CN209590420U - 激光整形反射镜及激光整形装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种激光整形反射镜及激光整形装置，包括反射镜本体，所述反射镜本体的反射面为环形的圆弧状凹面或与其等效的菲涅尔面型，反射镜本体上呈环形的圆弧状凹面或与其等效的菲涅尔面型的反射面用于将入射的激光光束整形成环状光场分布。其能量利用率高，且本专利的激光整形反射镜或激光整形装置输出的环状光场分布经锥面聚焦可以输出的近似贝塞尔光束的中心光斑大小和光强基本不变，以利于进行激光微加工，尤其是对大深径比材料的激光微加工。

Description

激光整形反射镜及激光整形装置

技术领域

本实用新型涉及激光加工领域，尤其涉及激光整形反射镜及激光整形装置。

背景技术

贝塞尔光束的光斑直径最小可达波长量级且能在很长的距离内基本保持不变，相比高斯光束具有更长的焦深，因此非常适合用来做激光微加工，特别是在加工大深径比材料中具有不可比拟的优势。

理想的贝塞尔光束由于占据无限大的空间并拥有无穷大的能量，无法在现实中实现，但是人们可以通过实验方法获得近似贝塞尔光束。迄今为止，研究人员已经提出了许多种产生贝塞尔光束的实验方法，这些方法大致可以分为两类：主动式和被动式。所谓主动式就是通过特定结构的谐振腔由激光器直接产生贝塞尔光束(又叫谐振腔法)，而被动式是指通过一定的方法将其他光束转换为贝塞尔光束。常见的被动式产生贝塞尔光束的方法主要有：环缝－透镜法，计算全息法，轴锥镜法，球面像差法，空间光调制器法、波导法等。比较上述几种方法，各有优缺点：环缝－透镜法结构简单、易于实现，但是对入射光的能量利用率较低；计算全息法结构也较为简单，但是对全息片有较高的质量要求；球面像差透镜法结构较为灵活，但是球面像差透镜设计与加工工艺复杂，而且中心光斑大小和光强随位置会发生变化；轴锥镜法结构简单，能产生高质量的贝塞尔光束，能量利用率比环缝－透镜法大大提高，是目前激光微加工的主流方式，然后轴锥镜法对轴锥镜加工精度要求较高，实际激光微加工的深度一般在几百个微米到几个毫米的量级，对应入射轴锥面处需要环状光斑，能力利用率虽然比环缝－透镜法高很多，但是还是需要遮挡大量的激光能量，中心光斑大小虽然能保持固定，光强随位置会发生变化，并且有可能存在剧烈的震动，这些缺点限制了轴锥镜法在激光微加工中的直接应用和推广。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术之缺陷，提供了一种激光整形反射镜及激光整形装置，其能量利用率高，且本专利的激光整形反射镜或激光整形装置输出的环状光场分布经锥面聚焦可以输出的近似贝塞尔光束的中心光斑大小和光强基本不变，以利于进行激光微加工，尤其是对大深径比材料的激光微加工。

本实用新型是这样实现的：一种激光整形反射镜，包括反射镜本体，所述反射镜本体的反射面为环形的圆弧状凹面或与其等效的菲涅尔面型，反射镜本体上呈环形的圆弧状凹面或与其等效的菲涅尔面型的反射面用于将入射的激光光束整形成环状光场分布。

进一步地，环状光场分布在一设定的截面处为内外侧圆环光强为高斯函数的下降关系，中间光强为与径向半径成反比关系的光场分布，使得截面径向上中间光强对应半径范围内，每一点对应的无限小积分圆环面积上的能量相等，有利于获得轴向分布均匀的光场；设定的截面处径向的相位与中心相位差不超过2π。

进一步地，入射的激光光束经反射镜本体上呈环形的圆弧状凹面或与其等效的菲涅尔面型的反射面反射后在光束与输出聚焦镜设有的锥面最初相交的初交截面处形成一个环状的光场分布，出射光线由输出聚焦镜设有的锥面出射，在输出聚焦镜出射轴线方向设定范围内形成一个中心光斑大小和光强稳定的近似贝塞尔光束。

进一步地，反射镜本体的反射面以其轴心线为旋转轴，由向内凹的圆弧段旋转360度而成，形成环形的圆弧状凹面；向内凹的圆弧段一端的端头延伸至反射镜本体中心，另一端的端头延伸至反射镜本体的该端面最外缘。

