CN209467552U

CN209467552U - 一种带报警装置的氮气柜

Info

Publication number: CN209467552U
Application number: CN201821845980.5U
Authority: CN
Inventors: 李金焕; 李冬梅; 王进华; 李郁
Original assignee: Guangzhou Microtronics Of China AS
Current assignee: Guangzhou Microtronics Of China AS
Priority date: 2018-11-09
Filing date: 2018-11-09
Publication date: 2019-10-08
Anticipated expiration: 2028-11-09

Abstract

本实用新型具体公开了一种带报警装置的氮气柜，包括柜体（1），所述的柜体（1）的外端侧面设有温湿度报警器（4）；所述柜体（1）的外端侧面设有温湿度传感器（3），并且与温湿度报警器（4）相邻；所述温湿度传感器（3）和温湿度报警器（4）都通过第一连接装置（6）连接在柜体（1）的侧端表面；所述温湿度传感器（3）的一端通过电性连接着温湿度报警器（4），所述温湿度传感器（3）的另一端通过电性连接着温湿度传感探头（2）；所述温湿度传感探头（2）位于柜体（1）的内侧壁上，并且通过第二连接装置（5）固定在柜体（1）的内壁。该实用新型的氮气柜可以通过温湿度传感器和温湿度报警器实时的监控设备运行状态。

Description

一种带报警装置的氮气柜

技术领域

本实用新型涉及微电子、半导体领域，具体涉及一种带报警装置的氮气柜。

背景技术

氮气柜为氧浓度监控型氮气保护储物柜，适用于半导体器件工艺生产过程中存放成品、半成品、原材料及器具等。一般分为：1、普通型氮气柜：有箱体，密封门，流量仪，可调节活动层板，脚轮支脚组成，棱角清晰，外观亮丽。可根据客户不同要求定制。2、控制型氮气柜：在普通型氮气柜的基础上装控制仪表，能够更好的节约氮气和更加直观了解柜内环境。自动化设计能大大降低运行成本。可根据客户不同要求定制。3、透明氮气柜：柜体框架采用不锈钢镜面板制作，四周镶透明玻璃，外观明亮，能直观了解柜内物件现状，层板可调设计存储大小不同物件，也可配置成控制型氮气柜，可根据客户不同要求定制。

但是，现有的氮气柜内部温、湿度出现不可控，出现故障时无法及时获悉故障。

实用新型内容

本实用新型发明要解决的技术问题是克服现有技术的出现故障时无法及时获悉故障的不足，提供一种带有报警装置的氮气柜。该结构可以时刻监控设备运行状态。

本发明所要解决的上述问题通过以下技术方案以实现：

一种带报警装置的氮气柜，包括柜体，所述的柜体设有温湿度报警器，所述温湿度报警器位于柜体的外端侧面；所述柜体设有温湿度传感器，所述温湿度传感器位于柜体的外端侧面，并且与温湿度报警器相邻；所述温湿度传感器和温湿度报警器都通过第一连接装置连接在柜体的侧端表面；所述温湿度传感器的一端通过电性连接着温湿度报警器，所述温湿度传感器的另一端通过电性连接着温湿度传感探头；所述温湿度传感探头位于柜体的内侧壁上，并且通过第二连接装置固定在柜体的内壁。

优选的，所述的温湿度传感探头、温湿度传感器和温湿度报警器选用至少两个。本方案可以通过多个温湿度传感探头、温湿度传感器和温湿度报警器来确保监控的过程，以免单个使用时出现故障无法及时发出警报带来不必要的损失。

优选的，所述温湿度报警器包括温度控制面板、湿度控制面板和报警面板。本方案可以通过温湿度报警器的几个面板限定温度和湿度的安全范围，并且可以更好的发出警报信号；从而提高了监控的效率。

优选的，所述第一连接装置包括第一安装板、环形固定块和U形卡扣，所述U形卡扣均固定在温湿度传感器和温湿度报警器的底部，所述第一安装板的一端面固定着环形固定块，所述第一安装板的另一端面固定着柜体的外表面；所述U形卡扣的外侧壁紧贴着环形固定块的内侧壁。本方案可以通过第一连接装置的具体结构更好地将温湿度传感器和温湿度报警器固定在柜体的外表面，为后续的监控过程提供有效地前提保障。

进一步优选的，所述第二连接装置包括第二安装板和U形固定块；所述第二安装板的外表面的一端固定着U形固定块，所述第二安装板的另外一端连接固定在柜体的内壁上；所述温湿度传感探头的外侧壁紧贴着U形固定块的内侧壁上。本方案可以通过第二连接装置的具体结构更好地将温湿度传感探头固定在柜体的内壁上，为后续的监控过程提供有效地前提保障。

