CN209542430U - 微型紫外吸收大气臭氧传感器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种微型紫外吸收大气臭氧传感器，其包括臭氧流动通道、零气流动通道、紫外点光源以及用于控制臭氧含量测量状态的测量控制器；紫外点光源产生的紫外光线能导入臭氧流动通道以及零气流动通道内，含有臭氧的空气在臭氧流动通道内流动时，能对导入臭氧流动通道的紫外光线进行吸收，且能向测量控制器传输臭氧通道紫外光强信号；零气在零气流动通道内流动后，能向测量控制器传输零气通道紫外光强信号，测量控制器根据臭氧通道紫外光强信号与零气通道紫外光强信号的差值能确定臭氧含量。本实用新型通过测量大气臭氧对紫外线的吸收衰减实现对臭氧含量的测量，测量精度高，抗干扰能力强，适应范围广。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种传感器，尤其是一种微型紫外吸收大气臭氧传感器，具体地是用于大气臭氧含量监测的臭氧传感器，属于大气环境监测的技术领域。
背景技术
臭氧是地球大气的一种重要气体，也是大气化学的核心物质。大气臭氧及其相关变化对全球气候和大气环境产生重要影响，是大气科学的前沿研究之一。臭氧主要分布在10-50km高度范围内的平流层大气中，极大值位于20-30km高度之间。平流层臭氧可以吸收对人体有害的太阳短波紫外线，是地球的保护伞。臭氧对太阳紫外辐射的吸收是平流层的主要热源，臭氧浓度和垂直分布直接影响平流层的温度结构，从而对大气环流和地球气候产生影响。对流层臭氧是大气重要污染物之一，大气臭氧污染已成为我国一种普遍而又较难处理的大气污染，高浓度臭氧会对公众健康、农业生产和生态环境产生危害。
鉴于大气臭氧在地气系统中的重要作用，需要研发臭氧探测传感器进行大气臭氧监测，用于准确掌握平流层和对流层区域内大气臭氧的长期变化趋势和短期变化特征。臭氧复杂多变，其在垂直方向上的分布变化特征对大气物理、化学和动力过程研究都至关重要。当前臭氧总量的全球分布和长期变化已拥有较为可靠的地基和卫星观测仪器，相比之下，全球尺度上的臭氧垂直廓线探测还存在不足，这与可适用于高空观测的小型臭氧探测传感器较为匮乏有关。因此，亟需研发微型臭氧探测传感器，这对气候变化、大气环境和生态平衡等相关研究具有重要意义。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种微型紫外吸收大气臭氧传感器，其结构简单紧凑，通过测量大气臭氧对紫外线的吸收衰减实现对臭氧含量的测量，测量精度高，抗干扰能力强，适应范围广，安全可靠。
按照本实用新型提供的技术方案，所述微型紫外吸收大气臭氧传感器，包括提供含臭氧的空气流动的臭氧流动通道、提供零气流动的零气流动通道、用于提供紫外光线的紫外点光源以及用于控制臭氧含量测量状态的测量控制器；
紫外点光源产生的紫外光线能导入臭氧流动通道以及零气流动通道内，含有臭氧的空气在臭氧流动通道内流动时，能对导入臭氧流动通道的紫外光线进行吸收，且能向测量控制器传输臭氧通道紫外光强信号；零气在零气流动通道内流动时，能向测量控制器传输零气通道紫外光强信号，测量控制器根据臭氧通道紫外光强信号与零气通道紫外光强信号的差值能确定臭氧含量。
所述臭氧流动通道包括设置于臭氧流动方向上的臭氧气体管路，在所述臭氧气体管路的一端设置臭氧通道紫外光线导入凸透镜，通过臭氧通道紫外光线导入凸透镜能将紫外点光源发射的紫外光线导入臭氧气体管路内，以使得含有臭氧的空气在臭氧气体管路内流动时能对紫外光线进行吸收，在臭氧气体管路的另一端设置用于将臭氧气体管路内的紫外光线导出的臭氧通道紫外光线导出凸透镜，在臭氧通道紫外光线导出凸透镜所导出紫外光线的光路上设置臭氧通道紫外光强接收器，所述臭氧通道紫外光强接收器与测量控制器电连接，通过臭氧通道紫外光强接收器能向测量控制器传输臭氧通道紫外光强信号。
