CN209380647U

CN209380647U - 一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具

Info

Publication number: CN209380647U
Application number: CN201822188460.8U
Authority: CN
Inventors: 杨鹏
Original assignee: Shanghai Huali Integrated Circuit Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Shanghai Huali Integrated Circuit Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2018-12-25
Filing date: 2018-12-25
Publication date: 2019-09-13
Anticipated expiration: 2028-12-25

Abstract

本实用新型提供了一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，属于半导体设备制造的技术领域。一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具包括放置于密封腔上且两侧带有底座的支架，支架上设置有螺旋传动机构，螺旋传动机构的丝杆上设置有扳手，且在丝杆上还螺纹套设有撬片，撬片的一侧伸出支架与上部盖板的侧壁上的凹槽配合，结构简单；本实用新型通过设置支架和螺旋传动机构，将小扭矩转化成沿丝杆轴向的大的轴向力，解决了由于密封圈老化，上部盖板和密封腔粘合而难以开启的问题，同时，通过丝杆的自锁功能，能防止上部盖板撬开后自动回位，安全保障性更高，并且无需借助工具便可单人手动操作，操作便捷，实用性和使用效率更高，更利于行业的发展。

Description

一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具

技术领域

本实用新型涉及半导体设备制造的技术领域，具体是涉及一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具。

背景技术

对于密封设备而言，为保证其密封性，通常在其开口和盖之间设置有密封圈。蚀刻设备设置有密封腔，且密封腔通过上部盖板进行封口，且在密封腔和上部盖板之间设置有密封圈。在使用时，密封腔的腔体内温度维持在60℃的高温范围内，且腔体内部还存在等离子和腐蚀性气体，导致密封圈在长时间使用后，会在高温、等离子以及腐蚀性气体的作用下老化，从而使得上部盖板和密封腔粘合在一起，并且由于上部盖板本身质量为20KG，导致在维护保养时，上部盖板难以从密封腔上取下，给维护造成了较大的困难。虽然目前制造厂商提供了拆卸工具，但由于结构的限制，不仅重量中，而且操作复杂，还需要使用辅助工具再能完成操作，时间浪费严重，不利于行业的发展。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，现旨在提供一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，以设置一可固定的支架，并于支架上设置螺旋传动机构，通过将支架固定于密封腔上，再将螺旋传统机构中的撬片伸入上部盖板侧边上的凹槽内，通过扭转螺旋传动机构实现撬片远离或靠近密封腔，从而带动上部盖板运动，从而实现上部盖板的拆卸，结构简单，质量轻，便于使用，且可一人手动操作，无需借助工具，便能轻松撬开上部盖板，效率更高，更利于行业发展。

具体技术方案如下：

一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，具有这样的特征，包括：支架和螺旋传动机构，其中，

支架一侧面形状呈“几”字形设置，支架包括底座、侧板以及顶板，底座设置有两个，且两底座间隔设置，并且每一底座上分别设置有一垂直的侧板，两侧板的顶部设置有顶板，顶板的两端分别连接于两侧板上，并且顶板的中间开设有一通孔；

螺旋传动机构包括丝杆、撬片以及扳手，丝杆一端穿过顶板上的通孔至顶板的下方，且丝杆穿过通孔的一端延伸至两底座形成的平面处，丝杆的轴线方向平行于侧板的同时还垂直于底座，并且丝杆上螺纹套设有一撬片，撬片位于顶板的下方，撬片的一侧伸出侧板的侧边，同时，在丝杆上且位于顶板的上方设置有扳手。

上述的一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其中，每一底座上均开设有固定孔，固定孔与密封腔的上部接触面上的螺丝对应。

上述的一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其中，撬片呈矩形的板状设置，且撬片设置于两侧板之间，撬片的对角线长度长于两侧板之间的距离长度。

上述的一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其中，两侧板之间设置有加强板，加强板的两端分别连接于两侧板的侧边上，加强板的顶部连接于顶板的底面上，同时，加强板位于侧板背离撬片伸出的一侧。

上述的一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其中，丝杆上套设有撬片的一端的端部设置有限位顶块，限位顶块的尺寸大于丝杆的直径尺寸。

上述的一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其中，丝杆上且位于顶板的上方的侧壁上开设有一扳手孔，扳手孔沿丝杆径向贯穿丝杆。

上述的一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其中，扳手呈棒状设置，扳手插设在丝杆的扳手孔中。

