CN209158130U - 一种夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种夹具，用于拆除连接在底座上的气体喷射器，其中包括：支架具有一通孔，通孔套设于气体喷射器的外部，以使气体喷射器自通孔穿出并至少部分位于支架的上方；升降装置对应通孔连接于支架的上方；升降装置包括：连接件用于固定气体喷射器；操作件连接连接件，并可操作地使连接件沿支架的垂直方向往复运动。本实用新型的技术方案有益效果在于：结构简单，制造成本低，技术人员可以通过该夹具的升降装置可操作地使连接件沿支架的垂直方向运动，以轻松拆除气体喷射器，解决了因手工拆除或专业拆除工具因施力不均匀而损坏气体喷射器的技术问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种用以拆除半导体加工设备中制冷系统的气体喷射器的夹具。
背景技术
气体喷射器是一种利用制冷系统自身的高压气体源做动力,不消耗任何额外的其他能源的动力装置,在半导体加工设备中已经有大量的实际应用。
在制冷系统经过长时间工作后，必须定期进行拆除与更换，在进行拆除与更换气体喷射器时，通常情况下，技术人员采用手动方式拆除气体喷射器，但当遇到难以拆除气体喷射器的情况时，需用专用的拆除工具进行拆除，专用的拆除工具重达20千克，需通过一边施力推与另一边施力拔协同完成，并且在进行手动施力推或施力拔的时候，施力不均匀或者拆除的方向不符合要求容易损坏气体喷射器，进而给企业造成损失。
发明内容
针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种旨在实现安全，省力地拆除气体喷射器夹具。
具体技术方案如下：
一种夹具，用于拆除连接在底座上的气体喷射器，其中包括：
一支架，所述支架具有一通孔，所述通孔套设于所述气体喷射器的外部，以使所述气体喷射器自所述通孔穿出并至少部分位于所述支架的上方；
一升降装置，所述升降装置对应所述通孔连接于所述支架的上方；所述升降装置包括：
一连接件，所述连接件用于固定所述气体喷射器；
一操作件，所述操作件连接所述连接件，并可操作地使所述连接件沿所述支架的垂直方向往复运动。
优选的，所述支架至少包括三个支撑脚；
所述支撑脚的高度大于所述底座的高度。
优选的，所述操作件包括：
一支撑部，所述支撑部位于所述支架的上方且连接所述支架；
一升降座，所述升降座架设于所述支撑部的顶部，所述升降座具有一螺纹孔；
一螺杆，与所述螺纹孔形成螺纹副，并与所述连接件连接；
一把手，固定于所述螺杆顶部。
优选的，所述支撑部包括内部中空的圆筒状。
优选的，所述支撑部至少包括三根支撑杆，每一所述支撑杆设置于所述升降座的外部。
优选的，所述支撑部的内径大于所述连接件的外径。
优选的，所述连接件包括：
一连接部，所述连接部连接所述螺杆；
一固定腔室，所述固定腔室连接所述连接部，所述固定腔室形状适配所述气体喷射器。
优选的，所述固定腔室的轴向方向开设一第一槽与一第二槽；
所述第一槽使所述固定腔室底部于轴向形成复数个簧片；
所述第二槽纵向设置于所述簧片中轴上；
所述第一槽与所述第二槽间隔设置。
优选的，所述复数个簧片形成一固定爪，所述簧片复位时所述固定爪与所述气体喷射器过盈配合。
优选的，所述固定腔室的内壁设置一橡胶层。
本实用新型的技术方案有益效果在于：结构简单，制造成本低，技术人员可以通过该夹具的升降装置可操作地使连接件沿支架的垂直方向运动，以轻松拆除气体喷射器，解决了因手工拆除或专业拆除工具因施力不均匀而损坏气体喷射器的技术问题。
附图说明
图1为本实用新型的实施例的夹具的结构示意图；
图2是本实用新型的实施例的夹具的侧视结构示意图；
图3是本实用新型的实施例的夹具的俯视结构示意图；
图4是本实用新型的实施例的连接件的结构示意图；
图5是本实用新型的实施例的连接件的侧视结构示意图；
图6是本实用新型的实施例的连接件的俯视结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。
一种夹具，用于拆除连接在底座上的气体喷射器，其中包括：
一支架1，支架1具有一通孔10，通孔10套设于气体喷射器的外部，以使气体喷射器自通孔10穿出并至少部分位于支架1的上方；
一升降装置2，升降装置2对应通孔10连接于支架1的上方；升降装置2包括：
一连接件20，连接件20用于固定气体喷射器；
一操作件21，操作件21连接连接件20，并可操作地使连接件20沿支架1的垂直方向往复运动。
通过上述夹具的技术方案，结合图1、2、3所示，夹具用于拆除连接在底座上的气体喷射器，在制冷系统经过长时间工作后，必须定期进行拆除与更换气体喷射器，首先将连接在底座上的气体喷射器放置于支架1的下方，并将升降装置2的连接件20对准气体喷射器，然后通过操作操作件21使连接件20沿支架1的垂直方向向下运动，直至连接件20与气体喷射器连接固定，然后反向操作操作件21使连接件20沿支架1的垂直方向向上运动，连接件20在外力作用下向上作反作用力运动，直至气体喷射器拆除；