所述零气流动通道包括设置于零气流动方向上的零气气体管路，在所述零气气体管路的一端设置零气通道紫外光线导入凸透镜，通过零气通道紫外光线导入凸透镜能将紫外点光源发射的紫外光线导入零气气体管路内；在零气气体管路的另一端设置用于将零气气体管路内的紫外光线导出的零气通道紫外光线导出凸透镜，在零气通道紫外光线导出凸透镜所导出紫外光线的光路上设置零气通道紫外光强接收器；所述零气通道紫外光强接收器与测量控制器电连接，通过零气通道紫外光强接收器能向测量控制器传输零气通道紫外光强信号。
臭氧通道紫外光线导入凸透镜与臭氧通道紫外光线导出凸透镜之间的距离为L，且零气通道紫外光线导入凸透镜与零气通道紫外光线导出凸透镜之间的距离为L；紫外光线进入臭氧气体管路内的入射角度为θ，且紫外光线进入零气气体管路内的入射角度为θ。
所述紫外点光源为发射波长为254nm的激光二极管紫外点光源；所述紫外点光源设置于臭氧通道紫外光线导入凸透镜、零气通道紫外光线导入凸透镜所对应的焦点处。
所述臭氧流动通道还包括用于提供含有臭氧的空气流动动力的臭氧通道气泵，所述臭氧通道气泵与测量控制器电连接，且臭氧通道紫外光线导入凸透镜、臭氧通道紫外光线导出凸透镜、臭氧通道气泵依次设置于含有臭氧的空气的流动方向上。
在臭氧通道紫外光线导出凸透镜与臭氧通道气泵之间还设置有臭氧通道温度传感器、臭氧通道气体流量传感器以及臭氧通道气压传感器，所述臭氧通道温度传感器、臭氧通道气体流量传感器以及臭氧通道气压传感器均与测量控制器电连接。
所述零气流动通道还包括用于提供零气流动动力的零气通道气泵以及用于过滤臭氧的臭氧过滤器，零气气体管路位于臭氧过滤器与零气通道气泵之间，且臭氧过滤器、零气通道紫外光线导入凸透镜、零气通道紫外光线导出凸透镜以及零气通道气泵依次设置于零气流动的方向上。
在零气通道紫外光线导出凸透镜与零气通道气泵之间还设有零气通道温度传感器、零气通道气体流量传感器以及零气通道气压传感器，所述零气通道温度传感器、零气通道气体流量传感器以及零气通道气压传感器均与测量控制器电连接。
臭氧气体管路、零气气体管路相对应的内壁上均镀有铝膜。
本实用新型的优点：紫外点光源产生的紫外光线能导入臭氧流动通道以及零气流动通道内，含有臭氧的空气在臭氧流动通道内流动时，能对导入臭氧流动通道的紫外光线进行吸收，且能向测量控制器传输臭氧通道紫外光强信号；零气在零气流动通道内流动时，能向测量控制器传输零气通道紫外光强信号，测量控制器根据臭氧通道紫外光强信号与零气通道紫外光强信号的差值能确定臭氧含量，通过测量大气臭氧对紫外线的吸收衰减实现对臭氧含量的测量，测量精度高，抗干扰能力强，可用于室内外近地面大气臭氧含量探测，也可由探空气球或系留气艇携带升空进行大气臭氧垂直廓线观测，安全可靠。
附图说明
图1为本实用新型的原理图。
图2为本实用新型紫外光线在臭氧气体管路内的传播示意图。
图3为本实用新型的框图。
附图标记说明：1-进气总管、2-臭氧流通管道、3-臭氧通道紫外光线导入凸透镜、4-臭氧气体管路、5-臭氧通道紫外光线导出凸透镜、6-臭氧通道紫外光强接收器、7-臭氧通道温度传感器、8-臭氧通道气体流量传感器、9-臭氧通道气压传感器、10-臭氧通道气泵、11-排气总管、12-紫外点光源、13-臭氧过滤器、14-零气流通管道、15-零气通道紫外光线导入凸透镜、16-零气气体管路、17-零气通道紫外光线导出凸透镜、18-零气通道紫外光强接收器、19-零气通道温度传感器、20-零气通道气体流量传感器、21-零气通道气压传感器、22-零气通道气泵以及23-测量控制器。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
