CN209043259U - 一种非接触式光学平行度测量装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种非接触式光学平行度测量装置，包括置于扩束系统输出端的可切换基准镜机构和置于扩束系统输入端的动态监测组件；所述可切换基准镜机构包括安装基座，固定于所述安装基座上的镜架，以及安装于所述基准反射镜；所述动态监测组件包括激光器，快速控制反射镜，半反半透镜和CCD传感器；所述激光器的激光经快速控制反射镜后发出平行光，该平行光经半反半透镜反射后，又经被测光学元件到达基准反射镜，光线经基准反射镜反射后在第二次经过被测光学元件之后经半反半透镜在CCD传感器的靶面上成像；其优点在于，通过激光来测量扩束系统的平行度，大大提高了测量精度，不仅操作简单、易实现，而且可实时动态监测。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种光学平行度测量装置，尤其是涉及一种非接触式光学平行度测量装置。
背景技术
目前，经过扩束后的光束平行度测量多采用同半径多角度远场光斑测量法，红外－可见基准转换CCD自准直测量法等。前者需在远场设立多个基准点而后将跟踪轴与激光光轴进行平行度标定；后者为避免直接测量强激光而引入一束基准光，并将基准光与强激光进行平行度校准，由基准光光轴代替强激光光轴。上述方法操作复杂、成本高、周期长，且不具实时性。
发明内容
本实用新型目的是：提供一种通过激光来测量扩束系统的平行度，大大提高了测量精度，不仅操作简单、易实现，而且可实时动态监测的非接触式光学平行度测量装置。
本实用新型的技术方案是：一种非接触式光学平行度测量装置，包括置于扩束系统输出端的可切换基准镜机构和置于扩束系统输入端的动态监测组件；所述可切换基准镜机构包括安装基座，固定于所述安装基座上的镜架，以及安装于所述镜架上的基准反射镜；所述动态监测组件包括激光器，快速控制反射镜，半反半透镜和CCD传感器；所述激光器的激光经快速控制反射镜后发出平行光，该平行光经半反半透镜反射后，又经被测光学元件到达基准反射镜，光线经基准反射镜反射后在第二次经过被测光学元件之后经半反半透镜在CCD传感器的靶面上成像。
作为优选的技术方案，在所述半反半透镜和所述CCD传感器之间设置有一会聚物镜。
作为优选的技术方案，在所述会聚物镜前加装衰减片镜组，所述衰减片镜组由若干个衰减片采用空气等间隔组成。
作为优选的技术方案，所述激光器的激光与所述快速控制反射镜的镜面呈45度设置。
作为优选的技术方案，所述基准反射镜采用石英玻璃镜。
作为优选的技术方案，所述激光器采用红外激光器。
本实用新型的优点是：
1.本实用新型通过激光来测量扩束系统的平行度，大大提高了测量精度，不仅操作简单、易实现，而且可实时动态监测。
2.本实用新型可为分体式扩束系统与激光器及跟瞄发射系统的对接提供装调的基准，并可在发射系统工作时为快速控制反射镜等光束方向调整装置提供作业依据。
附图说明
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型可切换基准镜机构的结构示意图；
其中：1安装基座，2镜架，3基准反射镜，4激光器，5快速控制反射镜，6半反半透镜，7 CCD传感器，8会聚物镜，9衰减片镜组，10被测光学元件。
具体实施方式
实施例：参照图1和图2所示，一种非接触式光学平行度测量装置，包括置于扩束系统输出端的可切换基准镜机构和置于扩束系统输入端的动态监测组件；该可切换基准镜机构包括安装基座1，固定于安装基座1上的镜架2，以及安装于镜架2上的基准反射镜3(该基准反射镜3采用石英玻璃镜)；该动态监测组件包括激光器4(该激光器4采用红外激光器)，快速控制反射镜5，半反半透镜6和CCD传感器7；激光器4的激光经快速控制反射镜5后发出平行光，该平行光经半反半透镜6反射后，又经被测光学元件10到达基准反射镜3，光线经基准反射镜3反射后在第二次经过被测光学元件10之后经半反半透镜6在CCD传感器7的靶面上成像。
本实用新型在半反半透镜6和CCD传感器7之间设置有一会聚物镜8，同时激光器4的激光与快速控制反射镜5的镜面呈45度设置，以保证激光器4的激光经快速控制反射镜5后发出平行光。
防止会聚于CCD传感器7的靶面上的激光能量过强，在会聚物镜8前加装衰减片镜组9，该衰减片镜组9由若干个衰减片采用空气等间隔组成，在总厚度一定的情况下尽量增加衰减片的数量，增加空气间隔，确保衰减片镜组使用寿命。
本实用新型CCD传感器7的靶面以平行光首次经半反半透镜6后的反射光线的反向延长线作为中心，当成像中心与CCD传感器7的靶面中心的偏差为0时，即完成了角度偏差的调整。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种非接触式光学平行度测量装置，其特征在于，包括置于扩束系统输出端的可切换基准镜机构和置于扩束系统输入端的动态监测组件；
所述可切换基准镜机构包括安装基座(1)，固定于所述安装基座(1)上的镜架(2)，以及安装于所述镜架(2)上的基准反射镜(3)；
所述动态监测组件包括激光器(4)，快速控制反射镜(5)，半反半透镜(6)和CCD传感器(7)；所述激光器(4)的激光经快速控制反射镜(5)后发出平行光，该平行光经半反半透镜(6)反射后，又经被测光学元件(10)到达基准反射镜(3)，光线经基准反射镜(3)反射后在第二次经过被测光学元件(10)之后经半反半透镜(6)在CCD传感器(7)的靶面上成像。
2.根据权利要求1所述的非接触式光学平行度测量装置，其特征在于，在所述半反半透镜(6)和所述CCD传感器(7)之间设置有一会聚物镜(8)。
3.根据权利要求2所述的非接触式光学平行度测量装置，其特征在于，在所述会聚物镜(8)前加装衰减片镜组(9)，所述衰减片镜组(9)由若干个衰减片采用空气等间隔组成。
4.根据权利要求1所述的非接触式光学平行度测量装置，其特征在于，所述激光器(4)的激光与所述快速控制反射镜(5)的镜面呈45度设置。
5.根据权利要求1所述的非接触式光学平行度测量装置，其特征在于，所述基准反射镜(3)采用石英玻璃镜。
6.根据权利要求1所述的非接触式光学平行度测量装置，其特征在于，所述激光器(4)采用红外激光器。
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| CN201821925702.0U CN209043259U (zh) | 2018-11-21 | 2018-11-21 | 一种非接触式光学平行度测量装置 |
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| CN201821925702.0U CN209043259U (zh) | 2018-11-21 | 2018-11-21 | 一种非接触式光学平行度测量装置 |
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| CN (1) | CN209043259U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113405490A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-09-17 | 西安应用光学研究所 | 高分辨率二维快速控制反射镜动态角度测量装置 |
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2018
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