CN209356846U - 一种dmd数字光刻镜头 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及光刻机镜头技术领域，特别涉及一种DMD数字光刻镜头；包括：镜筒、镜片组、镜片固定装置和防尘罩；镜筒与防尘罩螺纹连接，镜筒内设置有镜片固定装置，镜片固定装置包括固定支架、固定轴一、固定轴二，挡片，挡片固定在固定支架上，固定轴一和固定轴二固定在固定支架的两侧，固定轴上套设有镜框，镜片组设置在镜筒的内腔镜框内，镜框内设置有垫片，垫片下方设置有顶丝，垫片上方放置镜片，镜片上方设置有固定片，解决了现有镜头拆卸困难，清洗、替换等不方便问题，镜头的镜片相对位置可根据实际需要调节，镜片与镜框的位置可微调。
Description
技术领域
本实用新型涉及光刻机镜头技术领域，特别涉及一种DMD数字光刻镜头。
背景技术
DMD数字无掩模光刻系统是成熟的现有技术，光刻投影镜头需要将镜头中的每个镜片精确定位，位置精度需要达到微米甚至是亚微米的水平，同时，倾斜偏差度要小于一微米。位于镜筒中的镜片镜面的洁净度直接影响了光刻机的成像质量和生产效率。因此，在实际生产中，光刻机的镜头清洁工作是光刻机日常养护中的重要部分。随着光刻机使用时间的增加，在光刻机工作时灰尘或水汽会吸附到镜片表面上，严重影响了光刻机的成像质量及生产效率，此时需要对机械件进行清洁。传统的光刻机镜头不仅结构复杂，给工作中的拆卸过程增加了难度，不方便清洗和替换，安装镜片时，需要花费相当长的时间及精力对光学组件中的镜片进行重新定位校对，固定、调整等，费时费力。
发明内容
本实用新型的目的是解决现有镜头拆卸困难，清洗、替换等不方便的问题，提供了一种DMD数字光刻镜头，拆卸方便，清洗、替换容易，镜头的镜片相对位置可根据实际需要调节，镜片与镜框的位置可微调。
本实用新型提供的技术方案为：
一种DMD数字光刻镜头，包括：镜筒1、镜片组2、镜片固定装置3和防尘罩4；其中防尘罩4螺纹连接在镜筒1下方，镜片固定装置3固定在镜筒1内腔壁上，
镜片固定装置3包括固定支架5、固定轴一6、固定轴二7，挡片8和镜框10，其中固定支架5固定在镜筒1内腔壁上，挡片8固定在固定支架5上，固定轴一6和固定轴二7分别固定在固定支架5的两侧，固定轴一6上套设有4个镜框10，固定轴二7上套设有3个镜框10，相邻两个镜框10一个与固定轴一6活动连接，另一个与固定轴二7活动连接，每个镜框10的中心点均在一条直线上；固定轴一6和固定轴二7上设置有刻度；
镜片组2包括第一双凸镜片11、第二弯月镜片12、第三镜片组13、第四弯月镜片14、第五平凸镜片15、第六镜片组16、第七弯月镜片17，第三镜片组13和第六镜片组16均由一个双凸镜片和一个平凹面镜片胶合而成，第一双凸镜片11设置在最下方的镜框10内，第二弯月镜片12、第三镜片组13、第四弯月镜片14、第五平凸镜片15、第六镜片组16、第七弯月镜片17从下往上依次设置在倒数第二至第七个镜框10内。
所述的挡片8为半圆形，固定在固定轴一6与固定轴二7之间，挡片8的内壁与镜框10外圆周贴合，镜框10旋转到固定支架5内部时可以触碰到挡片8，且镜框10触碰到挡片8时与挡片8贴合。
所述的第一双凸镜片11、第二弯月镜片12、第三镜片组13、第四弯月镜片14、第五平凸镜片15、第六镜片组16和第七弯月镜片17的边缘均设置有固定凸起边22，各固定凸起边22的规格和形状一致，便于与镜框10配合安装，镜片装配时固定凸起边22放置在镜框10上。
所述的镜框10上设置有固定块19和螺纹孔21，固定块19上设置有轴孔20，当安装固定轴一6时，固定轴一6穿过镜框10的轴孔20，并通过螺钉与螺纹孔21适配将镜框10固定在固定轴一6上，当安装固定轴二7时，固定轴二7穿过镜框10的轴孔20，并通过螺钉与螺纹孔21适配将镜框10固定在固定轴二7上，镜框10内设置有垫片18，所述垫片18下方设置有顶丝23，垫片18上方放置镜片，固定片9螺纹固定在镜框10内，对镜片进行固定。
本实用新型的有益效果：
拆卸方便，清洗、替换容易，而且镜头的镜片相对位置可根据实际需要调节，镜片与镜框的位置可微调。
附图说明
图1为本实用新型主视图。
图2为本实用新型镜片固定装置结构示意图。
图3为本实用新型镜片组剖视图。
图4为本实用新型镜片固定装置剖视图。
