CN208937252U - 一种管材的气密性检测工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种管材的气密性检测工装，包括基座、驱动装置和漏气检测装置，所述基座包括第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件上设有第一容置槽，所述第二支撑件上设有第二容置槽，待检测管材的两端分别容置于所述第一容置槽和所述第二容置槽内，所述第一容置槽和所述第二容置槽内均设有滚动件，所述驱动装置与所述滚动件连接，用于带动所述待检测管材绕轴线旋转；所述漏气检测装置用于在所述待检测管材绕轴线旋转时，检测所述待检测管材的气密性。通过电机驱动待检测管材进行转动，可以保持漏气检测装置静置不动完成气密性测试，从而减小测试数据的误差，提高了对待检测管材气密性检测的准确性。

Description

一种管材的气密性检测工装

技术领域

本实用新型涉及气密性检测领域，尤其涉及一种管材的气密性检测工装。

背景技术

众所周知，溅射镀膜设备中，常用靶材包括平面型靶材和圆柱形靶材。圆柱型靶材为圆柱型背衬管表面附着镀膜材料，圆柱型背衬管为圆柱靶材的支持部件。圆柱型背衬管两端分别焊接法兰，法兰用于靶材和溅射设备的连接。圆柱型靶材在使用过程中，圆柱型背衬管的内部通冷却循环水，用于制冷。因此，圆柱型背衬管的气密性是圆柱型背衬管的重要技术指标。

然而，现有技术中，对于类似圆柱型靶材背衬管的管材的气密性的测试操作中，气体探头垂直于测试部位时，测试效果才最为良好且最准确。但在现有技术中，测试时通常需要手动控制气体探头绕管材的周向转动，以检测管材的气密性，由于人为操作的局限性，容易导致气体探头移动速度有较大变化，增加了测试数据的误差，致使测试数据的准确性受到较大影响。因此现有技术中存在对管材气密性检测的准确性较低的问题。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种管材的气密性检测工装，以解决对管材气密性检测的准确性较低的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：

本实用新型实施例提供了一种管材的气密性检测工装，包括基座、驱动装置和漏气检测装置，所述基座包括第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件上设有第一容置槽，所述第二支撑件上设有第二容置槽，待检测管材的两端分别容置于所述第一容置槽和所述第二容置槽内，所述第一容置槽和所述第二容置槽内均设有滚动件，所述驱动装置与所述滚动件连接，用于带动所述待检测管材绕轴线旋转；所述漏气检测装置用于在所述待检测管材绕轴线旋转时，检测所述待检测管材的气密性。

可选的，所述基座还包括连接本体，所述连接本体连接在所述第一支撑件和所述第二支撑件之间。

可选的，所述驱动装置为电机。

可选的，所述电机的转轴与所述第二容置槽内的一个所述滚动件固定连接，或者所述电机的转轴通过齿轮与所述第二容置槽内的所述滚动件啮合连接。

可选的，所述滚动件为滚轮、滚珠或滚筒；所述第一容置槽内设置有至少两个所述滚动件，所述第二容置槽内设有至少两个所述滚动件。

可选的，所述第一容置槽和第二容置槽均为U型槽。

可选的，所述漏气检测装置包括支架和气体探头，所述支架包括底座、连接杆和固定件，所述连接杆的一端与所述底座连接，另一端与所述固定件固定连接，所述固定件用于固定所述气体探头，所述气体探头垂直于所述待检测管材的外圆周面设置。

可选的，所述固定件为与所述气体探头适配的夹具。

可选的，所述连接杆包括第一连接杆、第二连接杆和紧固件，所述第一连接杆的一端与所述底座固定连接，另一端设有第一通孔，所述第二连接杆的一端与所述固定件固定连接，另一端设有第二通孔，所述紧固件穿过所述第一通孔和所述第二通孔将所述第一连接杆和所述第二连接杆固定。