进一步地，反射镜本体的反射面上设有环状的圆弧凹面，以及分别位于环状圆弧凹面内侧的第一环形锯齿和位于环状圆弧凹面外侧的第二环形锯齿，位于环状圆弧凹面内侧的第一环形锯齿的内侧面为圆柱侧面，其与反射镜本体同轴心线，位于环状圆弧凹面内侧的第一环形锯齿的外侧面为环状的弧形斜坡，使反射镜本体的反射面中心形成一个锥形凸面；位于环状圆弧凹面外侧的第二环形锯齿的外侧面为圆柱侧面，其与反射镜本体同轴心线，位于环状圆弧凹面外侧的第二环形锯齿的内侧面为环状的弧形斜坡，形成与环形的圆弧状凹面等效的菲涅尔面型。

本实用新型提供一种激光整形装置，包括第一平面反射镜、第二平面反射镜以及激光整形反射镜，所述第一平面反射镜用于接收入射激光束并反射至激光整形反射镜，所述激光整形反射镜设置在第一平面反射镜的出光光路上，用于接收第一平面反射镜的出射光线并反射至第二平面反射镜，所述第二平面反射镜设置在激光整形反射镜的出光光路上，用于接收激光整形反射镜的出射光线并反射，调整经激光整形反射镜整形后产生的环状光场分布的出射方向。

进一步地，第一平面反射镜的出射光线小角度入射激光整形反射镜。

进一步地，第一平面反射镜、第二平面反射镜沿激光入射方向依次设置，第一平面反射镜的入射光轴、第二平面反射镜的出射光轴位于同一直线上，且与激光整形反射镜的轴心线垂直。

进一步地，所述第一平面反射镜、第二平面反射镜、激光整形反射镜分别固定在封装固定架上。

进一步地，与具有环形的圆弧状凹面的凹面反射镜等效的菲涅尔反射镜可以通过衍射光学元件的方法设计。

进一步地，本实用新型具有环形的圆弧状凹面的凹面反射镜或等效菲涅尔反射镜可以采用金刚石车削工艺，以铝合金材料为原料加工，并涂覆高反射膜。该工艺简单成熟，成本低。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

(1)本实用新型采用具有环形的圆弧状凹面的凹面反射镜或等效菲涅尔反射镜，使得入射激光能量利用率高，几乎整个入射激光光斑的能量都能利用。且具有环形的圆弧状凹面的凹面反射镜或等效菲涅尔反射镜可以实现达到光束整形和传输的效果，将入射的高斯光束整形成环状光场分布。

(2)本实用新型通过设计分体式激光聚焦装置，入射激光束经过第一平面反射镜反射后小角度入射到具有环形的圆弧状凹面的凹面反射镜或等效菲涅尔反射镜上，经过具有环形的圆弧状凹面的凹面反射镜或等效菲涅尔反射镜反射，再由第二平面反射镜反射后，设定在光束与输出镜的出射锥面的初交截面处形成所述环状的光场分布，环状光场分布为内外侧圆环光强为高斯函数的下降关系，中间光强为与径向半径成反比关系的光场分布，使得截面径向上中间光强对应半径范围内，每一点对应的无限小积分圆环面积上的能量相等，有利于获得轴向分布均匀的光场；截面处径向的相位与中心相位差不超过2π；经过出射端圆锥面或圆台侧面出射后，在圆锥镜或圆台镜光轴方向设定范围内形成一个中心光斑大小和光强相对稳定的近似贝塞尔光束，借此，本实用新型能够增大能量利用率低、减少加工制作成本、降低安装调试难度、稳定轴上位置聚焦范围内输出近似贝塞尔光束中心光斑大小和光强，以利于进行激光微加工，尤其是对大深径比材料的激光微加工。

(3)具有环形的圆弧状凹面的凹面反射镜或等效菲涅尔反射镜，可以采用金刚石车削工艺，以铝合金材料为原料加工，并涂覆高反射膜。这种传统非球面加工方式不需要通过集成电路的光刻工艺获得，加工制作成本大大降低。