如图1和图3所示：为了通过测量大气臭氧对紫外线的吸收衰减实现对臭氧含量的测量，提高测量精度和抗干扰能力，本实用新型包括提供含臭氧的空气流动的臭氧流动通道、提供零气流动的零气流动通道、用于提供紫外光线的紫外点光源12以及用于控制臭氧含量测量状态的测量控制器23。
紫外点光源12产生的紫外光线能导入臭氧流动通道以及零气流动通道内，含有臭氧的空气在臭氧流动通道内流动时，能对导入臭氧流动通道的紫外光线进行吸收，且能向测量控制器23传输臭氧通道紫外光强信号；零气在零气流动通道内流动时，能向测量控制器23传输零气通道紫外光强信号，测量控制器23根据臭氧通道紫外光强信号与零气通道紫外光强信号的差值能确定臭氧含量。
具体地，含有臭氧的空气能在臭氧流动通道内流动，不含有臭氧的零气能在零气流动通道内流动，含有臭氧的空气在臭氧流动通道内为单向流动，且零气在零气流动通道内也为单向流动。测量控制器23可以采用常用的微处理芯片，测量控制器23的具体形式可以根据需要进行选择，此处不再赘述。紫外点光源12可与测量控制器23连接，当紫外点光源12与测量控制器23电连接后，通过测量控制器23能控制紫外点光源12的工作状态。
紫外点光源12工作发射的紫外光线能同时进入臭氧流动通道以及零气流动通道内，当含有臭氧的空气在臭氧流动通道内流动时，能对进入臭氧流动通道内的紫外光线进行吸收，从而测量控制器23能得到臭氧流通通道紫外光强信号。而进入零气流通通道内的紫外光线不会被零气吸收，从而通过零气流动通道能得到零气通道紫外光强信号，测量控制器23根据臭氧通道紫外光强信号与零气通道紫外光强信号的差值(即为臭氧吸收紫外光贡献)能确定对臭氧含量的测量，即通过测量大气臭氧对紫外线的吸收衰减实现对臭氧含量的测量，提高测量精度和抗干扰能力。具体使用时，可用于室内外近地面大气臭氧含量探测，也可由探空气球或系留气艇携带升空进行大气臭氧垂直廓线观测。
进一步地，所述臭氧流动通道包括设置于臭氧流动方向上的臭氧气体管路4，在所述臭氧气体管路4的一端设置臭氧通道紫外光线导入凸透镜3，通过臭氧通道紫外光线导入凸透镜3能将紫外点光源12发射的紫外光线导入臭氧气体管路4内，以使得含有臭氧的空气在臭氧气体管路4内流动时能对紫外光线进行吸收，在臭氧气体管路4的另一端设置用于将臭氧气体管路4内的紫外光线导出的臭氧通道紫外光线导出凸透镜5，在臭氧通道紫外光线导出凸透镜5所导出紫外光线的光路上设置臭氧通道紫外光强接收器6，所述臭氧通道紫外光强接收器6与测量控制器23电连接，通过臭氧通道紫外光强接收器6能向测量控制器23传输臭氧通道紫外光强信号。
所述零气流动通道包括设置于零气流动方向上的零气气体管路16，在所述零气气体管路16的一端设置零气通道紫外光线导入凸透镜15，通过零气通道紫外光线导入凸透镜15能将紫外点光源12发射的紫外光线导入零气气体管路16内；在零气气体管路16的另一端设置用于将零气气体管路16内的紫外光线导出的零气通道紫外光线导出凸透镜17，在零气通道紫外光线导出凸透镜17所导出紫外光线的光路上设置零气通道紫外光强接收器18；所述零气通道紫外光强接收器18与测量控制器23电连接，通过零气通道紫外光强接收器18能向测量控制器23传输臭氧通道紫外光强信号。
臭氧通道紫外光线导入凸透镜3与臭氧通道紫外光线导出凸透镜5之间的距离为L，且零气通道紫外光线导入凸透镜15与零气通道紫外光线导出凸透镜17之间的距离为L；紫外光线进入臭氧气体管路4内的入射角度为θ，且紫外光线进入零气气体管路16内的入射角度为θ；
测量控制器23确定臭氧含量的关系为：
其中，为臭氧浓度(ppm)；P为臭氧通道紫外光强信号；P0为零气通道紫外光强信号；σ为臭氧分子吸收系数(0℃和1个大气压下为308cm-1)。