可选的，所述底座和基座均设于测试平台，所述测试平台上设有磁性物质，所述底座内设有与所述磁性物质吸合固定的开关式磁铁或者电磁铁。

本实用新型实施例中，通过设置管材的气密性检测工装包括基座、驱动装置和漏气检测装置，所述基座包括第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件上设有第一容置槽，所述第二支撑件上设有第二容置槽，待检测管材的两端分别容置于所述第一容置槽和所述第二容置槽内，所述第一容置槽和所述第二容置槽内均设有滚动件，所述驱动装置与所述滚动件连接，用于带动所述待检测管材绕轴线旋转；所述漏气检测装置用于在所述待检测管材绕轴线旋转时，检测所述待检测管材的气密性。这样，通过驱动装置驱动待检测管材进行自动转动，可以保持漏气检测装置静置不动，完成气密性测试，从而可以减小测试数据的误差，提高了对待检测管材密性检测的准确性。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种管材的气密性检测工装的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种管材的气密性检测工装中基座的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的一种管材的气密性检测工装测试用的密封端盖的结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的一种管材的气密性检测工装中支架的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获取的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1和图2所示，本实用新型实施例提供一种管材气密性检测工装，该管材气密性检测工装包括基座11、驱动装置12和漏气检测装置，基座11包括第一支撑件111和第二支撑件112，所述第一支撑件111上设有第一容置槽1111，所述第二支撑件112上设有第二容置槽112，待检测管材21的两端分别容置于所述第一容置槽111和所述第二容置槽112内，所述第一容置槽111和所述第二容置槽112内均设有滚动件，所述驱动装置12与所述滚动件连接，用于带动所述待检测管材21绕轴线旋转；所述漏气检测装置用于在所述待检测管材21绕轴线旋转时，检测所述待检测管材21的气密性。在对待检测管材21的气密性进行检测时，驱动装置12带动滚动件转动，进而带动待检测管材21绕自身的轴线旋转，驱动装置12可以控制待检测管材21作匀速转动，且可以根据需要合理的调整待检测管材21的转速，漏气检测装置静置不动，待检测管材21旋转一周，漏气检测装置即可对待检测管材21的一周进行检测，当需要对另一处进行检测时，移动漏气检测装置，按照上述步骤即可实现对此处的检测，由于待检测管材的旋转速度可控，且能保持匀速旋转，因此，该检测工装可以减小测试数据的误差，提高了对待检测管材气密性检测的准确性。

进一步的，上述第一支撑件111和第二支撑件112可以是分立的部件，在本实施例中，为了降低测试难度，上述第一支撑件111和第二支撑件112可以设置为相关联的部件。例如，本实施例中，上述基座11还包括连接本体113，连接本体113连接在所述第一支撑件111和所述第二支撑件112之间。

其中，上述第一支撑件111、第二支撑件112和连接本体113一体成型，第一支撑件111和第二支撑件112为连接本体113上的凸台结构，也就是说，第一支撑件、第二支撑件和连接本体共同形成一个凹字形结构。这样，无需每次测试时需要调整第一支撑件111和第二支撑件112的位置，直接将待检测管材放置在第一容置槽111和第二容置槽内即可。

本实施例中，上述第一容置槽1111贯穿第一支撑件111远离连接本体113的顶面以及第一支撑件111朝向第二支撑件112的一侧面；上述第二容置槽1121贯穿第二支撑件112远离连接本体113的顶面以及第二支撑件112朝向第一支撑件111的一侧面。其中第一容置槽1111和第二容置槽1121的形状和大小可以根据实际需要进行设置，在本实施例中，可选的，第一容置槽1111和第二容置槽1121均为U型槽。这样，可以有效避免管材21在转动的过程中发生侧移。

应当说明的是，上述待检测管材是指圆柱形的管材，例如圆柱型靶材背衬管。

上述滚动件包括设置在第一容置槽111内的第一个滚动件1112和设置在第二容置槽112内的第二滚动件，其中，上述第一滚动件1112与第一支撑件111可转动连接，第二滚动件1122与第二支撑件112可转动连接。上述驱动部件12与滚动件连接包括驱动部件12与第二滚动件1122，或者上述驱动部件12同时与第一滚动件1112和第二滚动件1122连接。在本实施例中，上述驱动部件12可以为电机，当驱动部件12包括一个电机时，该电机可以仅与第二滚动件1122连接，当驱动部件12包括两个电机时，一个电机与第一滚动件1112连接，另一个电机与第二滚动件1122连接。以下实施例中，以设置一个电机为例进行详细说明。