优选的，所述柜体设有保护罩，所述保护罩位于柜体的侧端，并且位于温湿度传感器和温湿度报警器的上端；所述保护罩通过活动连接在柜体的外侧表面。本方案可以在氮气柜正常使用之时，旋转保护罩将温湿度传感器和温湿度报警器保护起来，以免遭到外界的破坏。

有益效果：采用本实用型所述的结构后，由于结构设有温湿度传感探头、温湿度传感器和温湿度报警器，可以通过温湿度传感探头监控柜体内部的湿度和温度的变化，将信号传到温湿度传感器和温湿度报警器，从而起着时刻监控设备运行状态。

附图说明

图1是本实用新型所述的一种带报警装置的氮气柜的主视结构图。

图2是本实用新型所述的一种带报警装置的氮气柜的主视部分结构图。

图3是本实用新型所述的一种带报警装置的氮气柜的报警器的结构图。

图4是本实用新型所述的一种带报警装置的氮气柜的第一连接装置的结构图。

图5是本实用新型所述的一种带报警装置的氮气柜的第一连接装置的结构图。

图6是本实用新型所述的一种带报警装置的氮气柜的温湿度传感器或温湿度报警器的结构图。

图7是本实用新型所述的一种带报警装置的氮气柜的温湿度传感器或温湿度报警器的结构图。

图8是本实用新型所述的一种带报警装置的氮气柜的侧视结构图。

图9是本实用新型所述的一种带报警装置的氮气柜的第二连接装置的结构图。

图10是本实用新型所述的一种带报警装置的氮气柜的第二连接装置的结构图。

图1-10：1-柜体；2-温湿度传感探头；3-温湿度传感器；4-温湿度报警器；5-第二连接装置；6-第一连接装置；7-保护罩；8-温度控制面板；9-湿度控制面板；10-报警面板；11-第一安装板；12-环形固定块；13-U形卡扣；14-第二安装板；15-U形固定块。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步详细的说明，但实施例对本发明不做任何形式的限定。

实施例1：

本说明书所描述的“前”、“后”、“左”和“右”等方位名称都是根据本说明书所用的示意图所决定的。

如图1-10所示的一种带报警装置的氮气柜，包括柜体1；所述的柜体1设有温湿度报警器4，所述温湿度报警器4位于柜体1的外端侧面；所述柜体1设有温湿度传感器3，所述温湿度传感器3位于柜体1的外端侧面，并且与温湿度报警器4相邻；所述的温湿度传感器3和温湿度报警器4选用两个，不同的温湿度传感器3和温湿度报警器4位于柜体1的左右两侧；所述温湿度传感器3和温湿度报警器4都通过第一连接装置6连接在柜体1的侧端表面，并且温湿度报警器4通过电性连接着温湿度传感器3；所述温湿度报警器4包括温度控制面板8、湿度控制面板9和报警面板10；所述第一连接装置6包括第一安装板11、环形固定块12和U形卡扣13，所述U形卡扣13 固定在温湿度传感器3和温湿度报警器4的底部，所述第一安装板 11的一端面固定着环形固定块12，所述第一安装板11的另一端面固定着柜体1的外表面；所述U形卡扣13的外侧壁紧贴着环形固定块 12的内侧壁；所述柜体1还设有温湿度传感探头2，所述温湿度传感探头2位于柜体1的内部侧壁上，所述温湿度传感探头选用两个；所述温湿度传感探头2通过电性连接者温湿度传感器3，并且通过第二连接装置5固定在柜体1的内壁；所述第二连接装置5包括第二安装板14和U形固定块15；所述第二安装板14的外表面的一端固定着U 形固定块15，所述第二安装板14的另外一端连接固定在柜体1的内壁上；所述温湿度传感探头2的外侧壁紧贴着U形固定块15的内侧壁上。

工作原理：首先，在温湿度报警器中设置好柜体安全使用的湿度和温度范围；当氮气柜出现故障，柜体里面的温度或者湿度超出所规定的范围时，通过温湿度传感探头将信号传输到温湿度传感器中，再经过温湿度传感器将信号输送到温湿度报警器，然后经过温湿度报警器控制报警面板向外部提供报警信号。