附图说明

图1为本实用新型的激光整形反射镜的第一种实施例的轴向截面示意图；

图2为图1的左视图；

图3为本实用新型的激光整形反射镜的第二种实施例的轴向截面示意图；

图4为图3的左视图；

图5为本实用新型激光整形反射镜的第一种应用实施例的示意图；

图6为本实用新型激光整形反射镜的第一种应用实施例的作为入射光的扩束后的高斯光束示意图；

图7为本实用新型本实用新型的激光整形反射镜的第一种应用实施例的光束与圆锥体锥面最初相交的截面(初交截面)即标注5所在位置光场分布图；

图8为本实用新型的激光整形反射镜的第一种应用实施例的光束与圆锥体锥面最初相交的截面(初交截面)即标注5所在位置径向r对应的光强分布；

图9为本实用新型的激光整形反射镜的第一种应用实施例的光束与圆锥体锥面最初相交的截面(初交截面)即标注5所在位置径向r对应的相位分布；

图10为图6的第一种应用实施例扩束后的高斯光束通过整形、聚焦输出贝塞尔光束轴上光强分布曲线；

图11为图10的贝塞尔光束轴上光强分布曲线中心横坐标或光强稳定处对应的截面光强分布曲线；

图12为本实用新型激光整形反射镜的第二种应用实施例的示意图。

附图中，1为第一平面反射镜，21为环形的圆弧状凹面，211为向内凹的圆弧段，22为菲涅尔面型，221为环状圆弧凹面，222为第一环形锯齿，223为第二环形锯齿，224为圆柱侧面，225为环状的弧形斜坡，226为锥形凸面，227为轴心线，228为虚线，3为第二平面反射镜，41为圆锥镜，42为圆台镜，5-初交截面，6-初交截面上中间光强对应的激光传输区域，7-初交截面上两端高斯下降光强对应的激光传输区域，8为贝塞尔光束区域，9为封装固定架。

具体实施方式

下面对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一

参见图1和图2，本实用新型提供一种激光整形反射镜，包括反射镜本体，所述反射镜本体的反射面为环形的圆弧状凹面21，反射镜本体上呈环形的圆弧状凹面的反射面用于将入射的激光光束整形成环状光场分布。

进一步地，环状光场分布在一设定的截面处为内外侧圆环光强为高斯函数的下降关系，中间光强为与径向半径成反比关系的光场分布，使得截面径向上中间光强对应半径范围内，每一点对应的无限小积分圆环面积上的能量相等，有利于获得轴向分布均匀的光场；设定的截面处径向的相位与中心相位差不超过2π。

进一步地，入射的激光光束经反射镜本体上呈环形的圆弧状凹面或与其等效的菲涅尔面型的反射面反射后在光束与输出聚焦镜设有的锥面最初相交的初交截面处形成一个环状的光场分布，出射光线由输出聚焦镜设有的锥面出射，在输出聚焦镜出射轴线方向设定范围内形成一个中心光斑大小和光强稳定的近似贝塞尔光束。

图2表明具有环形的圆弧状凹面的激光整形反射镜关于圆心的旋转对称性，结合图1的激光整形反射镜的中心轴向截面的示意图，可以清楚明了所述激光整形反射镜的结构。

进一步地，反射镜本体的反射面以其轴心线为旋转轴，由向内凹的圆弧段211旋转360度而成，形成环形的圆弧状凹面21；表明具有环形的圆弧状凹面的反射镜关于轴心的对称性。向内凹的圆弧段一端的端头延伸至反射镜本体中心，另一端的端头延伸至反射镜本体的该端面最外缘，使反射镜本体的反射面中心形成锥形凸面。锥形凸面的锥尖位于反射镜本体的轴心线上，锥尖到反射镜本体底面的轴向长度小于反射镜本体的轴向长度(即反射镜本体外圆柱面的轴向长度)。

实施例二

参见图3和图4，本实用新型提供一种激光整形反射镜，包括反射镜本体，所述反射镜本体的反射面为与实施例一的环形的圆弧状凹面等效的菲涅尔面型22，反射镜本体呈与环形的圆弧状凹面等效的菲涅尔面型22的反射面用于将入射的激光光束整形成环状光场分布。