上述技术方案的积极效果是：在密封腔的上部接触面上设置带有底座的支架，并且在支架上设置有螺旋传动机构，并将螺旋传动机构中的撬片的一侧边伸入上部盖板的侧边的凹槽内，通过扳手转动丝杆，从而带动撬片沿丝杆的轴向运动，从而带动上部盖板向远离或靠近密封腔的方向运动，将小的扭矩转化为大的轴向力，从而实现上部盖板的开启，操作方便、结构简单，重量轻，成本低，同时，单人可手动操作，无需借助工具，实用性和使用效率更高，并且采用丝杆的螺旋传动机构能实现自锁，安全保障性更高。

附图说明

图1为本实用新型的一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具的实施例的结构图；

图2为本实用新型一较佳实施例的一视角的结构图；

图3为本实用新型一较佳实施例的另一视角的结构图；

图4为本实用新型一较佳实施例的螺旋传动机构和上部盖板的作用示意图。

附图中：1、支架；11、底座；12、侧板；13、顶板；14、加强板；111、固定孔；131、通孔；2、螺旋传动机构；21、丝杆；22、撬片；23、扳手；211、扳手孔；212、限位顶块；3、上部盖板；4、密封圈；5、密封腔。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，以下实施例结合附图1至附图4对本实用新型提供的技术方案作具体阐述，但以下内容不作为本实用新型的限定。

图1为本实用新型的一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具的实施例的结构图；图2为本实用新型一较佳实施例的一视角的结构图；图3为本实用新型一较佳实施例的另一视角的结构图；图4为本实用新型一较佳实施例的螺旋传动机构和上部盖板的作用示意图。如图1、图2以及图3和图4所示，本实施例提供的蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具包括：一侧面形状呈“几”字形设置的支架1，并于支架1上安装有螺旋传动机构2，支架1设置于密封腔5的上部接触面上，螺旋传动机构2作用于上部盖板3上，通过旋转螺旋传动机构2，带动上部盖板3沿远离或靠近密封腔5的方向运动，从而实现上部盖板3的打开和关闭，结构简单，操作方便。

具体的，支架1包括底座11、侧板12以及顶板13，优选的，底座11设置两个，两底座11间隔布置，同时，在两底座11上分别设置有一垂直于底座11设置的侧板12，即两侧板12平行且间隔布置，并且在两侧板12的上端设置有一顶板13，顶板13设置有两侧板12之间，且顶板13的两端分别固定于两侧板12上，同时，在顶板13的中部开设有一通孔131，其中，底座11设置于密封腔5的上部接触面上，侧板12沿垂直于密封腔5的上部接触面的方向设置。

具体的，螺旋传动机构2包括丝杆21、撬片22以及扳手23，丝杆21的一端位于顶板13的下方，丝杆21的另一端位于顶板13的上方，即丝杆21一端穿过顶板13上的通孔131至顶板13的下方，且丝杆21穿过通孔131的一端延伸至两底座11形成的平面处，丝杆21的轴线方向平行于侧板12的设置方向，且丝杆21的轴线方向还垂直于底座11，保证了丝杆21沿垂直于密封腔5的上部接触面设置，并且丝杆21上套设有一撬片22，撬片22位于顶板13的下方，撬片22与丝杆21为螺纹连接，并且撬片22的一侧伸出侧板12的侧边，使得撬片22伸出侧板12的侧边能伸入到上部盖板3的侧壁上的凹槽中，同时，在丝杆21上且位于顶板13的上方设置有扳手23，操作者通过扳手23旋转丝杆21，使得丝杆21带动撬片22在沿丝杆21的轴向上做轴向运动，将小的扭矩转化呈大的轴向力，从而带动上部盖板3沿丝杆21的轴向运动，从而实现上部盖板3沿远离或靠近密封腔5的方向运动，从而实现上部盖板3的开启和关闭，结构简单，重量轻，同时，可单人手动操作，操作更方便，实用性和使用效率更高，更利于行业的发展。

作为优选的实施方式，每一底座11上均开设有固定孔111，且固定孔111与密封腔5的上部接触面上的螺丝对应，易于将支架1固定于密封腔5上，稳定性更高，安全性更好，同时，带有底座11的支架1也能在其他设备上使用，即使没有固定螺丝也能保证支架1的稳定性，适应性更高。