实施例2：

如图1-7所示的一种带报警装置的氮气柜，包括柜体1；所述的柜体1设有温湿度报警器4，所述温湿度报警器4位于柜体1的外端侧面；所述柜体1设有温湿度传感器3，所述温湿度传感器3位于柜体1的外端侧面，并且与温湿度报警器4相邻；所述的温湿度传感器 3和温湿度报警器4选用两个，不同的温湿度传感器3和温湿度报警器4位于柜体1的左右两侧；所述温湿度传感器3和温湿度报警器4 都通过第一连接装置6连接在柜体1的侧端表面，并且温湿度报警器 4通过电性连接着温湿度传感器3；所述温湿度报警器4包括温度控制面板8、湿度控制面板9和报警面板10；所述第一连接装置6包括第一安装板11、环形固定块12和U形卡扣13，所述U形卡扣13固定在温湿度传感器3和温湿度报警器4的底部，所述第一安装板11 的一端面固定着环形固定块12，所述第一安装板11的另一端面固定着柜体1的外表面；所述U形卡扣13的外侧壁紧贴着环形固定块12 的内侧壁；所述柜体1还设有温湿度传感探头2，所述温湿度传感探头2位于柜体1的内部侧壁上，所述温湿度传感探头选用两个；所述温湿度传感探头2通过电性连接者温湿度传感器3，并且通过第二连接装置5固定在柜体1的内壁；所述第二连接装置5包括第二安装板 14和U形固定块15；所述第二安装板14的外表面的一端固定着U形固定块15，所述第二安装板14的另外一端连接固定在柜体1的内壁上；所述温湿度传感探头2的外侧壁紧贴着U形固定块15的内侧壁上；所述柜体1设有保护罩7，所述保护罩7位于柜体1的侧端，并且位于温湿度传感器3和温湿度报警器4的上端；所述保护罩7通过活动连接在柜体1的外侧表面。

工作原理：首先，在温湿度报警器中设置好柜体安全使用的湿度和温度范围；当氮气柜出现故障，柜体里面的温度或者湿度超出所规定的范围时，通过温湿度传感探头将信号传输到温湿度传感器中，再经过温湿度传感器将信号输送到温湿度报警器，然后经过温湿度报警器控制报警面板向外部提供报警信号；在此同时，当氮气柜正常使用之时，旋转保护罩将温湿度传感器和温湿度报警器保护起来，以免遭到外界的破坏。

当然，以上所述仅表达了本实用新型的某种实施方式，其描述较为详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims

1.一种带报警装置的氮气柜，包括柜体（1），其特征在于，所述的柜体（1）设有温湿度报警器（4），所述温湿度报警器（4）位于柜体（1）的外端侧面；所述柜体（1）设有温湿度传感器（3），所述温湿度传感器（3）位于柜体（1）的外端侧面，并且与温湿度报警器（4）相邻；所述温湿度传感器（3）和温湿度报警器（4）都通过第一连接装置（6）连接在柜体（1）的侧端表面；所述温湿度传感器（3）的一端与温湿度报警器（4）电性连接，所述温湿度传感器（3）的另一端与温湿度传感探头（2）电性连接；所述温湿度传感探头（2）位于柜体（1）的内侧壁上，并且通过第二连接装置（5）固定在柜体（1）的内壁。

2.根据权利要求1所述的一种带报警装置的氮气柜，其特征在于，所述的温湿度传感探头（2）、温湿度传感器（3）和温湿度报警器（4）均选用至少两个。

3.根据权利要求2所述的一种带报警装置的氮气柜，其特征在于，所述温湿度报警器（4）包括温度控制面板（8）、湿度控制面板（9）和报警面板（10）。

4.根据权利要求1所述的一种带报警装置的氮气柜，其特征在于，所述第一连接装置（6）包括第一安装板（11）、环形固定块（12）和U形卡扣（13），所述U形卡扣（13）均固定在温湿度传感器（3）和温湿度报警器（4）的底部，所述第一安装板（11）的一端面固定着环形固定块（12），所述第一安装板（11）的另一端面固定着柜体（1）的外表面；所述U形卡扣（13）的外侧壁紧贴着环形固定块（12）的内侧壁。

5.根据权利要求1所述的一种带报警装置的氮气柜，其特征在于，所述第二连接装置（5）包括第二安装板（14）和U形固定块（15）；所述第二安装板（14）的外表面的一端固定着U形固定块（15），所述第二安装板（14）的另外一端连接固定在柜体（1）的内壁上；所述温湿度传感探头（2）的外侧壁紧贴着U形固定块（15）的内侧壁上。

6.根据权利要求1所述的一种带报警装置的氮气柜，其特征在于，所述柜体（1）设有保护罩（7），所述保护罩（7）位于柜体（1）的侧端，并且位于温湿度传感器（3）和温湿度报警器（4）的上端；所述保护罩（7）活动连接在柜体（1）的外侧表面。