CN209255392U - 一种靶材除尘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种靶材除尘装置，包括旋转底座、吹风口、吸尘网罩和罩壳，所述旋转底座用于安放靶材；多个吹风口分别位于靶材的上端面上方和侧面旁边；从吹风口吹出的风向朝向靶材的上端面和侧面；所述吸尘网罩涂布有不干胶，吸尘网罩将旋转底座、靶材和吹风口罩在吸尘网罩内腔中；所述罩壳内壁涂布有不干胶，罩壳将吸尘网罩罩在罩壳内腔中。位于靶材上端面上方的吹风口吹出的气流与靶材的上端面的夹角呈25°‑35°。位于靶材侧面旁边的吹风口吹出的气流与靶材的侧面切线在水平方向上的夹角呈25°‑35°。本除尘装置可以满足除尘工序的技术要求，具有除尘快速、除尘效率高、降低操作人员的用眼强度，除尘彻底的优点。

Description

一种靶材除尘装置

技术领域

本实用新型涉及靶材除尘领域，尤其是一种靶材除尘装置。

背景技术

靶材生产过程的最后工序是人工除尘并封装，一颗几微米的灰尘就会直接导致芯片废品，所以除尘工序是在无尘车间由工人戴放大镜仔细检查靶材，发现灰尘用笔状细吹风筒吹掉灰尘。由于要求除尘小到微米级，所以除尘工人必须使用放大镜，然而放大镜视野很小，不但除尘效率极低，而且用小视野的放大镜进行全部观察是不可能、也就是无法保障彻底除尘。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述情况，提供一种靶材除尘装置，这种除尘装置对5微米以上的灰尘颗粒消除效果优秀，可以满足除尘工序的技术要求。

实现本实用新型目的的技术方案是：

一种靶材除尘装置，包括

旋转底座，所述旋转底座用于安放靶材；

吹风口，多个吹风口分别位于靶材的上端面上方和侧面旁边；从吹风口吹出的风向朝向靶材的上端面和侧面；

吸尘网罩，所述吸尘网罩涂布有不干胶，吸尘网罩将旋转底座、靶材和吹风口罩在吸尘网罩内腔中；

罩壳，所述罩壳内壁涂布有不干胶，罩壳将吸尘网罩罩在罩壳内腔中。

进一步，位于靶材上端面上方的吹风口吹出的气流与靶材的上端面的夹角呈25°-35°。

进一步，位于靶材侧面旁边的吹风口吹出的气流与靶材的侧面切线在水平方向上的夹角呈25°-35°。

进一步，所述不干胶为油性不干胶。

进一步，旋转底座的转动方向与吹风口吹出的风向相反。

进一步，旋转底座的转动速度为15-25转/分钟。

进一步，所述旋转底座与电机连接。

进一步，所述吹风口通过吹风管道与鼓风机连接。

进一步，所述的吸尘网罩和罩壳呈圆柱体状。

进一步，包括底座，所述旋转底座设置在底座的上端面，所述底座上端面设有与吸尘网罩的下端口相适配的第一凹槽，所述吸尘网罩置于第一凹槽上，所述底座上端面设有与罩壳的下端口相适配的第二凹槽，所述罩壳置于第二凹槽上。

电机设置在底座内，与吹风口连通的吹风管道的一端设置在底座的上端面，吹风管道的另一端穿出底座外与鼓风机连通。

将靶材放入除尘装置中的旋转底座上，打开鼓风机，由吹风口出风，除尘2分钟，再翻转靶材，使原靶材的底面朝上，除尘2分钟，即可完成除尘进行封装。

本装置是在一个封闭的圆柱体状罩壳壳体内，引入切向气流，形成与旋转底座转动方向相反的负压旋转气流，即使气流中的灰尘颗粒离心旋转，在离心运动的灰尘颗粒接触到吸尘网罩时有机会被吸附在不干胶上，如果未能吸附而穿过吸尘网罩则在撞击罩壳内壁时将吸附于罩壳内壁的不干胶上，对于极少数未吸附的灰尘有机会被吸附于吸尘网罩的不干胶上，该结构吸附灰尘效率高，极大地降低了灰尘在装置中飞行的时间长度。

实验证明本除尘装置对5μm以上的灰尘颗粒消除效果优秀，可以满足除尘工序的技术要求，具有除尘快速、除尘效率高、降低操作人员的用眼强度，除尘彻底的优点。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图；

图2为靶材的上端面与除尘风向的示意图；

图3为靶材的侧面与除尘风向的示意图。

图中，1.旋转底座 2.靶材 3.吹风口 4.吸尘网罩 5.罩壳 6.电机 7.吹风管道8.鼓风机 9.底座 10.第一凹槽 11.第二凹槽

弧形箭头表示旋转底座1和靶材的旋转方向，直线箭头表示吹风口3吹出的风向。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

