新型的第一驱动电机和液压伸缩杆连接方式正视结构示意图；

图6为本实用新型的系统框图。

图中：1、竖杆；2、LED灯；3、传动滚；4、限位板；5、支撑台；6、工作台；7、单片机；8、控制面板；9、底座；10、滑槽；11、滑竿；12、固定脚；13、万向轮；14、出料口；15、废料箱；16、导料管；17、支撑架；18、第一电动滑轨；19、风筒；20、负压风机；21、横梁；22、切割刀片；23、红外探测器；24、第二滑块；25、液压气缸；26、第一驱动电机；27、第二电动滑轨；28、限位孔；29、第二驱动电机；30、机壳；31、红外测距仪；32、第一滑块；33、工位槽；34、红外接收器；35、液压伸缩杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本实用新型提供的一种实施例：一种晶棒切割固定装置，包括竖杆1、支撑台5、工作台6和底座9，工作台6底端的一侧安装有控制面板8，且控制面板8的内部安装有单片机7，单片机7的型号可为HT66F018，工作台6的底端安装有支撑架17，且支撑架17底端的四个拐角处均安装有万向轮13，支撑架17的表面均匀涂覆有油漆，增加耐腐蚀能力，支撑架17与工作台6的底端之间呈焊接一体化结构，增加结构的稳固性，工作台6底端的另一侧安装有废料箱15，且废料箱15的底端安装有出料口14，工作台6的顶端安装有底座9，且底座9顶端的一侧通过固定脚12固定有支撑台5，支撑台5顶端两侧的边缘处均通过螺栓固定有限位板4，且限位板4的内部皆均匀设置有限位孔28，限位孔28在限位板4的内部呈等间距分布，优化本装置的结构，便于对不同的晶棒进行固定，支撑台5的顶端安装有传动滚3，且传动滚3的一端安装有第二驱动电机29，第二驱动电机29的型号可为Y90S-2，第二驱动电机29的外侧设置有机壳30，第二驱动电机29的输出端通过转轴与传动滚3连接，支撑台5内部的两端均设置有滑槽10，且滑槽10的内部均设置有滑竿11，底座9顶端的另一侧安装有第一电动滑轨18，且第一电动滑轨18通过第一滑块32固定有工位槽33，滑竿11远离支撑台5的一侧均与工位槽33连接，工位槽33顶端的一侧安装有红外接收器34，工位槽33靠近支撑台5一侧的顶端安装有红外测距仪31，工作台6顶端两侧的边缘处均通过螺栓固定有竖杆1，且竖杆1上均安装有LED灯2，竖杆1与工作台6之间呈拆卸安装结构，拆装方便，便于维修和更换，工作台6顶端一侧的竖杆1一侧安装有风筒19，且风筒19内部的一侧安装有负压风机20，负压风机20的型号可为SP-6，风筒19的另一侧安装有导料管16，且导料管16远离风筒19的一端与废料箱15一侧的顶端相连通，竖杆1之间的顶端通过角钢固定有横梁21，且横梁21的两端均安装有第二电动滑轨27，第二电动滑轨27通过第二滑块24固定有液压气缸25，液压气缸25的型号可为J64RT2UNIVER，且液压气缸25的底端安装有液压伸缩杆35，第二滑块24底端的一侧安装有与红外接收器34相互配合的红外探测器23，液压伸缩杆35的底端安装有第一驱动电机26，第一驱动电机26的型号可为Y90L-2，且第一驱动电机26的一侧设置有切割刀片22，第一驱动电机26的输出端通过转轴与切割刀片22连接，工位槽33通过第二滑块24与第二电动滑轨27之间构成滑动结构，便于调整切割刀片22的位置，控制面板8的输出端通过导线与单片机7的输入端电性连接，红外接收器34的输出端通过导线与单片机7的输入端电性连接，红外测距仪31的输出端通过导线与单片机7的输入端电性连接，单片机7的输出端通过导线与第二电动滑轨27的输入端电性连接，单片机7的输出端通过导线与第二驱动电机29的输入端电性连接，单片机7的输出端通过导线与液压气缸25的输入端电性连接，单片机7的输出端通过导线与负压风机20的输入端电性连接。

