CN209388109U - 一种溶剂生产设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型适用于光刻胶制备技术领域，提供了一种溶剂生产设备。该溶剂生产设备包括含循环过滤组件的制备系统以及利用氮气压料方式取料的取用系统。本实用新型中的溶剂生产设备，通过循环过滤方式来有效过滤掉溶剂中的颗粒度，并通过氮气压料方式来进行取料，整个过程在密封或氮气环境下运行，颗粒度控制较好，可长时间保持溶剂的纯度以及可避免溶剂在使用前被环境污染。

Description

一种溶剂生产设备

技术领域

本实用新型属于光刻胶制备技术领域，尤其涉及一种溶剂生产设备。

背景技术

在半导体工业中，光刻胶是芯片及器件制造的关键材料。一般来说，光刻胶包含主体树脂、光敏剂、添加剂和溶剂等。其中主体树脂、光敏剂和添加剂在光刻胶中含量较小，光刻胶的主要成分还是溶剂。

现有技术当中，随着国家电子材料产业的发展，国产高纯电子级试剂产品不断面世。从指标上看，国内电子级试剂的金属杂质和水分含量基本能达到先进光刻胶的使用要求。但在颗粒度控制方面，还存在薄弱环节，且如何长时间保持高纯溶剂的纯度以及如何避免溶剂在使用前被环境污染，成为一个在光刻胶生产中迫切需要解决的问题。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种溶剂生产设备，旨在解决现有技术当中溶剂颗粒度控制较差的技术问题。

本实用新型实施例是这样实现的，一种溶剂生产设备，包括：

制备系统，包括原料储存罐、溶剂储存罐、循环过滤器及输送泵，所述溶剂储存罐上设有进液口、出气口及吸液管，所述吸液管的下端深入至所述溶剂储存罐底部，所述循环过滤器和所述输送泵通过管路串连成一循环过滤组件，所述循环过滤组件的进入口通过带第一开关阀门的通气管与氮气气源连接，其排出口连接所述进液口，所述原料储存罐通过带进料阀门的进气管路与所述循环过滤组件的进入口连接，所述出气口通过出气管路与所述氮气气源连接，所述吸液管上端通过循环管路与所述循环过滤组件的进入口连接；以及

取用系统，包括取用过滤器及取用瓶，所述取用过滤器的进液口通过带取液阀门的取液管路与所述吸液管连接，所述取用过滤器的出液口通过出液管路与所述取用瓶连接，所述出液管路通过带第二开关阀门的进气管路与所述氮气气源连接。

更进一步地，所述进液口和所述出气口及所述吸液管上均设有密封阀门。

更进一步地，所述通气管上还设有第三开关阀门，所述第三开关阀门靠近所述循环过滤组件的进入口。

更进一步地，所述循环管路与所述通气管连接，并通过所述第三开关阀门与所述循环过滤组件的进入口连接。

更进一步地，所述出气管路与所述通气管连接，并通过所述第一开关阀门连接所述氮气气源。

更进一步地，所述取用过滤器的出液口通过一出液阀门与所述出液管路连接，所述取液管路通过所述循环管路与所述吸液管连接。

更进一步地，所述进气管路与所述通气管连接，并通过所述第一开关阀门连接所述氮气气源。

更进一步地，所述出液管路为一带阀门的软性伸缩管。

本实用新型所达到的有益效果：通过将溶剂原料输送至溶剂储存罐当中，随后启用循环过滤组件对溶剂储存罐当中的溶剂进行循环过滤，能够有效过滤掉溶剂中的颗粒度，待溶剂储存罐当中的溶剂的颗粒度测试合格后，停止循环过滤并关闭所有阀门，避免溶剂被环境沾污，取料时，采用氮气压料的方式进行取料，且取料过程当中再一次经过取用过滤器过滤，同时若溶剂储存罐当中的溶剂长时间未内使用或未使用完，可再次利用循环过滤组件进行过滤，从而长时间保持溶剂的纯度，因此本溶剂生产设备对溶剂颗粒度的控制较好，能够不间断的提供高纯光刻胶用溶剂，满足生产需求。