图5为本实用新型镜框结构示意图。
其中：1镜筒，2镜片组，3镜片固定装置，4防尘罩，5固定支架，6固定轴一，7固定轴二，8挡片，9固定片，10镜框，11第一双凸镜片，12第二弯月镜片，13第三镜片组，14第四弯月镜片，15第五平凸镜片，16第六镜片组，17第七弯月镜片，18垫片，19固定块，20轴孔，21螺纹孔，22固定凸起边，23顶丝。
具体实施方式
如图1所示，一种DMD数字光刻镜头，包括：镜筒1、镜片组2、镜片固定装置3和防尘罩4；其中防尘罩4螺纹连接在镜筒1下方，防尘罩4对镜筒1底部的镜片起保护作用，镜筒1外底部边缘设置有外螺纹，防尘罩4设置有内螺纹，镜片固定装置3固定在镜筒1内腔壁上，
如图2、图4所示，镜片固定装置3包括固定支架5、固定轴一6、固定轴二7，挡片8和镜框10，其中固定支架5通过螺钉固定在镜筒1内腔壁上，挡片8固定在固定支架5上，固定轴一6和固定轴二7分别固定在固定支架5的两侧，固定轴一6上套设有4个镜框10，固定轴二7上套设有3个镜框10，相邻两个镜框10一个与固定轴一6活动连接，另一个与固定轴二7活动连接，即使不对镜框10、固定轴一6和固定轴二7进行拆卸也可以通过活动镜框10调整镜框10之间的相对位置，在将镜片安装在镜框10后，也可根据需要对镜片的位置进行调节，使用起来方便快捷；每个镜框10的中心点均在一条直线上；固定轴一6和固定轴二7上设置有刻度，可对镜框10在轴上的位置进行标记；
所述的挡片8为半圆形，固定在固定轴一6与固定轴二7之间，挡片8的内壁弧度与镜框10外圆周贴合，镜框10旋转到固定支架5内部时可以触碰到挡片8，且镜框10触碰到挡片8时与挡片8贴合。当对镜框10进行安装时，镜框10的水平位置由挡片8限定，挡片8的内壁弧度与镜框10外圆周贴合，当镜框10固定时，镜框10旋转到位，正好触碰到挡片8，7组镜框10均与挡片8贴合，保证所有的镜框10的中心点在一条直线上；
如图3所示，镜片组2包括第一双凸镜片11、第二弯月镜片12、第三镜片组13、第四弯月镜片14、第五平凸镜片15、第六镜片组16、第七弯月镜片17，第三镜片组13和第六镜片组16均由一个双凸镜片和一个平凹面镜片胶合而成，这种设计方视野大，数值孔径小，采用单片大口径正透镜，像方后组数值孔径大，分辨率高，采用多组镜片进行结合，有效消除像差、畸变，第一双凸镜片11设置在镜筒1内腔前端下方最下方的镜框10内，第二弯月镜片12、第三镜片组13、第四弯月镜片14、第五平凸镜片15、第六镜片组16、第七弯月镜片17从下往上依次设置在镜筒1前端内腔中倒数第二至第七个镜框10内；
所述的第一双凸镜片11、第二弯月镜片12、第三镜片组13、第四弯月镜片14、第五平凸镜片15、第六镜片组16和第七弯月镜片17边缘均设置有固定凸起边22，各固定凸起边22的规格和形状一致，便于与镜框10配合安装，镜片装配时固定凸起边22放置在镜框10上；
如图5所示，所述的镜框10上设置有固定块19和螺纹孔21，固定块19上设置有轴孔20，当安装固定轴一6时，固定轴一6穿过镜框10的轴孔20，并通过螺钉与螺纹孔21适配将镜框10固定在固定轴一6上，当安装固定轴二7时，固定轴二7穿过镜框10的轴孔20，并通过螺钉与螺纹孔21适配将镜框10固定在固定轴二7上，镜框10内设置有三个垫片18，均匀放置在镜框10上，所述垫片18下方设置有顶丝23，垫片18上方放置镜片，顶丝23可以对镜片在镜框10上的位置进行调整，垫片18保护镜片不被顶丝23划伤，镜框10上设置有内螺纹，固定片9外边缘设置有外螺纹，固定片9螺纹固定在镜框10内，对镜片进行固定；
固定轴一6和固定轴二7的高度大于七个镜框10的总高度，镜框10在固定轴一6和固定轴二上7的位置、高度和相互之间的距离可调整，各镜框10之间的相对位置也可根据需要进行调整，可单个旋出，方便镜片的安装和拆卸，也方便光阑等器件的安置。
Claims (4)
1.一种DMD数字光刻镜头，其特征在于包括：镜筒(1)、镜片组(2)、镜片固定装置(3)和防尘罩(4)；其中防尘罩(4)螺纹连接在镜筒(1)下方，镜片固定装置(3)固定在镜筒(1)内腔壁上，
