CN209387695U - 一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体元件加工设备技术领域，具体涉及一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件，包括固定支架、盖板、探针卡压紧机构，固定支架上设有空缺部；盖板上设有凹槽；探针卡压紧机构设有两组，每组包括底座、转动板、压板、驱动机构，底座连接在凹槽内。本实用新型设置固定支架上的空缺部，使外部设备上的探针卡卡合在空缺部，再通过探针卡压紧机构将探针卡进行压紧，从而实现探针卡的快速固定，提高效率，设置减震机构，防止压紧力过大导致压板将探针卡表面压伤，同时通过旋转锁紧螺母，调节压板与转动板水平段的间距，从而实现适应不同型号探针卡进行压紧。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体元件加工设备技术领域，具体涉及一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件。
背景技术
目前市面上的探针测试台具有夹持探针卡的固定组件，通过设置固定件，旋转螺丝驱动固定件卡紧探针卡，每一次固定探针卡都需要进行螺丝的手动旋转，操作过程麻烦并且缓慢，影响工作效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的问题，提供一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件，它可以实现快速固定探针卡，提高效率。
为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件，其包括：
固定支架，所述固定支架侧壁上设有空缺部；
盖板，所述盖板设于固定支架顶部，其上设有连通至所述固定支架内的凹槽；
探针卡压紧机构，所述探针卡压紧机构设有两组，每组包括底座、转动板、压板、驱动机构，所述底座连接在凹槽内，所述转动板由倾斜段和水平段组成，其倾斜段铰接在所述底座上，所述压板连接在转动板水平段上，所述驱动机构用于驱动转动板沿与底座铰接处转动。
进一步地，所述驱动机构包括：
立柱，所述立柱竖直设于底座上，其上端设有外螺纹部；
浮动座，所述浮动座套设在立柱上且能在立柱上自由滑动；
铰链杆，所述铰链杆一端铰接在浮动座上，其另一端铰接在所述转动板上；
压紧套，所述压紧套由上部的手柄部、下部的抵顶部组成，所述手柄部套设于外螺纹部上且与外螺纹部螺纹连接，所述抵顶部套设在立柱上，其底部外壁抵靠所述浮动座顶部；
第一弹簧，所述第一弹簧套装在立柱上，其一端固接在所述底座上，其另一端抵顶所述浮动座。
进一步地，所述手柄部上设有加力杆。
进一步地，还包括减震机构，所述减震机构包括：
滑动柱，所述滑动柱成对竖直穿透转动板水平段且能自由滑动，其上端为外螺纹段且匹配有锁紧螺母，其下端固接在所述压板上；
第二弹簧，所述第二弹簧套装在滑动柱上，其一端固接在所述压板上，其另一端固接在所述转动板上。
进一步地，还包括嵌装在所述转动板上的衬套，所述衬套滑配套装于滑动柱上。
本实用新型的有益效果：设置固定支架上的空缺部，使外部设备上的探针卡卡合在空缺部，再通过探针卡压紧机构将探针卡进行压紧，从而实现探针卡的快速固定，提高效率，设置减震机构，防止压紧力过大导致压板将探针卡表面压伤，同时通过旋转锁紧螺母，调节压板与转动板水平段的间距，从而实现适应不同型号探针卡进行压紧。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的立体结构示意图；
图2为本实用新型中探针压紧机构的立体结构示意图；
附图中，各标号所代表的部件如下：
1-固定支架，2-空缺部，3-盖板，4-凹槽，5-底座，6-转动板，7-压板，8-立柱，9-外螺纹部，10-铰链杆，11-手柄部，12-抵顶部，13-第一弹簧，14-滑动柱，15-锁紧螺母，16-第二弹簧，17-衬套，18-浮动座。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1-2所示的一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件，其包括：
固定支架1，所述固定支架1侧壁上设有空缺部2，固定支架1连接外部探针台机架，使固定支架1安装在探针台上；
盖板3，所述盖板3设于固定支架1顶部，其上设有连通至所述固定支架1内的凹槽4，盖板3通过螺钉连接在外部探针台上；
探针卡压紧机构，所述探针卡压紧机构设有两组，每组包括底座5、转动板6、压板7、驱动机构，所述底座5连接在凹槽4内，所述转动板6由倾斜段和水平段组成，其倾斜段铰接在所述底座5上，所述压板7连接在转动板6水平段上，所述驱动机构用于驱动转动板6沿与底座5铰接处转动。
所述驱动机构包括：
立柱8，所述立柱8竖直设于底座5上，其上端设有外螺纹部9；