如图3所示为本实用新型具有等效菲涅尔反射面的激光整形反射镜的中心轴向截面的示意图，表明等效菲涅尔反射镜关于轴心的对称性。

图4表明具有等效菲涅尔反射面的激光整形反射镜关于该图圆心的旋转对称性，结合图3具有等效菲涅尔反射面的激光整形反射镜的轴向截面的结构示意图，可以清楚明了具有等效菲涅尔反射面的激光整形反射镜的结构。

进一步地，反射镜本体的反射面上设有环状的圆弧凹面221，以及分别位于环状圆弧凹面221内侧的第一环形锯齿222和位于环状圆弧凹面221外侧的第二环形锯齿223，位于环状圆弧凹面内侧的第一环形锯齿的内侧面为圆柱侧面224，其与反射镜本体同轴心线，位于环状圆弧凹面内侧的第一环形锯齿的外侧面为环状的弧形斜坡225，使位于环状圆弧凹面内侧的各个第一环形锯齿的尖端指向内侧且使反射镜本体的反射面中心形成一个锥形凸面226；位于环状圆弧凹面外侧的第二环形锯齿的外侧面为圆柱侧面，其与反射镜本体同轴心线，位于环状圆弧凹面外侧的第二环形锯齿的内侧面为环状的弧形斜坡，使位于环状圆弧凹面外侧的各个第二环形锯齿的尖端指向外侧，形成与环形的圆弧状凹面21等效的菲涅尔面型22。

第一环形锯齿的圆柱侧面、第二环形锯齿的圆柱侧面对应的轴端均齐平。

环状的圆弧凹面221的内侧面与外侧面均为圆柱侧面。

本实施例锯齿的数量根据需要设定，并满足以下对称要求。且虚线228与轴心线227之间的锯齿总是比虚线228下面对应部分锯齿少，这是由图1的环形的圆弧状凹面的反射面决定的。

从具有等效菲涅尔反射面的激光整形反射镜的过中心的轴向截面看即图3上看，图3关于轴心线227对称，且虚线228与轴心线227之间的图形与虚线228下面对应部分图形关于虚线228对称。

实施例三

本实施例提供一种激光整形装置，包括第一平面反射镜1、第二平面反射镜3以及激光整形反射镜，所述第一平面反射镜用于接收入射激光束并反射至激光整形反射镜，所述激光整形反射镜设置在第一平面反射镜的出光光路上，用于接收第一平面反射镜的出射光线并反射至第二平面反射镜，所述第二平面反射镜设置在激光整形反射镜的出光光路上，用于接收激光整形反射镜的出射光线并反射，调整经激光整形反射镜整形后产生的环状光场分布的出射方向。

进一步地，第一平面反射镜的出射光线小角度入射激光整形反射镜。

进一步地，第一平面反射镜、第二平面反射镜沿激光入射方向依次设置，第一平面反射镜的入射光轴、第二平面反射镜的出射光轴位于同一直线上，且与激光整形反射镜的轴心线垂直。

进一步地，所述第一平面反射镜、第二平面反射镜、激光整形反射镜分别固定在封装固定架9上。

实施例四

本实施例公开了实施例一的一种应用实施例，本实施例提供的激光聚焦装置的示意图如图5所示，激光聚焦装置由第一平面反射镜1、具有环形的圆弧状凹面21的激光整形反射镜、第二平面反射镜3、圆锥镜41构成，入射激光束经过第一平面反射镜反射后小角度入射到具有环形的圆弧状凹面的凹面反射镜上，经过具有环形的圆弧状凹面的凹面反射镜反射，再由第二平面反射镜反射后，进入圆锥镜，由圆锥侧面出射。根据光束聚焦要求，计算聚焦装置内的光场分布范围，计算加工圆锥体的底角大小，匹配圆锥体材料折射率，按要求加工成所述圆锥体，尤其是按高精度要求加工输出圆锥面。

在第一平面反射镜的激光入射方向设置可调倍率扩束装置，用于将激光器的出射激光进行扩束后出射给第一平面反射镜。根据需要调节扩束倍率，使扩束后的高斯光束的发散角更小，减小经过各个反射镜光束发散角变大的影响。扩束后的高斯光束作为本装置的入射光入射到第一平面反射镜。

如图6所示为作为入射光的扩束后的高斯光束示意图，所述高斯光束轴线与第一平面反射镜的光轴在一条直线上。根据光束聚焦要求，高斯光束的能量和光斑大小与之匹配。所述高斯光束作为激光聚焦装置的入射光入射第一平面反射镜。

