CN209630806U - 一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置，包括筒体，筒体上端设有盖体，筒体上端外侧壁上设有第一法兰，盖体下端外侧壁上设有与第一法兰配合使用的第二法兰，第一法兰和第二法兰之间设有垫板，筒体内部固定连接有安装架，安装架上固定连接有滤袋，筒体外侧壁上设有第三法兰，第三法兰通过螺栓连接有盖板，盖体上贯设有第一连接管，第一连接管外端焊接有第四法兰，盖体上端设有第二连接管，第二连接管上端焊接有第五法兰，滤袋上方设有文丘管，盖体上贯设有进气管，筒体下部分设有排气管；总的，本实用新型具有使用方便的优点。

Description

一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置

技术领域

本实用新型涉及一种净化装置，具体涉及一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置。

背景技术

多晶硅是太阳能光伏行业的基础材料，在多晶硅生产中，多晶硅混合气经空气压缩机压缩后进入热解炉循环反应，目前的生产过程中，混合气为循环式利用，经热解炉出来的混合气中含有硅粉，如果不经净化直接进入压缩机压缩，将大大影响产品质量；因此，为解决上述问题，需要一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种使用方便的硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置。

为实现上述目的，本实用新型提供一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置，包括筒体，所述筒体上端设有盖体，所述筒体上端外侧壁上设有第一法兰，所述盖体下端外侧壁上设有与第一法兰配合使用的第二法兰，所述第一法兰和第二法兰之间设有垫板，所述筒体内部固定连接有安装架，所述安装架上固定连接有滤袋，所述筒体外侧壁上设有第三法兰，所述第三法兰通过螺栓连接有盖板，所述盖体上贯设有第一连接管，所述第一连接管外端焊接有第四法兰，所述盖体上端设有第二连接管，所述第二连接管上端焊接有第五法兰，所述滤袋上方设有文丘管，所述盖体上贯设有进气管，所述筒体下部分设有排气管。

所述进气管外设有防尘罩。

所述垫板采用优力胶材料制成。

所述盖板上设有把手。

所述盖体上端设有吊耳。

所述滤袋为绝对精度无缝滤袋。

所述安装架与所述筒体之间设有加强板，所述进气管与所述筒体之间设有支撑板。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型设置的进气管配合滤袋，用于对混合气进行过滤；设置的文丘管可便于滤袋的吸附；总的，本实用新型使用方便的优点。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型俯视结构示意图。

图3是本实用新型去除盖体后的俯视结构示意图。

图4是本实用新型第一法兰与第二法兰安装结构示意图。

图5是本实用新型文丘管安装结构示意图。

图6是本实用新型加强板的结构示意图。

图7是本实用新型支撑板的结构示意图。

图中：1、筒体 2、盖体 3、第一法兰 4、第一支杆 5、安装架 6、滤袋 7、第三法兰8、盖板 9、第一连接管 10、第四法兰 11、第二连接管 12、第五法兰 13、文丘管 14、进气管15、防尘罩 16、加强板 17、支撑板 18、垫板 19、吊耳 20、排气管。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。

如图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7所示，一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置，包括筒体1，所述筒体1上端设有盖体2，所述筒体1上端外侧壁上设有第一法兰3，所述盖体2下端外侧壁上设有与第一法兰3配合使用的第二法兰4，所述第一法兰3和第二法兰4之间设有垫板18，所述筒体1内部固定连接有安装架5，所述安装架5上固定连接有滤袋6，所述筒体1外侧壁上设有第三法兰7，所述第三法兰7通过螺栓连接有盖板8，所述盖体2上贯设有第一连接管9，所述第一连接管9外端焊接有第四法兰10，第四法兰10外接压缩机管道；所述盖体2上端设有第二连接管11，所述第二连接管11上端焊接有第五法兰12，第五法兰12上装有泄压阀，可在压力过大时自动泄压；所述滤袋6上方设有文丘管13，所述盖体2上贯设有出气管14，所述筒体1下部分设有排气管20。

所述进气管14外设有防尘罩15，所述垫板18采用优力胶材料制成，所述盖板8上设有把手，所述盖体2上端设有吊耳19，所述滤袋6为绝对精度无缝滤袋，所述安装架5与所述筒体1之间设有加强板16，所述进气管14与所述筒体1之间设有支撑板17。

本实用新型的使用方法为：将混合气经进气管14进入筒体1内，在文丘管13作用下进入滤袋6内进行净化过滤，净化后的气体经第一连接管9进入外连接的压缩机。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置，包括筒体（1），其特征在于：所述筒体（1）上端设有盖体（2），所述筒体（1）上端外侧壁上设有第一法兰（3），所述盖体（2）下端外侧壁上设有与第一法兰（3）配合使用的第二法兰（4），所述第一法兰（3）和第二法兰（4）之间设有垫板（18），所述筒体（1）内部固定连接有安装架（5），所述安装架（5）上固定连接有滤袋（6），所述筒体（1）外侧壁上设有第三法兰（7），所述第三法兰（7）通过螺栓连接有盖板（8），所述盖体（2）上贯设有第一连接管（9），所述第一连接管（9）外端焊接有第四法兰（10），所述盖体（2）上端设有第二连接管（11），所述第二连接管（11）上端焊接有第五法兰（12），所述滤袋（6）上方设有文丘管（13），所述盖体（2）上贯设有进气管（14），所述筒体（1）下部分设有排气管（20）。

2.根据权利要求1所述的一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置，其特征在于：所述进气管（14）外设有防尘罩（15）。

3.根据权利要求1所述的一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置，其特征在于：所述垫板（18）采用优力胶材料制成。

4.根据权利要求1所述的一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置，其特征在于：所述盖板（8）上设有把手。

5.根据权利要求1所述的一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置，其特征在于：所述盖体（2）上端设有吊耳（19）。

6.根据权利要求1所述的一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置，其特征在于：所述滤袋（6）为绝对精度无缝滤袋。

7.根据权利要求1所述的一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置，其特征在于：所述安装架（5）与所述筒体（1）之间设有加强板（16），所述进气管（14）与所述筒体（1）之间设有支撑板（17）。