CN209525557U - 一种光纤耦合连接件及用于光刻机的曝光系统的照明光路 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种光纤耦合连接件，包括光纤插头，光纤插头内设有一光纤插头出光孔，还包括套装在光纤插头上的接头锁紧件，接头锁紧件的内圈和光纤插头的外表面上分别设有环形卡块相互配合进行限位，光纤插头的后端设置有与光纤插头螺纹连接的光纤保护套，接头锁紧件的内圈上的环形卡块与光纤保护套配合对接头锁紧件进行限位，接头锁紧件内圈的前侧设有内螺纹,其结构简单，易于生产；且该连接件与后续的照明光路连接操作方便，可靠性高；可使激光光源的利用率达到非常高的水平，避免了光能量的不必要损失，确保曝光系统的DMD芯片的正常工作；同时本实用新型还提供了采用了该光纤耦合连接件的用于光刻机的曝光系统的照明光路。
Description
技术领域
本实用新型涉及直写式曝光机技术领域，具体涉及一种光纤耦合连接件及用于光刻机的曝光系统的照明光路。
背景技术
光刻技术是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图。这样的衬底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的基片。直写光刻技术以替代传统的掩膜版或菲林底片等曝光的影像直接转移技术，在半导体及PCB生产领域有着非常重要的作用。
直写式曝光机是通过曝光系统在衬底表面上印刷具有特征的构图，曝光系统采用DMD芯片， DMD芯片是由许多小型铝制反射镜面构成的,镜片的多少由显示分辨率决定,一个小镜片对应一个像素。DMD芯片需要照明光路提供光束，将光束投射到DMD芯片上,通过DMD芯片的像素级可控特性及其高速的翻转频率,再将光束依次投射到曝光镜头上在衬底表面上印刷具有特征的构图。
传统的光纤接头为圆形，DMD芯片需要的光的能量较高，需要接入较多激光光源，公开号为206557528U的中国实用新型专利提供了一种用于光纤并排排列的光线接头，然而其与照明光路安装连接不便，连接可靠性差，一旦发生松脱，会影响曝光系统的DMD芯片的正常工作，甚至烧坏DMD芯片。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型提供了一种光纤耦合连接件，其结构简单，易于生产；且该连接件与后续的照明光路连接操作方便，可靠性高；可使激光光源的利用率达到非常高的水平，避免了光能量的不必要损失，确保曝光系统的DMD芯片的正常工作，同时本实用新型还提供了采用了该光纤耦合连接件的用于光刻机的曝光系统的照明光路。
其技术方案是这样的：一种光纤耦合连接件，包括光纤插头，所述光纤插头上设有一光纤插头出光孔，其特征在于：还包括接头锁紧件，接头锁紧件套装在所述光纤插头上，所述接头锁紧件的内圈和所述光纤插头的外表面上分别设有环形卡块相互配合对所述接头锁紧件进行限位，所述光纤插头的后端设置有与所述光纤插头螺纹连接的光纤保护套，所述接头锁紧件的内圈上的环形卡块与光纤保护套配合对所述接头锁紧件进行限位，所述接头锁紧件内圈的前侧设有内螺纹。
进一步的，所述光纤插头出光孔呈椭圆形。
进一步的，所述光纤插头出光孔呈腰形孔状。
进一步的，椭圆形孔的光纤插头出光孔的尺寸：其长轴为0.5mm-8mm，短轴为0.15mm- 2.0mm。
进一步的，腰形孔状的光纤插头出光孔的尺寸：腰形孔中间的矩形的长边为0.35mm- 7.85mm，腰形孔两边的半圆的直径为0.15mm-2.0mm。
进一步的，所述光纤插头出光孔中排布有61-304根光纤。
进一步的，所述接头锁紧件上设置有防滑纹。
一种用于光刻机的曝光系统的照明光路，其特征在于：包括上述的光纤耦合连接件，来自光源发出的激光经所述光纤耦合连接件输入所述照明光路，所述光纤耦合连接件通过所述内螺纹连接光路壳体，所述光路壳体内顺序设置有聚焦镜、方棒、准直放大镜、反射镜片，激光经过所述聚焦镜聚集使得光束与所述方棒契合，再经所述准直放大镜放大后经所述反射镜片反射后投射到曝光系统的DMD芯片上。
进一步的，所述方棒端面的长宽比为1：1-5.95。
本实用新型的光纤耦合连接件具有以下优点：光纤耦合连接件设置有接头锁紧件，光纤耦合连接件通过接头锁紧件上的内螺纹连接光路壳体，其与照明光路安装连接方便，而且连接可靠性好，确保曝光系统的DMD芯片的正常工作；
现有的矩形光纤插口，排列在矩形孔的长边的边缘处、远离视场中心的光纤传输的光容易形成弥散斑被聚焦到方棒上，造成浪费光的能量，本实用新型的光纤耦合连接件的光纤插口设置成椭圆形或圆角矩形，在光纤插口长度相同的情况下，没有矩形孔长边处的直角，可以避免在矩形孔的边缘处布置光纤，减少光的能量浪费。
本实用新型用于光刻机的曝光系统的照明光路，由于方棒通常尺寸很小，故在方棒的前端设置聚焦镜头聚集使得光束与方棒契合，由于方棒较小从方棒出来的光由会过于聚集，从而设置准直放大镜再将光放大，使其满足曝光系统的DMD芯片的需求。
附图说明
图1为本实用新型的光纤耦合连接件的示意图；
图2为本实用新型的光纤耦合连接件的半剖图；
图3为其中一个实施例中的光纤耦合连接件的端面投影视图；
图4为另一个实施例中的光纤耦合连接件的端面投影视图；
图5为本实用新型的用于光刻机的曝光系统的照明光路的示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