附图说明

图1是本实用新型实施例一当中的溶剂生产设备的结构图；

图2是本实用新型实施例一当中的溶剂制备方法的流程图；

图3是本实用新型实施例一当中的溶剂取用方法的流程图；

图4是本实用新型实施例二当中的溶剂生产设备的结构图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

现有对光刻胶用溶剂的颗粒度控制较差，且无法长时间保持溶剂的纯度以及无法避免溶剂在使用前被环境污染。因此，本实用新型的目的在于，提供一种溶剂生产设备，以通过循环过滤方式来有效过滤掉溶剂中的颗粒度，并通过氮气压料方式来进行取料，整个过程在密封或氮气环境下运行，颗粒度控制较好，可长时间保持溶剂的纯度以及可避免溶剂在使用前被环境污染。

实施例一

请参阅图1，所示为本实用新型第一实施例当中的溶剂生产设备，包括制备系统10及取用系统20。

所述制备系统10包括原料储存罐11、溶剂储存罐12、循环过滤器13及输送泵14，所述溶剂储存罐12上设有进液口121、出气口122及吸液管123，所述吸液管123的下端深入至所述溶剂储存罐12底部。所述循环过滤器13和所述输送泵14通过管路串连成一循环过滤组件I，所述循环过滤组件I的进入口通过带第一开关阀门的通气管31与氮气气源(图未示)连接，其排出口连接所述进液口121。所述原料储存罐11通过带进料阀门的进气管路32与所述循环过滤组件I的进入口连接，所述出气口122通过出气管路33与所述氮气气源连接，所述吸液管123上端通过循环管路34与所述循环过滤组件I的进入口连接。

其中，所述进液口121上设有第一密封阀门，所述出气口122上设有第二密封阀门，所述吸液管123上设有第三密封阀门，所述氮气气源为高纯洁净氮气，其主要为高纯去颗粒度的洁净氮气，其氮气纯度为99.99999％，其颗粒度为大于0.1微米的颗粒物小于5个/立方英尺。

所述取用系统20包括取用过滤器21及取用瓶22，所述取用过滤器21的进液口通过带取液阀门的取液管路35与所述循环管路34连接，以通过所述循环管路34与所述吸液管连接。所述吸液管123连接，所述取用过滤器21的出液口通过出液管路36与所述取用瓶22连接，所述出液管路36通过带第二开关阀门的进气管路37与所述氮气气源连接。

其中，所述出液管路36为一带阀门的软性伸缩管，便于后续连接取用瓶22。同时，所述取用瓶22可为一带螺旋盖的罐体结构，其螺旋盖上设有供管路插入的穿入孔，且该穿入孔与管路之间可设置密封圈等密封结构来进行密封。

进一步地，所述通气管31上还设有第三开关阀门，所述第三开关阀门靠近所述循环过滤组件I的进入口。

优选地，所述循环管路34与所述通气管31连接，并通过所述第三开关阀门与所述循环过滤组件I的进入口连接。所述出气管路33与所述通气管31连接，并通过所述第一开关阀门连接所述氮气气源。所述取用过滤器21的出液口通过一出液阀门与所述出液管路36连接，所述进气管路37与所述通气管31连接，并通过所述第一开关阀门连接所述氮气气源。

需要指出的是，在本溶剂生产设备的管路系统当中，每个三叉管口上均可以通过三通管(或三通阀)II来进行连接。

针对上述结构，本实施例还提出一种溶剂制备方法，如图2所示，所述溶剂制备方法包括步骤S11至S14。

步骤S11，在氮气环境下连接所述进气管路和原料储存罐。

可以理解的，本步骤是在初次连接原料储存罐或更换原料储存罐进行的，若原料储存罐已经处于与进气管路连接的状态，且原料储存罐中还有原料溶剂，则可不执行本步骤。

步骤S12，关闭阀门E、D、G、H及J，打开阀门A、B、C及F，启用输送泵将溶剂从所述原料储存罐中转移到溶剂储存罐当中。

步骤S13，关闭阀门A、C、H及F，打开阀门E、B、D及G，利用所述输送泵输送所述溶剂储存罐当中的溶剂循环经过循环过滤器，以对所述溶剂储存罐当中的溶剂进行循环过滤。