镜片固定装置(3)包括固定支架(5)、固定轴一(6)、固定轴二(7)，挡片(8)和镜框(10)，其中固定支架(5)固定在镜筒(1)内腔壁上，挡片(8)固定在固定支架(5)上，固定轴一(6)和固定轴二(7)分别固定在固定支架(5)的两侧，固定轴一(6)上套设有(4)个镜框(10)，固定轴二(7)上套设有(3)个镜框(10)，相邻两个镜框(10)一个与固定轴一(6)活动连接，另一个与固定轴二(7)活动连接，每个镜框(10)的中心点均在一条直线上；固定轴一(6)和固定轴二(7)上设置有刻度；
镜片组(2)包括第一双凸镜片(11)、第二弯月镜片(12)、第三镜片组(13)、第四弯月镜片(14)、第五平凸镜片(15)、第六镜片组(16)、第七弯月镜片(17)，第三镜片组(13)和第六镜片组(16)均由一个双凸镜片和一个平凹面镜片胶合而成，第一双凸镜片(11)设置在最下方的镜框(10)内，第二弯月镜片(12)、第三镜片组(13)、第四弯月镜片(14)、第五平凸镜片(15)、第六镜片组(16)、第七弯月镜片(17)从下往上依次设置在倒数第二至第七个镜框(10)内。
2.根据权利要求1所述的一种DMD数字光刻镜头，其特征在于所述的挡片(8)为半圆形，固定在固定轴一(6)与固定轴二(7)之间，挡片(8)的内壁与镜框(10)外圆周贴合，镜框(10)旋转到固定支架(5)内部时可以触碰到挡片(8)，且镜框(10)触碰到挡片(8)时与挡片(8)贴合。
3.根据权利要求1所述的一种DMD数字光刻镜头，其特征在于所述的第一双凸镜片(11)、第二弯月镜片(12)、第三镜片组(13)、第四弯月镜片(14)、第五平凸镜片(15)、第六镜片组(16)和第七弯月镜片(17)的边缘均设置有固定凸起边(22)，各固定凸起边(22)的规格和形状一致，便于与镜框(10)配合安装，镜片装配时固定凸起边(22)放置在镜框(10)上。
4.根据权利要求1所述的一种DMD数字光刻镜头，其特征在于所述的镜框(10)上设置有固定块(19)和螺纹孔(21)，固定块(19)上设置有轴孔(20)，当安装固定轴一(6)时，固定轴一(6)穿过镜框(10)的轴孔(20)，并通过螺钉与螺纹孔(21)适配将镜框(10)固定在固定轴一(6)上，当安装固定轴二(7)时，固定轴二(7)穿过镜框(10)的轴孔(20)，并通过螺钉与螺纹孔(21)适配将镜框(10)固定在固定轴二(7)上，镜框(10)内设置有垫片(18)，所述垫片(18)下方设置有顶丝(23)，垫片(18)上方放置镜片，固定片(9)螺纹固定在镜框(10)内，对镜片进行固定。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201821827256.XU CN209356846U (zh) | 2018-11-07 | 2018-11-07 | 一种dmd数字光刻镜头 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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Family
ID=67782386
Family Applications (1)
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| CN201821827256.XU Active CN209356846U (zh) | 2018-11-07 | 2018-11-07 | 一种dmd数字光刻镜头 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN209356846U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112987141A (zh) * | 2021-02-05 | 2021-06-18 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种长寿命防静电空间光学镜头 |
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2018
- 2018-11-07 CN CN201821827256.XU patent/CN209356846U/zh active Active
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