工作原理：使用时，将需要切割的晶棒放置在传动滚3上，然后将晶棒的一端依次穿过限位板4内部的限位孔28内，给第一电动滑轨18通电，通电后第一电动滑轨18产生磁力，磁力驱动第一滑块32在第一电动滑轨18上滑动，调节工位槽33的位置，之后红外测距仪31将距离数据发送给单片机7，单片机7将数据处理后再将信号发送给第二驱动电机29，第二驱动电机29启动，同时第二驱动电机29的输出端通过转轴带动传动滚3转动，将晶棒向前传送，之后利用第二电动滑轨27和第二滑块24调节切割刀片22的位置，当红外探测器23发送的数据被红外接收器34接收到后，红外接收器34将信号发送给单片机7，单片机7将数据处理后再将信号发送给第一驱动电机26，第一驱动电机26的输出端通过转轴带动切割刀片22转动，启动液压气缸25，液压伸缩杆35伸长，对晶棒进行切割，启动负压风机20，将切割时产生的碎屑通过导料管16吸入到废料箱15内保存起来。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种晶棒切割固定装置，包括竖杆(1)、支撑台(5)、工作台(6)和底座(9)，其特征在于：所述工作台(6)底端的一侧安装有控制面板(8)，且控制面板(8)的内部安装有单片机(7)，所述工作台(6)底端的另一侧安装有废料箱(15)，且废料箱(15)的底端安装有出料口(14)，所述工作台(6)的顶端安装有底座(9)，且底座(9)顶端的一侧通过固定脚(12)固定有支撑台(5)，所述支撑台(5)的顶端安装有传动滚(3)，且传动滚(3)的一端安装有第二驱动电机(29)，所述第二驱动电机(29)的外侧设置有机壳(30)，所述第二驱动电机(29)的输出端通过转轴与传动滚(3)连接，所述支撑台(5)内部的两端均设置有滑槽(10)，且滑槽(10)的内部均设置有滑竿(11)，所述底座(9)顶端的另一侧安装有第一电动滑轨(18)，且第一电动滑轨(18)通过第一滑块(32)固定有工位槽(33)，所述滑竿(11)远离支撑台(5)的一侧均与工位槽(33)连接，所述工位槽(33)顶端的一侧安装有红外接收器(34)，所述工位槽(33)靠近支撑台(5)一侧的顶端安装有红外测距仪(31)，所述工作台(6)顶端两侧的边缘处均通过螺栓固定有竖杆(1)，且竖杆(1)上均安装有LED灯(2)，所述工作台(6)顶端一侧的竖杆(1)一侧安装有风筒(19)，且风筒(19)内部的一侧安装有负压风机(20)，所述风筒(19)的另一侧安装有导料管(16)，且导料管(16)远离风筒(19)的一端与废料箱(15)一侧的顶端相连通，所述竖杆(1)之间的顶端通过角钢固定有横梁(21)，且横梁(21)的两端均安装有第二电动滑轨(27)，所述控制面板(8)的输出端通过导线与单片机(7)的输入端电性连接，所述红外接收器(34)的输出端通过导线与单片机(7)的输入端电性连接，所述红外测距仪(31)的输出端通过导线与单片机(7)的输入端电性连接，所述单片机(7)的输出端通过导线与第二电动滑轨(27)的输入端电性连接，所述单片机(7)的输出端通过导线与第二驱动电机(29)的输入端电性连接，所述单片机(7)的输出端通过导线与液压气缸(25)的输入端电性连接，所述单片机(7)的输出端通过导线与负压风机(20)的输入端电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒切割固定装置，其特征在于：所述竖杆(1)与工作台(6)之间呈拆卸安装结构。

3.根据权利要求1所述的一种晶棒切割固定装置，其特征在于：所述支撑台(5)顶端两侧的边缘处均通过螺栓固定有限位板(4)，且限位板(4)的内部皆均匀设置有限位孔(28)，所述限位孔(28)在限位板(4)的内部呈等间距分布。

4.根据权利要求1所述的一种晶棒切割固定装置，其特征在于：所述工作台(6)的底端安装有支撑架(17)，且支撑架(17)底端的四个拐角处均安装有万向轮(13)，所述支撑架(17)与工作台(6)的底端之间呈焊接一体化结构。

5.根据权利要求4所述的一种晶棒切割固定装置，其特征在于：所述支撑架(17)的表面均匀涂覆有油漆。

6.根据权利要求1所述的一种晶棒切割固定装置，其特征在于：所述第二电动滑轨(27)通过第二滑块(24)固定有液压气缸(25)，且液压气缸(25)的底端安装有液压伸缩杆(35)，所述第二滑块(24)底端的一侧安装有与红外接收器(34)相互配合的红外探测器(23)，所述液压伸缩杆(35)的底端安装有第一驱动电机(26)，且第一驱动电机(26)的一侧设置有切割刀片(22)，所述第一驱动电机(26)的输出端通过转轴与切割刀片(22)连接，所述工位槽(33)通过第二滑块(24)与第二电动滑轨(27)之间构成滑动结构。