参照图1图2所示，一种靶材除尘装置，包括

旋转底座1，所述旋转底1座用于安放靶材2；

吹风口3，多个吹风口3分别位于靶材2的上端面上方和侧面旁边；从吹风口3吹出的风向朝向靶材2的上端面和侧面；

吸尘网罩4，所述吸尘网罩4涂布有不干胶，吸尘网罩4将旋转底座1、靶材2和吹风口3罩在吸尘网罩4内腔中；

罩壳5，所述罩壳5内壁涂布有不干胶，罩壳5将吸尘网罩4罩在罩壳5内腔中。

如图2所示，位于靶材2上端面上方的吹风口3吹出的气流与靶材2的上端面的夹角呈25°-35°，本例为30°，使吹风口3吹出的气流更容易吹到灰尘的底部，使灰尘更容易被吹离靶材。

如图3所示，位于靶材2侧面旁边的吹风口3吹出的气流与靶材2的侧面切线在水平方向上的夹角呈25°-35°，本例为30°使吹风口3吹出的气流更容易吹到灰尘的底部，使灰尘更容易被吹离靶材。

所述不干胶为油性不干胶，油性不干胶的油性胶水层比水性不干胶具有初粘性较好和粘性较长久，耐温性好的优点，适合用于此处。

旋转底座1的转动方向与吹风口3吹出的风向相反，进一步加强除尘效果。

旋转底座1的转动速度为15-25转/分钟，本例为20转/分钟，合适的转速可以兼顾除尘效果和除尘效率。

所述旋转底座1与电机6连接，由电机6提供旋转动力。

所述吹风口3通过吹风管道7与鼓风机8连接，由鼓风机8提供风力。

所述的吸尘网罩4和罩壳5呈圆柱体状，使罩壳5内腔在吹风口3的作用下形成稳定的旋转气流。

包括底座9，所述旋转底座1设置在底座9的上端面，所述底座9上端面设有与吸尘网罩4的下端口相适配的第一凹槽10，所述吸尘网罩4置于第一凹槽10上，所述底座9上端面设有与罩壳5的下端口相适配的第二凹槽11，所述罩壳5置于第二凹槽11上。

电机6设置在底座9内，与吹风口3连通的吹风管道7的一端设置在底座9的上端面，吹风管道7的另一端穿出底座9外与鼓风机8连通。

吸尘网罩4和罩壳5可以定期更换和处理，一般情况先更换处理数次吸尘网罩4再更换处理罩壳5，吸尘网罩4采用金属丝材质制成经纬交错的金属丝网，再制成网罩，如不锈钢丝网罩。

将靶材2放入除尘装置中的旋转底座1上，打开鼓风机8，由吹风口3出风，除尘2分钟，再翻转靶材2，使靶材2底面朝上，除尘2分钟，即可完成靶材除尘进行封装。

本装置是在一个封闭的圆柱体状罩壳5壳体内，从吹风口3吹出切向气流，形成与旋转底座转动方向相反的负压旋转气流，即使气流中的灰尘颗粒离心旋转，在离心运动的灰尘颗粒接触到吸尘网罩4时有机会被吸附在不干胶上，如果未能吸附而穿过吸尘网罩4则在撞击罩壳5内壁时将吸附于罩壳5内壁的不干胶上，对于极少数未吸附的灰尘有机会被吸附于吸尘网罩4的不干胶上，该结构吸附灰尘效率高，极大地降低了灰尘在装置中飞行的时间长度。实验证明该方法对5微米以上的灰尘颗粒消除效果优秀，可以满足除尘工序的技术要求。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种靶材除尘装置，其特征在于，包括

旋转底座，所述旋转底座用于安放靶材；

吹风口，多个吹风口分别位于靶材的上端面上方和侧面旁边；从吹风口吹出的风向朝向靶材的上端面和侧面；

吸尘网罩，所述吸尘网罩涂布有不干胶，吸尘网罩将旋转底座、靶材和吹风口罩在吸尘网罩内腔中；

罩壳，所述罩壳内壁涂布有不干胶，罩壳将吸尘网罩罩在罩壳内腔中。

2.根据权利要求1所述的靶材除尘装置，其特征在于，位于靶材上端面上方的吹风口吹出的气流与靶材的上端面的夹角呈25°-35°。

3.根据权利要求1所述的靶材除尘装置，其特征在于，位于靶材侧面旁边的吹风口吹出的气流与靶材的侧面切线在水平方向上的夹角呈25°-35°。

4.根据权利要求1所述的靶材除尘装置，其特征在于，所述不干胶为油性不干胶。

5.根据权利要求1所述的靶材除尘装置，其特征在于，旋转底座的转动方向与吹风口吹出的风向相反。

6.根据权利要求1所述的靶材除尘装置，其特征在于，旋转底座的转动速度为15-25转/分钟。

7.根据权利要求1所述的靶材除尘装置，其特征在于，所述的吸尘网罩和罩壳呈圆柱体状。

8.根据权利要求1所述的靶材除尘装置，其特征在于，包括底座，所述旋转底座设置在底座的上端面，所述底座上端面设有与吸尘网罩的下端口相适配的第一凹槽，所述吸尘网罩置于第一凹槽上，所述底座上端面设有与罩壳的下端口相适配的第二凹槽，所述罩壳置于第二凹槽上。