本实用新型实施例中，所述紫外点光源12为发射波长为254nm的激光二极管紫外点光源；所述紫外点光源12设置于臭氧通道紫外光线导入凸透镜3、零气通道紫外光线导入凸透镜15所对应的焦点处。具体实施时，臭氧对254nm波段的紫外光线吸收最强，即紫外点光源12选用254nm的激光二极管紫外点光源。
通过臭氧通道紫外光线导入凸透镜3能将紫外点光源12发射的光束变成平行光束并导入臭氧气体管路4内，紫外光束在臭氧气体管路4内前行后，通过臭氧通道紫外光线导出凸透镜5能将被臭氧吸收的光线导出，以便由臭氧通道紫外光强接收器6接收，并将臭氧通道紫外光强信号传输至测量控制器23内。臭氧通道紫外光线导入凸透镜3、臭氧通道紫外光线导出凸透镜5具体对紫外光线的会聚的导入与导出过程为本技术领域人员所熟知，此处不再赘述。
具体实施时，为了满足含有臭氧的空气流动，整个臭氧流动通道还包括臭氧流通管道2，臭氧气体管路4与所述臭氧流通管道2连通，即含有臭氧的空气能在臭氧流通管道2以及臭氧气体管路4内流动。通过控制臭氧通道紫外光线导入凸透镜3、臭氧通道紫外光线导出凸透镜5在臭氧气体管路4腔壁的安装角度，可以控制紫外平行光束的入射角度，进而控制平行光束的反射次数，最终控制平行光束在臭氧气体管路4内的行程。假设入射角度为θ，臭氧通道紫外光线导入凸透镜3、臭氧通道紫外光线导出凸透镜5之间的距离为L，则光束行程为为保证有效的臭氧含量探测，需要提供一定的紫外光行程。本实用新型采用紫外光倾斜入射，紫外光在臭氧气体管路4内腔多次反射，使得在较短的气体管路长度下，能够提供足够的紫外光行程。从而有利于小型化，如图2所示。
臭氧气体管路4、零气气体管路16相对应的内壁上均镀有铝膜，通过高反射的铝膜减少臭氧气体管路4、零气气体管路16相应内腔对紫外光束的吸收衰减，提高臭氧含量的测量精度。本实用新型实施例中，臭氧气体管路4、零气气体管路16均为长方体状的管路，臭氧气体管路4、零气气体管路16具有相同的特征参数，臭氧气体管路4、零气气体管路16的内腔为边长小于2cm的正方形，臭氧气体管路4、零气气体管路16的长度小于10cm。
具体实施时，零气流动通道内零气气体管路16、零气通道紫外光线导入凸透镜15、零气通道紫外光线导出凸透镜17的情况可以参考上述臭氧流动通道的说明，零气流动通道与臭氧流动通道之间的区别仅仅为流动的气体不同，零气流动通道的工作原理等与臭氧流动通道相一致，零气流动通道的具体原理可以参考臭氧流动通道的说明，此处不再赘述。
本实用新型实施例中，测量控制器23在接收到臭氧通道紫外光强信号、零气通道紫外光强信号后，根据朗伯比尔定律能得到臭氧含量的关系，即当紫外点光源12发射的为254nm的紫外光线时，σ为臭氧在254nm的分子吸收系数(0℃和1个大气压下为308cm-1)。
进一步地，所述臭氧流动通道还包括用于提供含有臭氧的空气流动动力的臭氧通道气泵10，所述臭氧通道气泵10与测量控制器23电连接，且臭氧通道紫外光线导入凸透镜3、臭氧通道紫外光线导出凸透镜5、臭氧通道气泵10依次设置于含有臭氧的空气的流动方向上。
本实用新型实施例中，在臭氧通道紫外光线导出凸透镜5与臭氧通道气泵10之间还设置有臭氧通道温度传感器7、臭氧通道气体流量传感器8以及臭氧通道气压传感器9，所述臭氧通道温度传感器7、臭氧通道气体流量传感器8以及臭氧通道气压传感器9均与测量控制器23电连接。
臭氧通道紫外光强接收器6位于臭氧通道紫外光线导出凸透镜5的焦点处，臭氧通道紫外光强接收器6可以为光电二极管，通过臭氧通道紫外光强接收器6来探测紫外光强的过程等为本技术领域人员所熟知，此处不再赘述。臭氧通道气压传感器9可以采用微型的气压传感器，通过臭氧通道气压传感器9能监测臭氧流通管道2内的气体压力。臭氧通道温度传感器7采用微型珠状温度传感器，通过臭氧通道温度传感器7能监测臭氧流通管道2内气体的温度。通过臭氧通道气体流量传感器8能监测臭氧流通管道2内气体的流量。
