CN209190724U - 器件放置载具 - Google Patents

Abstract

一种器件放置载具，其特征在于，包含:至少四个支撑结构，四个支撑结构以矩形设置；以及多个层板，各层板设置于支撑结构，使得支撑结构与层板构成的空间可容置载具盒，据此以提高操作便利性，并提高器件放置载具的空间利用率。

Description

器件放置载具

技术领域

本实用新型关于一种器件放置载具，特别是关于一种晶圆盒或是半导体零件的放置载具。

背景技术

于有机金属化学气相沉积(MOCVD)系统中,设备人员会有周期性的排程规划,依据既定的排程针对设备保养维护,于保养过程中,所需更换的零组件多达10样以上且各项零组件是不可堆栈,避免破损或刮伤的问题发生,由于原厂设备设计的传递箱空间有限且无分层规划，空间使用率非常的低,每次人员更换一套零组件皆需数次的传递箱氮气充抽下,才能将全部欲的更换的零组件放进系统的手套箱中,不仅费时费力,在操作的过程中,零组件并无机构可保护,甚至有机会造成人员人为上的疏失,使贵重的零组件受损,也使得第一线量产厂人员保养操作上的不便利。

实用新型内容

根据现有技术中所揭露的问题，本实用新型器件放置载具的设计，可以提高操作便利性，同时避免机构空间中无谓的浪费。

本实用新型的主要目的在于提供一种人员操作便利，提高操作人员效率的器件放置载具。机构空间利用率高的器件放置载具。

根据上述目的，本实用新型提供一种器件放置载具，其特征在于，包含:至少四个支撑结构，四个支撑结构以矩形设置；以及多个层板，各层板设置于支撑结构，使得支撑结构与层板构成的空间可容置载具盒。同时放置于容置空间的载具盒也利于操作人员的取放，提高操作人员的效率。

本实用新型的另一目的在于提供一种机构空间利用率高的器件放置载具。

根据上述目的，本实用新型提供一种器件放置载具，其特征在于，包含:至少四个支撑结构，支撑结构与支撑结构之间两两互相平行并以矩形设置，层板设置在支撑结构的顶端及嵌合于支撑结构侧边除了顶端及底端的中间任何位置，使得在层板与层板之间构成容置空间，同时层板与支撑结构底部之间也构成容置空间，提高器件放置载具的空间利用率。

附图说明

图1是根据本实用新型所揭露的技术，表示器件放置载具之示意图；

图2是根据本实用新型所揭露的技术，表示器件放置载具之透视图；

图3是根据本实用新型所揭露的技术，表示器件放置载具之流程图；

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术特征及优点，能更为相关技术领域人员所了解，并得以实施本实用新型，在此配合所附的图式、具体阐明本实用新型的技术特征与实施方式，并列举较佳实施例进一步说明。以下文中所对照的图式，为表达与本实用新型特征有关的示意，并未亦不需要依据实际情形完整绘制。而关于本案实施方式的说明中涉及本领域技术人员所熟知的技术内容，亦不再加以陈述。

请参阅图1，系为本实用新型之器件放置载具之示意图。首先，如图1所示，本实用新型之器件放置载具包括：至少四个支撑结构10，且支撑结构10与支撑结构10之间两两互相平行并以矩形设置，另外，支撑结构10与支撑结构10之间的矩形设置可以是长方形或是正方形；多个层板20，各层板20设置于在支撑结构10的顶端，使得由顶端至支撑结构10底部之间构成容置空间30，于容置空间30内可放置载具盒40，载具盒40的种类可以是晶圆盒或是半导体零件。

在一实施例中，支撑结构10与支撑结构10之间两两互相平行并以矩形设置，而层板20设置在支撑结构10的顶端及嵌合于支撑结构10侧边除了顶端及底端的中间任何位置，使得在层板20与层板20之间构成容置空间30，同时层板20与支撑结构10底部之间也构成容置空间30，提高器件放置载具的空间利用率，其中层板20与层板20之间的适当高度是根据要置放在器件放置载具内的晶圆盒或是半导体零件的高度而决定。另外，容置空间30内的层板20上可放置载具盒40，载具盒40的种类可以是晶圆盒或是半导体零件，且晶圆盒或是半导体零件可容置于层板20与层板20之间所构成容置空间30或是可放置于层板20与支撑结构10底部之间的容置空间30内，同时放置于容置空间30的晶圆盒或是半导体零件也利于操作人员的取放，提高操作人员的效率。