见图1，图2，本实用新型的一种光纤耦合连接件100，包括光纤插头1，光纤插头1内设有一光纤插头出光孔2，光纤插头出光孔2中排布有61-304根光纤15，还包括接头锁紧件3，接头锁紧件3套装在光纤插头2上，接头锁紧件3的内圈和光纤插头1的外表面上分别设有环形卡块4相互配合对接头锁紧件进行限位，光纤插头1的后端设置有与光纤插头1螺纹连接的光纤保护套5，光纤保护套5与接头锁紧件3的内圈上的环形卡块4 配合对接头锁紧件3进行限位，接头锁紧件3内圈的前侧设有内螺纹，接头锁紧件3的外表面上设有防滑纹14，防滑纹14的设置能够方便安装光纤耦合连接件。
见图3，在一个实施例中，光纤插头出光孔2呈椭圆形，椭圆形孔的光纤插头出光孔的尺寸：其长轴为0.5mm-8mm，短轴为0.15mm-2.0mm。
见图4，在另一个实施例中，光纤插头出光孔2呈腰形孔状，腰形孔状的光纤插头出光孔的尺寸：腰形孔中间的矩形的长边为0.35mm-7.85mm，腰形孔两边的半圆的直径为0.15mm-2.0mm。
本实用新型的光纤耦合连接件，光纤耦合连接件设置有接头锁紧件，光纤耦合连接件通过接头锁紧件上的内螺纹连接光路壳体，其与照明光路安装连接方便，而且连接可靠性好，确保曝光系统的DMD芯片的正常工作；
现有的矩形光纤插口，排列在矩形孔的长边的边缘处、远离视场中心的光纤传输的光容易形成弥散斑被聚焦到方棒上，造成浪费光的能量，本实用新型的光纤耦合连接件的光纤插口设置成椭圆形或圆角矩形，在光纤插口长度相同的情况下，没有矩形孔长边处的直角，可以避免在矩形孔的边缘处布置光纤，减少光的能量浪费。
见图5，一种用于光刻机的曝光系统的照明光路，来自光源发出的激光经光纤传输从上述的光纤耦合连接件100输入照明光路，光纤耦合连接件100通过内螺纹连接光路壳体6，光路壳体内顺序设置有聚焦镜头7、方棒8、准直放大镜9、第一反射镜片10和第二反射镜片11，激光经过聚焦镜头7聚集使得光束与方棒8契合，再经准直放大镜9放大后经第一反射镜片10和第二反射镜片11反射后投射到曝光系统的DMD芯片12上，DMD芯片 12反射的光经过曝光镜头13后，在衬底表面上印刷具有特征的构图。
本实用新型用于光刻机的曝光系统的照明光路，由于方棒通常尺寸很小，故在方棒的前端设置聚焦镜头聚集使得光束与方棒契合，从方棒出来的光由会过于聚集，从而设置准直放大镜放大将光放大，使其满足曝光系统的DMD芯片的需求。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (9)
1.一种光纤耦合连接件，包括光纤插头，所述光纤插头上设有一光纤插头出光孔，其特征在于：还包括接头锁紧件，接头锁紧件套装在所述光纤插头上，所述接头锁紧件的内圈和所述光纤插头的外表面上分别设有环形卡块相互配合对所述接头锁紧件进行限位，所述光纤插头的后端设置有与所述光纤插头螺纹连接的光纤保护套，所述接头锁紧件的内圈上的环形卡块与光纤保护套配合对所述接头锁紧件进行限位，所述接头锁紧件内圈的前侧设有内螺纹。
2.根据权利要求1所述的一种光纤耦合连接件，其特征在于：所述光纤插头出光孔呈椭圆形。
3.根据权利要求1所述的一种光纤耦合连接件，其特征在于：所述光纤插头出光孔呈腰形孔状。
4.根据权利要求2所述的一种光纤耦合连接件，其特征在于：椭圆形孔的光纤插头出光孔的尺寸：其长轴为0.5mm-8mm，短轴为0.15mm-2.0mm。
5.根据权利要求3所述的一种光纤耦合连接件，其特征在于：腰形孔状的光纤插头出光孔的尺寸：腰形孔中间的矩形的长边为0.35mm-7.85mm，腰形孔两边的半圆的直径为0.15mm-2.0mm。
6.根据权利要求1所述的一种光纤耦合连接件，其特征在于：所述光纤插头出光孔中排布有61-304根光纤。
7.根据权利要求1所述的一种光纤耦合连接件，其特征在于：所述接头锁紧件上设置有防滑纹。
8.一种用于光刻机的曝光系统的照明光路，其特征在于：包括权利要求1所述的光纤耦合连接件，来自光源发出的激光经所述光纤耦合连接件输入所述照明光路，所述光纤耦合连接件通过所述内螺纹连接光路壳体，所述光路壳体内顺序设置有聚焦镜、方棒、准直放大镜、反射镜片，激光经过所述聚焦镜聚集使得光束与所述方棒契合，再经所述准直放大镜放大后经所述反射镜片反射后投射到曝光系统的DMD芯片上。
9.根据权利要求8所述的一种用于光刻机的曝光系统的照明光路，其特征在于：所述方棒端面的长宽比为1：1-5.95。
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| CN201822244431.9U CN209525557U (zh) | 2018-12-29 | 2018-12-29 | 一种光纤耦合连接件及用于光刻机的曝光系统的照明光路 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113131329A (zh) * | 2019-12-31 | 2021-07-16 | 苏州源卓光电科技有限公司 | 一种多波长激光器 |
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2018
- 2018-12-29 CN CN201822244431.9U patent/CN209525557U/zh active Active
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