图7为光束与圆锥体锥面最初相交的截面(初交截面)即标注5所在位置光场分布图，表明入射的扩束后的高斯光束经过第一平面反射镜、具有环形的圆弧状凹面的凹面反射镜和第二平面反射镜的光束整形和传输的效果，在初交截面形成环状光场分布，其中阴影表示光通过的区域，线状阴影即标注7代表径向光强高斯下降区域，网状阴影即标注6代表径向光强线性下降区域。

图8为光束与圆锥体锥面最初相交的截面(初交截面)即标注5所在位置径向r对应的光强分布，初交截面的环状光场分布为两端光强为高斯函数的下降关系，中间光强为与径向(垂直轴向)半径成反比关系的光场分布，使得初交截面径向上中间光强对应半径范围内，每一点对应的无限小积分圆环面积上的能量相等，有利于获得轴向分布均匀的光场。线状阴影代表径向光强高斯下降区域即初交截面上两端高斯下降光强对应的激光传输区域7，网状阴影代表径向光强线性下降区域即初交截面上中间光强对应的激光传输区域6。

图9为光束与圆锥体锥面最初相交的截面(初交截面)即标注5所在位置径向r对应的相位分布，所述初交截面处径向的相位与中心相位差不超过2π。中心指的是，图8径向r对称网格阴影的中心。

在初交截面处形成如图7所述的环状光场分布如图8所述的光强分布和如图9所述的相位分布的激光经过出射端圆锥面出射后，在圆锥镜光轴方向设定范围(距离锥尖[9.75-10.25mm])形成一个中心光斑大小和光强相对稳定的近似贝塞尔光束，标注8为贝塞尔光束区域。所述出射锥面实际起到了聚焦效果。所述贝塞尔光束的轴上光强分布曲线如图10所示，轴上光强分布曲线的两端光强为高斯函数的下降关系，中间光强相对稳定基本不变。图8和图10的两端光强为高斯函数的下降关系，下降点一一对应。

图11为图10所述贝塞尔光束轴上光强分布曲线中心横坐标或光强稳定处对应的截面光强分布曲线，图上左右对称的第一过零点对应所述贝塞尔光束的直径，所述贝塞尔光束的轴上光强在0.5mm间隔范围内基本不变，在此范围内，其中心光斑大小也相对稳定，直径约为2um。

实施例五

本实施例公开了实施例二的一种应用实施例，本实施例提供的激光聚焦装置的示意图如图12所示，激光聚焦装置由第一平面反射镜1、具有与环形的圆弧状凹面等效的菲涅尔面型22的整形反射镜、第二平面反射镜3、圆台镜42构成，入射激光束经过第一平面反射镜反射后小角度入射到等效菲涅尔反射镜上，经过等效菲涅尔反射镜反射，再由第二平面反射镜反射后，进入圆台镜，由圆台侧面出射。所述的激光聚焦装置，根据光束聚焦要求，计算聚焦装置内的光场分布范围，计算加工圆台体的底角大小，匹配圆台体材料折射率，按要求加工成所述圆台体，尤其是按高精度要求加工成输出圆台侧面。

实施例五的光路，聚焦装置以及出射后的贝塞尔工作区各个截面上的光场分布以及光强分布都与实施例四相一致，相比实施例四，实施例五中区别在于，具有环形的圆弧状凹面的凹面反射镜变为等效菲涅尔反射镜，出射圆锥镜变成了圆台镜。所述圆台镜可以看作实施例一中的圆锥镜在光束与圆锥体锥面最末相交的截面(末交截面)处截断。在圆台镜上底面即所述末交截面处放置遮光材料遮挡杂光，在圆台侧面的非工作区域放置遮光材料遮挡杂光。相比实施例四，降低了高精度输出面加工成本，减轻了重量，减少了杂光。且相比采用实施例一的具有环形的圆弧状凹面的凹面反射镜，采用实施例二的等效菲涅尔反射镜更加节省原料，易于加工，降低成本。