进一步地，所述零气流动通道还包括用于提供零气流动动力的零气通道气泵22以及用于过滤臭氧的臭氧过滤器13，零气气体管路16位于臭氧过滤器13与零气通道气泵22之间，且臭氧过滤器13、零气通道紫外光线导入凸透镜15、零气通道紫外光线导出凸透镜17以及零气通道气泵22依次设置于零气流动的方向上。
本实用新型实施例中，在零气通道紫外光线导出凸透镜17与零气通道气泵22之间还设有零气通道温度传感器19、零气通道气体流量传感器20以及零气通道气压传感器21，所述零气通道温度传感器19、零气通道气体流量传感器20以及零气通道气压传感器21均与测量控制器23电连接。
与臭氧流动通道类似，零气通道温度传感器19监测零气流动通道内气体的温度；零气通道气体流量传感器20监测检测零气通道内气体的流量；零气通道气压传感器21监测零气通道内气体的压力。理论上，臭氧流动通道和零气流动通道内的上述各个监测值应该分别一致或相等，相互可以提供对比参照。此外，通过上述温度、气压测量，可以将臭氧浓度由体积浓度(ppm)换算成质量浓度(mg/m-3)。
臭氧通道气泵10抽动含有臭氧的空气强制流过臭氧流动通道，零气通道气泵22抽动不含有臭氧的零气强制流过臭氧流动通道。两者同时工作，且经过实验室调试、测试，具备一致或者相当的抽气效率。
具体实施时，为了满足零气的流动，整个零气流动通道还包括零气流通管道14，零气气体管路16与零气流通道管14连通，零气通道温度传感器19、零气通道气体流量传感器20、零气通道气压传感器21与零气通道气泵22均设置于零气流通管道14上。零气流通管道14、臭氧流通管道2均与进气总管1连接并连通，通过臭氧过滤器13能对臭氧进行过滤，从而得到进入零气流动通道的零气。通过零气通道气泵22能提供零气流动的动力，零气通道气泵22与臭氧过滤器13分别位于零气流通管道14的两端部。零气通道气泵22、臭氧通道气泵10的排气口与排气总管11连接并连通。零气通道温度传感器19、零气通道气体流量传感器20、零气通道气压传感器21、零气通道气泵22的具体作用以及配合关系等均可参考臭氧通道温度传感器7、臭氧通道气体流量传感器8、臭氧通道气压传感器9、臭氧通道气泵10等的相关说明，此处不再赘述。
Claims (9)
1.一种微型紫外吸收大气臭氧传感器，其特征是：包括提供含臭氧的空气流动的臭氧流动通道、提供零气流动的零气流动通道、用于提供紫外光线的紫外点光源(12)以及用于控制臭氧含量测量状态的测量控制器(23)；
紫外点光源(12)产生的紫外光线能导入臭氧流动通道以及零气流动通道内，含有臭氧的空气在臭氧流动通道内流动时，能对导入臭氧流动通道的紫外光线进行吸收，且能向测量控制器(23)传输臭氧通道紫外光强信号；零气在零气流动通道内流动时，能向测量控制器(23)传输零气通道紫外光强信号，测量控制器(23)根据臭氧通道紫外光强信号与零气通道紫外光强信号的差值能确定臭氧含量。
2.根据权利要求1所述的微型紫外吸收大气臭氧传感器，其特征是：所述臭氧流动通道包括设置于臭氧流动方向上的臭氧气体管路(4)，在所述臭氧气体管路(4)的一端设置臭氧通道紫外光线导入凸透镜(3)，通过臭氧通道紫外光线导入凸透镜(3)能将紫外点光源(12)发射的紫外光线导入臭氧气体管路(4)内，以使得含有臭氧的空气在臭氧气体管路(4)内流动时能对紫外光线进行吸收，在臭氧气体管路(4)的另一端设置用于将臭氧气体管路(4)内的紫外光线导出的臭氧通道紫外光线导出凸透镜(5)，在臭氧通道紫外光线导出凸透镜(5)所导出紫外光线的光路上设置臭氧通道紫外光强接收器(6)，所述臭氧通道紫外光强接收器(6)与测量控制器(23)电连接，通过臭氧通道紫外光强接收器(6)能向测量控制器(23)传输臭氧通道紫外光强信号。