作为优选的实施方式，在两侧板12之间设置有加强板14，加强板14的两端分别固定于两侧板12的侧边上，加强板14的顶部连接于顶板13的底面上，同时，加强板14位于侧板12背离撬片22伸出的一侧，能在不影响撬片22动作的情况下，加强过了支架1的支撑强度，支撑稳定性更高，更安全。

作为优选的实施方式，撬片22呈矩形的板状设置，且撬片22设置于两侧板12之间，撬片22的对角线长度长于两侧板12之间的距离长度，能限制撬片22在支架1上的位置，防止在旋转丝杆21时，撬片22跟随丝杆21转动而无法开启上部盖板3的问题发生。

作为优选的实施方式，丝杆21上套设有撬片22的一端的端部设置有限位顶块212，限位顶块212的尺寸大于丝杆21的直径尺寸，既能防止撬片22在丝杆21方向旋转时与丝杆21脱落，还能对丝杆21起支撑作用，使丝杆21配合撬片22来实现上部盖板3的启闭。

作为优选的实施方式，扳手23和丝杆21为活动连接，丝杆21上且位于顶板13的上方的一端的侧壁上开设有一扳手孔211，扳手孔211沿丝杆21的径向贯穿丝杆21，同时，扳手23呈棒状设置，扳手23插入扳手孔211中实现对丝杆21的旋转。

本实施例提供的蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，包括放置于密封腔5上且两侧带有底座11的支架1，支架1上设置有螺旋传动机构2，螺旋传动机构2的丝杆21上设置有扳手23，且在丝杆21上还螺纹套设有撬片22，撬片22的一侧伸出支架1与上部盖板3的侧壁上的凹槽配合，结构简单，设计紧凑；通过设置支架1和螺旋传动机构2，将小的扭矩转化成沿丝杆21轴向的大的轴向力，从而实现对上部盖板3的开启和关闭，解决了由于密封圈4老化，上部盖板3和密封腔5粘合而难以开启的问题，同时，通过丝杆21的自锁功能，能防止上部盖板3撬开后自动回位，安全保障性更高，并且无需借助工具便可单人手动操作，操作便捷，实用性和使用效率更高，更利于行业的发展。

以上仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。

Claims

1.一种蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其特征在于，包括：支架和螺旋传动机构，其中，

所述支架一侧面形状呈“几”字形设置，所述支架包括底座、侧板以及顶板，所述底座设置有两个，且两所述底座间隔设置，并且每一所述底座上分别设置有一垂直的所述侧板，两所述侧板的顶部设置有所述顶板，所述顶板的两端分别连接于两所述侧板上，并且所述顶板的中间开设有一通孔；

所述螺旋传动机构包括丝杆、撬片以及扳手，所述丝杆一端穿过所述顶板上的所述通孔至所述顶板的下方，且所述丝杆穿过所述通孔的一端延伸至两所述底座形成的平面处，所述丝杆的轴线方向平行于所述侧板的同时还垂直于所述底座，并且所述丝杆上螺纹套设有一所述撬片，所述撬片位于所述顶板的下方，所述撬片的一侧伸出所述侧板的侧边，同时，在所述丝杆上且位于所述顶板的上方设置有所述扳手。

2.根据权利要求1所述的蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其特征在于，每一所述底座上均开设有固定孔，所述固定孔与密封腔的上部接触面上的螺丝对应。

3.根据权利要求1所述的蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其特征在于，所述撬片呈矩形的板状设置，且所述撬片设置于两所述侧板之间，所述撬片的对角线长度长于两所述侧板之间的距离长度。

4.根据权利要求1所述的蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其特征在于，两所述侧板之间设置有加强板，所述加强板的两端分别连接于两所述侧板的侧边上，所述加强板的顶部连接于所述顶板的底面上，同时，所述加强板位于所述侧板背离所述撬片伸出的一侧。

5.根据权利要求1所述的蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其特征在于，所述丝杆上套设有所述撬片的一端的端部设置有限位顶块，所述限位顶块的尺寸大于所述丝杆的直径尺寸。

6.根据权利要求1所述的蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其特征在于，所述丝杆上且位于所述顶板的上方的侧壁上开设有一扳手孔，所述扳手孔沿所述丝杆径向贯穿所述丝杆。

7.根据权利要求6所述的蚀刻设备密封腔上部盖板的拆卸工具，其特征在于，所述扳手呈棒状设置，所述扳手插设在所述丝杆的所述扳手孔中。