进一步地，这种用于拆除连接在底座上的气体喷射器的夹具结构简单，制造成本低，技术人员可以通过该夹具的升降装置2可操作地使连接件20沿支架1的垂直方向运动，以轻松拆除气体喷射器，解决了因手工拆除或专业拆除工具因施力不均匀而损坏气体喷射器的技术问题。
在一种较优的实施例中，支架1至少包括三个支撑脚11；
支撑脚11的高度大于底座的高度。
具体地，结合图1、2、3所示，在进行拆除与更换气体喷射器时，可将连接在底座上的气体喷射器放置于支架1的下方，其中支架1至少包括三个支撑脚11，支撑脚11的高度大于底座的高度，这样使得支架1不会接触气体喷射器的底座，且可提供良好的支撑，为升降装置2反向操作时提供受力点。
在一种较优的实施例中，操作件21包括：
一支撑部210，支撑部210位于支架1的上方且连接支架1；
一升降座211，升降座211架设于支撑部210的顶部，升降座211具有一螺纹孔(在图中未示出)；
一螺杆212，与螺纹孔(在图中未示出)形成螺纹副，并与连接件20连接；
一把手213，固定于螺杆212顶部。
具体地，结合图1、2所示，在制冷系统经过长时间工作后，必须定期进行拆除与更换气体喷射器，首先将连接在底座上的气体喷射器放置于支架1的下方，并将升降装置2的连接件20对准气体喷射器，然后通过旋转把手213，带动螺杆212旋转，使得连接件20沿支架1的垂直方向向下运动，直至连接件20与气体喷射器连接固定，然后反向旋转把手213，带动螺杆212旋转，使得连接件20沿支架1的垂直方向向上运动，连接件20拉着气体喷射器向上运动，直至气体喷射器从底座中被拔出；
进一步地，这种用于拆除连接在底座上的气体喷射器的夹具结构简单，制造成本低，技术人员可以通过该夹具的升降装置2可操作地使连接件20沿支架1的垂直方向运动，以轻松拆除气体喷射器，解决了因手工拆除或专业拆除工具因施力不均匀而损坏气体喷射器的技术问题。
在一种较优的实施例中，支撑部210包括内部中空的圆筒状。
具体地，支撑部210用以连接升降座211与支架1，起到固定的作用，在进行拆除与更换气体喷射器时，需要通过旋转把手213，带动螺杆212旋转，使得连接件20沿支架1的垂直方向向上运动或向下运动，所以将支撑部210可以设置为中空的圆筒状，这种结构简单，制造成本低，适合于大批量的生产。
在一种较优的实施例中，支撑部210至少包括三根支撑杆，每一支撑杆设置于升降座211的外部。
具体地，结合图1、2所示，支撑部210用以连接升降座211与支架1，起到固定的作用，在进行拆除与更换气体喷射器时，需要通过旋转把手213，带动螺杆212旋转，使得连接件20沿支架1的垂直方向向上运动或向下运动，所以将支撑部210可以设置为三根支撑杆，这种结构简单，制造成本低，适合于大批量的生产。
在一种较优的实施例中，支撑部210的内径大于连接件20的外径。
具体地，结合图1、2所示，支撑部210用以连接升降座211与支架1，起到固定的作用，在进行拆除与更换气体喷射器时，需要通过旋转把手213，带动螺杆212旋转，使得连接件20沿支架1的垂直方向向上运动或向下运动，将支撑部210的内径设置为大于连接件20的外径，有利于连接件20沿支架1的垂直方向向上运动或向下运动的顺利进行。
在一种较优的实施例中，连接件20包括：
一连接部200，连接部200连接螺杆212；
一固定腔室201，固定腔室201连接连接部200，固定腔室201形状适配气体喷射器。
具体地，结合图4、6所示，连接部200用以连接螺杆212，固定腔室201用于固定气体喷射器，固定腔室201形状适配气体喷射器，有利于在进行拆除与更换气体喷射器时，能够稳定进行，避免发生掉落现象；
进一步地，在进行拆除与更换气体喷射器时，首先将连接在底座上的气体喷射器放置于支架1的下方，并将连接件20的固定腔室201对准气体喷射器，然后通过旋转把手213，带动螺杆212旋转，使得整个连接件20沿支架1的垂直方向向下运动，直至固定腔室201将气体喷射器固定于内，即连固定腔室201夹紧气体喷射器时，然后反向旋转把手213，带动螺杆212旋转，使得整个连接件20沿支架1的垂直方向向上运动，固定腔室201在外力作用下向上作反作用力运动，直至气体喷射器拆除；
进一步地，这种用于拆除连接在底座上的气体喷射器的夹具结构简单，制造成本低，技术人员可以通过该夹具的升降装置2可操作地使连接件20沿支架1的垂直方向运动，以轻松拆除气体喷射器，解决了因手工拆除或专业拆除工具因施力不均匀而损坏气体喷射器的技术问题。
在一种较优的实施例中，固定腔室201的轴向方向可开设一第一槽2010与一第二槽2011；
第一槽2010使固定腔室201底部于轴向形成复数个簧片2012；