一可选的实施例中，电机的转轴与第二容置槽112内的一所述滚动件固定连接，或者所述电机的转轴通过齿轮与所述第二容置槽112内的所述滚动件啮合连接。具体的，上述电机12的转轴与第二滚动件1122固定连接，或者电机12的转轴通过齿轮与至少一个第二滚动件1122啮合连接。本实施例中，还可以设置控制电路控制电机12的工作状态，具体的，该控制电路上设置启停开关、正反转控制开关和转速控制开关，通过正反转控制开关控制转轴正转和反转，通过转速控制开关可以控制转轴转动的速度，上述启停开关可以控制电机12开始转动和停止转动。

上述管材21的两端可以通过密封端盖进行密封，通过其中一个密封端盖可以向背衬管内充气，如图3所示，可以填充气体的密封端盖31包括用于密封管材一端的密封盖311，设置在密封盖311上的气管312，以及设置在气管312上的阀门313。具体的，上述气管312通过密封盖311与管材21连通，上述阀门313用于控制管材21是否与外界连通。

在进行测试前，首先打开阀门313，通过气管312向管材21填充气体，当管材21内气体压力达到测试要求后，关闭阀门313；然后将管材21置于上述基座11上，具体的，管材21的一端位于第一容置槽1111内，由第一滚动件1112支撑；管材21的另一端位于第二容置槽1121内，由第二滚动件1122支撑。此时，管材21可以在基座11上绕轴线转动。

在测试过程中，将上述管材21置于第一容置槽1111和第二容置槽1121，并控制电机12转动后，可以通过漏气检测装置静置在一个位置测试管材21的气密性。当漏气检测装置检测到存在漏点时，操作人员可以按下启停开关，在圆柱形靶材背衬管停止转动后，启动反转模式并减慢旋转速度，寻找报警点进行确认。

进一步的，上述滚动件的结构可以根据实际需要进行设置，例如，在本实施例中，上述滚动件可以设置为滚动件为滚轮、滚珠或滚筒等。具体的，第一容置槽1111内设置有至少两个滚动件，第二容置槽1112内设有至少两个所述滚动件。也就是说，第一滚动件1112至少为两个，且均匀间隔设置在第一容置槽1111内；上述第二滚动件1122至少为两个，且均匀间隔设置在第二容置槽1121内。由于设置至少两个第一滚动件1112和第二滚动件1122，从而可以提高滚动件与管材21的接触面积，保证滚动件可以有效带动待检测管材21转动。如图2所示，在本实施例中，第一容置槽内均匀间隔设有三个滚动件，第二容置槽内均匀间隔设有三个滚动件，提高了管材放置待基座上的平稳性和转动的稳定性。

请一并参照图4，上述漏气检测装置包括气体探头13和支架14，支架14包括底座141、连接杆142和固定件143，所述连接杆142的一端与底座141连接，另一端与固定件143固定连接，固定件143用于固定气体探头13，气体探头13垂直于待检测管材21的外圆周面设置。

具体的，上述固定件143的结构可以根据实际需要进行设置，在本实施例中，上述固定件143可以为与气体探头13适配的夹具，通过夹具可以夹持固定气体探头13，由于采用夹具夹持固定气体探头13，从而方便安装，降低测试的操作难度。

进一步的，上述连接杆142可以包括连接杆142包括第一连接杆、第二连接杆和紧固件，第一连接杆的一端与底座141固定连接，另一端设有第一通孔，所述第二连接杆的一端与固定件143固定连接，另一端设有第二通孔，紧固件穿过第一通孔和第二通孔将第一连接杆和第二连接杆固定。

本实施例中，上述紧固件可以为螺栓或螺钉等，还可以采用其他形式的紧固件结构，在此不再一一列举。以下以紧固件是螺栓为例进行说明，上述第二连接杆与第一连接杆连接的一端可以形成有两夹持臂，在每一夹持臂上开设有第二通孔，上述第一连接杆可以插入第二连接杆中，使得第一通孔和两第二通孔同时连通，此时通过螺栓穿过第一通孔和第二通孔，与螺母进行配合，以固定第一连接杆和第二连接杆。在通过调节螺母的松紧状态，可以实现第一连接杆和第二连接杆的开口角度可调。例如紧固到一定的程度，可以使得第一连接杆在不受外力或者受到外力小于预设值的情况下保证固定不动，在受到外力大于预设值的情况下，可以调整第一连接杆和第二连接杆的开口角度，从而保证气体探头13垂直于待检测管材21的外圆周面设置。本实施例中，由于采用第一连接杆和第二连接杆拼接支撑固定件143，从而可以更加方便调整气体探头13的角度和位置，方便测试。此外，第二连接杆也可以同螺杆和螺母的方式与固定件固定连接。