接着，请参阅图2，系为本实用新型之器件放置载具之透视图。首先，如图2所示，本实用新型之器件放置载具包含：至少四个支撑结构10，且支撑结构10与支撑结构10之间两两互相平行并以矩形设置；多个层板20，各层板20设置于支撑结构10的顶端及嵌合于支撑结构10侧边除了顶端及底端的中间任何位置，使得在层板20与层板20之间以及层板20与支撑结构10底部之间构成容置空间30，于容置空间30内可放置载具盒40。同时，在支撑结构10与层板20上分别设置定位装置(未在图中标示)，用以固定载具盒40，使载具盒40在运送过程中不会因晃动而有所损伤。在另一实施例中，本实用新型之器件放置载具还包含传递箱，传递箱可以用来容置器件放置载具，方便运送携带，同时，在传递箱内设置定位装置(未在图中标示)，用以固定器件放置载具，使器件放置载具在运送过程中不会因晃动而有所损伤。

再接着，请参阅图3，并同时配合图2。图3系为本实用新型之器件放置载具之流程图。首先，如图3所示，于步骤101，量测零组件的尺寸大小并进行分类，依照零组件的尺寸大小选定符合规格的载具盒40；接著，于步骤102，确认传递箱的长、宽、高所构成的空间大小；再接著，于步骤103，以传递箱的最大承载空间及分层方式设置器件放置载具的空间大小；接著，于步骤104，将具有分层结构的器件放置载具置放于传递箱内，使得器件放置载具所包含的层板20与层板20之间以及层板20与支撑结构10底部之间构成容置空间30，并且可以放置载具盒40于容置空间30内；在步骤105中，设置定位装置于器件放置载具内避免载具盒40或是传递箱滑动，降低因运送过程中有所晃动而造成损伤的可能。

虽然本实用新型以前述之较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型，任何熟习本领域技艺者，在不脱离本实用新型之精神和范围内，当可作些许之更动与润饰，因此本实用新型之专利保护范围须视本说明书所附之申请专利范围所界定者为准。

Claims (10)

1.一种器件放置载具，其特征在于，包含:

至少四个支撑结构，所述四个支撑结构以矩形设置；以及

多个层板，各所述层板设置于所述支撑结构，使得所述支撑结构与所述层板构成的空间可容置载具盒。

2.如权利要求1所述的器件放置载具，其特征在于，所述支撑结构以两两平行设置。

3.如权利要求1所述的器件放置载具，其特征在于，所述矩形可以是长方形或是正方形。

4.如权利要求1所述的器件放置载具，其特征在于，所述层板设置在所述支撑结构的顶端，使得由所述顶端至所述支撑结构底部之间构成容置空间。

5.如权利要求4所述的器件放置载具，其特征在于，所述容置空间用以容置晶圆盒或是半导体零件。

6.如权利要求1所述的器件放置载具，其特征在于，所述层板设置在支撑结构的顶端及嵌合于所述支撑结构侧边除了顶端及底端的中间任何位置，使得在所述层板与所述层板之间构成容置空间。

7.如权利要求6所述的器件放置载具，其特征在于，所述层板用以承载半晶圆盒或是半导体零件，且所述晶圆盒或是半导体零件可容置于在所述支撑结构之间由上层层板及下层层板所构成的所述容置空间内。

8.如权利要求1、4、6或7所述的器件放置载具，其特征在于，所述层板上设置有定位装置。

9.如权利要求1、4、6或7所述的器件放置载具，其特征在于，所述支撑结构上设置有定位装置。

10.如权利要求1所述的器件放置载具，其特征在于，更包含传递箱用以容置所述器件放置载具。