其中，溶剂的循环回路为：先从吸液管进入循环管路，再由循环管路进入通气管，再依次进入过滤器和循环过滤器，最后回到溶剂储存罐当中。

步骤S14，当所述溶剂储存罐当中的溶剂的颗粒度测试合格后，停止循环过滤并关闭所有阀门。

针对上述结构，本实施例还提出一种溶剂取用方法，如图3所示，所述溶剂取用方法包括步骤S21至S24。

步骤S21，在氮气环境下连接所述出液管路和取用瓶。

步骤S22，向溶剂储存罐中通入氮气，以利用氮气压力压迫所述溶剂储存罐中的溶剂依次流入取用过滤器、所述出液管路及取用瓶。

步骤S23，当所述取用瓶当中接受到规定量的溶剂后，停止取液，并向所述出液管路中通入氮气，以吹扫管路。

请参阅下表，所示为经过本实施例当中的溶剂生产设备生产的光刻胶用溶剂的参数及对比：

显然，本溶剂生产设备可有效控制溶剂的颗粒度，能够提供高纯度的溶液。

综上，本实施例当中的溶剂生产设备，通过将溶剂原料输送至溶剂储存罐12当中，随后启用循环过滤组件I对溶剂储存罐当中的溶剂进行循环过滤，能够有效过滤掉溶剂中的颗粒度，待溶剂储存罐12当中的溶剂的颗粒度测试合格后，停止循环过滤并关闭所有阀门，避免溶剂被环境沾污，取料时，采用氮气压料的方式进行取料，且取料过程当中再一次经过取用过滤器过滤21，同时若溶剂储存罐12当中的溶剂长时间未内使用或未使用完，可再次利用循环过滤组件I进行过滤，从而长时间保持溶剂的纯度，因此本溶剂生产设备对溶剂颗粒度的控制较好，能够不间断的提供高纯光刻胶用溶剂，满足生产需求。

实施例二

请参阅图4，所示为本实用新型第二实施例当中的溶剂生产设备，本实施例当中的溶剂生产设备与第一实施例当中的溶剂生产设备的不同之处在于：

所述溶剂生产设备还包括一尾气排放系统40，所述尾气排放系统40包括排气管41及设置在排气管41上的排气阀门42，所述排气管41一端深入取用瓶内。

可以理解的，第一实施例当中的溶剂生产设备需要在负压下进行操作，使用时相对较不方便，因此本实施例增设一尾气排放系统40，使溶剂生产设备无需要在负压下进行操作，使用方便且安全。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种溶剂生产设备，其特征在于，包括：

制备系统，包括原料储存罐、溶剂储存罐、循环过滤器及输送泵，所述溶剂储存罐上设有进液口、出气口及吸液管，所述吸液管的下端深入至所述溶剂储存罐底部，所述循环过滤器和所述输送泵通过管路串连成一循环过滤组件，所述循环过滤组件的进入口通过带第一开关阀门的通气管与氮气气源连接，其排出口连接所述进液口，所述原料储存罐通过带进料阀门的进气管路与所述循环过滤组件的进入口连接，所述出气口通过出气管路与所述氮气气源连接，所述吸液管上端通过循环管路与所述循环过滤组件的进入口连接；以及

取用系统，包括取用过滤器及取用瓶，所述取用过滤器的进液口通过带取液阀门的取液管路与所述吸液管连接，所述取用过滤器的出液口通过出液管路与所述取用瓶连接，所述出液管路通过带第二开关阀门的进气管路与所述氮气气源连接。

2.如权利要求1所述的溶剂生产设备，其特征在于，所述进液口和所述出气口及所述吸液管上均设有密封阀门。

3.如权利要求1所述的溶剂生产设备，其特征在于，所述通气管上还设有第三开关阀门，所述第三开关阀门靠近所述循环过滤组件的进入口。

4.如权利要求3所述的溶剂生产设备，其特征在于，所述循环管路与所述通气管连接，并通过所述第三开关阀门与所述循环过滤组件的进入口连接。

5.如权利要求1所述的溶剂生产设备，其特征在于，所述出气管路与所述通气管连接，并通过所述第一开关阀门连接所述氮气气源。

6.如权利要求1所述的溶剂生产设备，其特征在于，所述取用过滤器的出液口通过一出液阀门与所述出液管路连接，所述取液管路通过所述循环管路与所述吸液管连接。

7.如权利要求1所述的溶剂生产设备，其特征在于，所述进气管路与所述通气管连接，并通过所述第一开关阀门连接所述氮气气源。

8.如权利要求1所述的溶剂生产设备，其特征在于，所述出液管路为一带阀门的软性伸缩管。