第二槽2011纵向设置于簧片2012中轴上；
第一槽2010与第二槽2011间隔设置；
复数个簧片2012形成一固定爪，簧片2012复位时固定爪与气体喷射器过盈配合。
具体地，结合图5、6所示，在进行拆除与更换气体喷射器时，首先将连接在底座上的气体喷射器放置于支架1的下方，并将连接件20的固定腔室201对准气体喷射器，然后通过旋转把手213，带动螺杆212旋转，使得整个连接件20沿支架1的垂直方向向下运动，复数个簧片2012形成的固定爪在向下运动过程中接触气体喷射器，并在进一步下行过程中受压后径向张开，将气体喷射器套住，然后反向旋转把手213，带动螺杆212旋转，使得整个连接件20沿支架1的垂直方向向上运动，此时，压力逐渐消失，复数个簧片2012逐步复位进而抓紧气体喷射器，并拉着气体喷射器向上移动，直至气体喷射器被拔出；在该过程中，第一槽2010使复数个簧片2012可以顺利张开，第二槽2011使每个簧片2012在张开时可顺利的变形，不易发生弯折，并可降低簧片2012的刚性，避免气体喷射器受到簧片2012挤压时表面受损；
进一步地，这种用于拆除连接在底座上的气体喷射器的夹具结构简单，制造成本低，技术人员可以通过该夹具的升降装置2可操作地使连接件20沿支架1的垂直方向运动，以轻松拆除气体喷射器，解决了因手工拆除或专业拆除工具因施力不均匀而损坏气体喷射器的技术问题。
在一种较优的实施例中，固定腔室201的内壁设置一橡胶层(在图中未示出)。
具体地，为了尽可能避免损坏气体喷射器，本实施例中的固定腔室201的内壁设有一层橡胶层(在图中未示出)，橡胶层(在图中未示出)可以起到缓冲作用，可以在固定腔室201与气体喷射器过盈配合时，保护气体喷射器不受损坏。
需要说明的是，为了减轻夹具整体的重量，夹具均采用轻型且硬度大的材料，比如可以由铝制成也可以由其他轻型材料制成，在此不再赘述。
本实用新型的技术方案有益效果在于：结构简单，制造成本低，技术人员可以通过该夹具的升降装置可操作地使连接件沿支架的垂直方向运动，以轻松拆除气体喷射器，解决了因手工拆除或专业拆除工具因施力不均匀而损坏气体喷射器的技术问题。
以上仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (10)
1.一种夹具，用于拆除连接在底座上的气体喷射器，其特征在于，包括：
一支架，所述支架具有一通孔，所述通孔套设于所述气体喷射器的外部，以使所述气体喷射器自所述通孔穿出并至少部分位于所述支架的上方；
一升降装置，所述升降装置对应所述通孔连接于所述支架的上方；所述升降装置包括：
一连接件，所述连接件用于固定所述气体喷射器；
一操作件，所述操作件连接所述连接件，并可操作地使所述连接件沿所述支架的垂直方向往复运动。
2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述支架至少包括三个支撑脚；
所述支撑脚的高度大于所述底座的高度。
3.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述操作件包括：
一支撑部，所述支撑部位于所述支架的上方且连接所述支架；
一升降座，所述升降座架设于所述支撑部的顶部，所述升降座具有一螺纹孔；
一螺杆，与所述螺纹孔形成螺纹副，并与所述连接件连接；
一把手，固定于所述螺杆顶部。
4.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述支撑部包括内部中空的圆筒状。
5.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述支撑部至少包括三根支撑杆，每一所述支撑杆设置于所述升降座的外部。
6.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述支撑部的内径大于所述连接件的外径。
7.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述连接件包括：
一连接部，所述连接部连接所述螺杆；
一固定腔室，所述固定腔室连接所述连接部，所述固定腔室形状适配所述气体喷射器。
8.根据权利要求7所述的夹具，其特征在于，所述固定腔室的轴向方向开设一第一槽与一第二槽；
所述第一槽使所述固定腔室底部于轴向形成复数个簧片；
所述第二槽纵向设置于所述簧片中轴上；
所述第一槽与所述第二槽间隔设置。
9.根据权利要求8所述的夹具，其特征在于，所述复数个簧片形成一固定爪，所述簧片复位时所述固定爪与所述气体喷射器过盈配合。
10.根据权利要求7所述的夹具，其特征在于，所述固定腔室的内壁设置一橡胶层。
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