总体而言，本实用新型通过设计激光整形反射镜及激光整形装置，入射激光束经过第一平面反射镜反射后小角度入射到具有环形的圆弧状凹面的凹面反射镜或等效菲涅尔反射镜上，经过具有环形的圆弧状凹面的凹面反射镜或等效菲涅尔反射镜反射，再由第二平面反射镜反射后，进入输出圆锥镜或圆台镜，在锥面5初交截面处形成所述环状的光场分布，经过出射端圆锥面或圆台侧面出射后，在圆锥镜或圆台镜光轴方向设定范围内形成一个中心光斑大小和光强相对稳定的近似贝塞尔光束，借此，本发明能够增大能量利用率低，且稳定聚焦范围内输出近似贝塞尔光束中心光斑大小和光强，以利于进行激光微加工，尤其是对大深径比材料的激光微加工。

当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种激光整形反射镜，其特征在于：包括反射镜本体，所述反射镜本体的反射面为环形的圆弧状凹面或与其等效的菲涅尔面型，反射镜本体上呈环形的圆弧状凹面或与其等效的菲涅尔面型的反射面用于将入射的激光光束整形成环状光场分布。

2.根据权利要求1所述的激光整形反射镜，其特征在于：环状光场分布在一设定的截面处为内外侧圆环光强为高斯函数的下降关系，中间光强为与径向半径成反比关系的光场分布，使得截面径向上中间光强对应半径范围内，每一点对应的无限小积分圆环面积上的能量相等，有利于获得轴向分布均匀的光场；设定的截面处径向的相位与中心相位差不超过2π。

3.根据权利要求2所述的激光整形反射镜，其特征在于：入射的激光光束经反射镜本体上呈环形的圆弧状凹面或与其等效的菲涅尔面型的反射面反射后在光束与输出聚焦镜设有的锥面最初相交的初交截面处形成一个环状的光场分布，出射光线由输出聚焦镜设有的锥面出射，在输出聚焦镜出射轴线方向设定范围内形成一个中心光斑大小和光强稳定的近似贝塞尔光束。

4.根据权利要求1所述的激光整形反射镜，其特征在于：反射镜本体的反射面以其轴心线为旋转轴，由向内凹的圆弧段(211)旋转360度而成，形成环形的圆弧状凹面；向内凹的圆弧段一端的端头延伸至反射镜本体中心，另一端的端头延伸至反射镜本体的该端面最外缘。

5.根据权利要求1所述的激光整形反射镜，其特征在于：反射镜本体的反射面上设有环状的圆弧凹面(221)，以及分别位于环状圆弧凹面(221)内侧的第一环形锯齿(222)和位于环状圆弧凹面(221)外侧的第二环形锯齿(223)，位于环状圆弧凹面内侧的第一环形锯齿的内侧面为圆柱侧面(224)，其与反射镜本体同轴心线，位于环状圆弧凹面内侧的第一环形锯齿的外侧面为环状的弧形斜坡(225)，使反射镜本体的反射面中心形成一个锥形凸面(226)；位于环状圆弧凹面外侧的第二环形锯齿的外侧面为圆柱侧面，其与反射镜本体同轴心线，位于环状圆弧凹面外侧的第二环形锯齿的内侧面为环状的弧形斜坡，形成与环形的圆弧状凹面(21)等效的菲涅尔面型(22)。

6.一种激光整形装置，其特征在于：包括第一平面反射镜、第二平面反射镜以及权利要求1至5任一所述的激光整形反射镜，所述第一平面反射镜用于接收入射激光束并反射至激光整形反射镜，所述激光整形反射镜设置在第一平面反射镜的出光光路上，用于接收第一平面反射镜的出射光线并反射至第二平面反射镜，所述第二平面反射镜设置在激光整形反射镜的出光光路上，用于接收激光整形反射镜的出射光线并反射，调整经激光整形反射镜整形后产生的环状光场分布的出射方向。

7.根据权利要求6所述的激光整形装置，其特征在于：第一平面反射镜的出射光线小角度入射激光整形反射镜。

8.根据权利要求6所述的激光整形装置，其特征在于：第一平面反射镜、第二平面反射镜沿激光入射方向依次设置，第一平面反射镜的入射光轴、第二平面反射镜的出射光轴位于同一直线上，且与激光整形反射镜的轴心线垂直。

9.根据权利要求6或8所述的激光整形装置，其特征在于：所述第一平面反射镜、激光整形反射镜、第二平面反射镜分别固定在封装固定架上。