浮动座18，所述浮动座18套设在立柱8上且能在立柱8上自由滑动；
铰链杆10，所述铰链杆10一端铰接在浮动座18上，其另一端铰接在所述转动板6上；
压紧套，所述压紧套由上部的手柄部11、下部的抵顶部12组成，所述手柄部11套设于外螺纹部9上且与外螺纹部9螺纹连接，所述抵顶部12套设在立柱8上，其底部外壁抵靠所述浮动座18顶部；
第一弹簧13，所述第一弹簧13套装在立柱8上，其一端固接在所述底座5上，其另一端抵顶所述浮动座18，设置第一弹簧13，使在自然状态下，驱动浮动座18往上移动，达到快速复位的效果。
所述手柄部11上设有加力杆，方便操作。
还包括减震机构，所述减震机构包括：
滑动柱14，所述滑动柱14成对竖直穿透转动板6水平段且能自由滑动，其上端为外螺纹段且匹配有锁紧螺母15，其下端固接在所述压板7上；
第二弹簧16，所述第二弹簧16套装在滑动柱14上，其一端固接在所述压板7上，其另一端固接在所述转动板6上，压板7压紧在探针卡上，当压紧力过大时，压板7克服第二弹簧16阻力往上移动，以此来调整对探针卡的压紧力，防止对探针卡造成损伤。
还包括嵌装在所述转动板6上的衬套17，所述衬套17滑配套装于滑动柱14上，设置衬套17与滑动柱14滑配，减少转动板6的磨损，提高压紧可靠性。
本实用新型在使用时：将外部探针卡卡合在固定支架上的空缺部内，转动手柄部，驱动抵顶部抵顶浮动座往下移动，使铰链杆驱动转动板沿与底座铰接处转动，使压板将探针卡表面进行压紧，拆卸时，反向转动手柄部，在第一弹簧的作用下，驱动浮动座往上滑动，使压板脱离压紧探针卡的状态。
以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
Claims (5)
1.一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件，其特征在于，其包括：
固定支架(1)，所述固定支架(1)侧壁上设有空缺部(2)；
盖板(3)，所述盖板(3)设于固定支架(1)顶部，其上设有连通至所述固定支架(1)内的凹槽(4)；
探针卡压紧机构，所述探针卡压紧机构设有两组，每组包括底座(5)、转动板(6)、压板(7)、驱动机构，所述底座(5)连接在凹槽(4)内，所述转动板(6)由倾斜段和水平段组成，其倾斜段铰接在所述底座(5)上，所述压板(7)连接在转动板(6)水平段上，所述驱动机构用于驱动转动板(6)沿与底座(5)铰接处转动。
2.根据权利要求1所述的一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,其特征在于，所述驱动机构包括：
立柱(8)，所述立柱(8)竖直设于底座(5)上，其上端设有外螺纹部(9)；
浮动座(18)，所述浮动座(18)套设在立柱(8)上且能在立柱(8)上自由滑动；
铰链杆(10)，所述铰链杆(10)一端铰接在浮动座(18)上，其另一端铰接在所述转动板(6)上；
压紧套，所述压紧套由上部的手柄部(11)、下部的抵顶部(12)组成，所述手柄部(11)套设于外螺纹部(9)上且与外螺纹部(9)螺纹连接，所述抵顶部(12)套设在立柱(8)上，其底部外壁抵靠所述浮动座(18)顶部；
第一弹簧(13)，所述第一弹簧(13)套装在立柱(8)上，其一端固接在所述底座(5)上，其另一端抵顶所述浮动座(18)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,其特征在于，所述手柄部(11)上设有加力杆。
4.根据权利要求1所述的一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,其特征在于，还包括减震机构，所述减震机构包括：
滑动柱(14)，所述滑动柱(14)成对竖直穿透转动板(6)水平段且能自由滑动，其上端为外螺纹段且匹配有锁紧螺母(15)，其下端固接在所述压板(7)上；
第二弹簧(16)，所述第二弹簧(16)套装在滑动柱(14)上，其一端固接在所述压板(7)上，其另一端固接在所述转动板(6)上。
5.根据权利要求4所述的一种半导体元件全自动探针台用探针卡固定组件,其特征在于，还包括嵌装在所述转动板(6)上的衬套(17)，所述衬套(17)滑配套装于滑动柱(14)上。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110618298A (zh) * | 2019-09-20 | 2019-12-27 | 深圳市矽电半导体设备有限公司 | 一种抵紧固定结构、探针台及压紧针卡固定板的方法 |
| CN111044920A (zh) * | 2019-12-06 | 2020-04-21 | 广东恒翼能科技有限公司 | 一种探针模组的间距快速调节机构及化成针床 |
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