3.根据权利要求2所述的微型紫外吸收大气臭氧传感器，其特征是：所述零气流动通道包括设置于零气流动方向上的零气气体管路(16)，在所述零气气体管路(16)的一端设置零气通道紫外光线导入凸透镜(15)，通过零气通道紫外光线导入凸透镜(15)能将紫外点光源(12)发射的紫外光线导入零气气体管路(16)内；在零气气体管路(16)的另一端设置用于将零气气体管路(16)内的紫外光线导出的零气通道紫外光线导出凸透镜(17)，在零气通道紫外光线导出凸透镜(17)所导出紫外光线的光路上设置零气通道紫外光强接收器(18)；所述零气通道紫外光强接收器(18)与测量控制器(23)电连接，通过零气通道紫外光强接收器(18)能向测量控制器(23)传输零气通道紫外光强信号；
臭氧通道紫外光线导入凸透镜(3)与臭氧通道紫外光线导出凸透镜(5)之间的距离为L，且零气通道紫外光线导入凸透镜(15)与零气通道紫外光线导出凸透镜(17)之间的距离为L；紫外光线进入臭氧气体管路(4)内的入射角度为θ，且紫外光线进入零气气体管路(16)内的入射角度为θ。
4.根据权利要求3所述的微型紫外吸收大气臭氧传感器，其特征是：所述紫外点光源(12)为发射波长为254nm的激光二极管紫外点光源；所述紫外点光源(12)设置于臭氧通道紫外光线导入凸透镜(3)、零气通道紫外光线导入凸透镜(15)所对应的焦点处。
5.根据权利要求2所述的微型紫外吸收大气臭氧传感器，其特征是：所述臭氧流动通道还包括用于提供含有臭氧的空气流动动力的臭氧通道气泵(10)，所述臭氧通道气泵(10)与测量控制器(23)电连接，且臭氧通道紫外光线导入凸透镜(3)、臭氧通道紫外光线导出凸透镜(5)、臭氧通道气泵(10)依次设置于含有臭氧的空气的流动方向上。
6.根据权利要求5所述的微型紫外吸收大气臭氧传感器，其特征是：在臭氧通道紫外光线导出凸透镜(5)与臭氧通道气泵(10)之间还设置有臭氧通道温度传感器(7)、臭氧通道气体流量传感器(8)以及臭氧通道气压传感器(9)，所述臭氧通道温度传感器(7)、臭氧通道气体流量传感器(8)以及臭氧通道气压传感器(9)均与测量控制器(23)电连接。
7.根据权利要求1所述的微型紫外吸收大气臭氧传感器，其特征是：所述零气流动通道还包括用于提供零气流动动力的零气通道气泵(22)以及用于过滤臭氧的臭氧过滤器(13)，零气气体管路(16)位于臭氧过滤器(13)与零气通道气泵(22)之间，且臭氧过滤器(13)、零气通道紫外光线导入凸透镜(15)、零气通道紫外光线导出凸透镜(17)以及零气通道气泵(22)依次设置于零气流动的方向上。
8.根据权利要求7所述的微型紫外吸收大气臭氧传感器，其特征是：在零气通道紫外光线导出凸透镜(17)与零气通道气泵(22)之间还设有零气通道温度传感器(19)、零气通道气体流量传感器(20)以及零气通道气压传感器(21)，所述零气通道温度传感器(19)、零气通道气体流量传感器(20)以及零气通道气压传感器(21)均与测量控制器(23)电连接。
9.根据权利要求3所述的微型紫外吸收大气臭氧传感器，其特征是：臭氧气体管路(4)、零气气体管路(16)相对应的内壁上均镀有铝膜。
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| CN109490213A (zh) * | 2018-12-14 | 2019-03-19 | 中国科学院大气物理研究所 | 微型紫外吸收大气臭氧传感器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20191025 Termination date: 20201214 |
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