需要说明的是，在测试的过程中，为了保证气体探头13固定不动，需要将底座141进行固定，上述底座141固定的方式可以根据实际需要进行设置，例如，可以通过螺钉或者卡扣等结构将底座141固定在测试平台上，还可以通过吸附的方式进行固定。本实施例中，优选的，上述底座141和基座11均设于测试平台，该测试平台上设有磁性物质22，底座141内设有与该磁性物质22吸合固定的开关式磁铁或者电磁铁。具体的，测试平台上可以在基座11的两侧放置一条平行于基座长度方向的磁性物质22，该磁性物质22固定在测试平台上。底座141的开关打开时，底座141将通过磁力吸合的方式固定在测试平台上，底座141的开关关闭时，底座141可自由移动。磁性物质22宽度不小于支架装置底座的宽度，长度与基座长度一致，磁性物质可以是磁铁，电磁铁，铁磁性金属，铁磁性金属合金等。当测试测试的表面采用磁性物质制成，则无需额外设置磁性物质。这样在本实施例中通过磁力吸合的方式实现底座141的固定，其固定操作方式简单，便于操作员测试。

综上所述，在本实用新型实施例中，通过设置基座11和驱动装置可以实现待检测管材21的自动转动，这样可以保持气体探头13不动的情况下，完成气密性测试，从而可以减小测试数据的误差，提高了对待检测管材21密性检测的准确性。进一步的，通过设置支架和底座固定气体探头13，可以更好的保证气体探头13相对于待检测管材21角度和距离保持不变，从而进一步提升对待检测管材密性检测的准确性。

以上，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种管材的气密性检测工装，其特征在于，包括基座、驱动装置和漏气检测装置，所述基座包括第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件上设有第一容置槽，所述第二支撑件上设有第二容置槽，待检测管材的两端分别容置于所述第一容置槽和所述第二容置槽内，所述第一容置槽和所述第二容置槽内均设有滚动件，所述驱动装置与所述滚动件连接，用于带动所述待检测管材绕轴线旋转；所述漏气检测装置用于在所述待检测管材绕轴线旋转时，检测所述待检测管材的气密性。

2.根据权利要求1所述的管材的气密性检测工装，其特征在于，所述基座还包括连接本体，所述连接本体连接在所述第一支撑件和所述第二支撑件之间。

3.根据权利要求1所述的管材的气密性检测工装，其特征在于，所述驱动装置为电机。

4.根据权利要求3所述的管材的气密性检测工装，其特征在于，所述电机的转轴与所述第二容置槽内的一个所述滚动件固定连接，或者所述电机的转轴通过齿轮与所述第二容置槽内的所述滚动件啮合连接。

5.根据权利要求1所述的管材的气密性检测工装，其特征在于，所述滚动件为滚轮、滚珠或滚筒，所述第一容置槽内均匀间隔设置有至少两个所述滚动件，所述第二容置槽内均匀间隔设有至少两个所述滚动件。

6.根据权利要求1所述的管材的气密性检测工装，其特征在于，所述第一容置槽和第二容置槽均为U型槽。

7.根据权利要求1所述的管材的气密性检测工装，其特征在于，所述漏气检测装置包括支架和气体探头，所述支架包括底座、连接杆和固定件，所述连接杆的一端与所述底座连接，另一端与所述固定件固定连接，所述固定件用于固定所述气体探头，所述气体探头垂直于所述待检测管材的外圆周面设置。

8.根据权利要求7所述的管材的气密性检测工装，其特征在于，所述固定件为与所述气体探头适配的夹具。

9.根据权利要求7所述的管材的气密性检测工装，其特征在于，所述连接杆包括第一连接杆、第二连接杆和紧固件，所述第一连接杆的一端与所述底座固定连接，另一端设有第一通孔，所述第二连接杆的一端与所述固定件固定连接，另一端设有第二通孔，所述紧固件穿过所述第一通孔和所述第二通孔将所述第一连接杆和所述第二连接杆固定。

10.根据权利要求7所述的管材的气密性检测工装，其特征在于，所述底座和基座均设于测试平台，所述测试平台上设有磁性物质，所述底座内设有与所述磁性物质吸合固定的开关式磁铁或者电磁铁。