CN208841353U - 大口径平面干涉仪载物台 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出一种大口径平面干涉仪载物台，包括：底板；俯仰台，俯仰台设在底板上；第一固定支脚和第二固定支脚，第一固定支脚和第二固定支脚前后间隔地设在俯仰台的底面上并位于俯仰台的左侧；高度调节支脚，高度调节支脚设在俯仰台的底面上并位于俯仰台的右侧，第一固定支脚、第二固定支脚与高度调节支脚的连线构成等腰三角形；旋转台，旋转台设在俯仰台的上面；摆动组件，摆动组件设在俯仰台与旋转台之间，摆动组件的摆动轴线沿左右延伸且分别与俯仰台和旋转台相连，摆动组件用于使旋转台相对于俯仰台可摆动。根据本实用新型的一种大口径平面干涉仪载物台，可以实现俯仰角度和偏摆角度的精密调节，以保证载物台处于水平位置。

Description

大口径平面干涉仪载物台

技术领域

本实用新型涉及一种大口径平面干涉仪载物台。

背景技术

利用大口平面干涉仪测量平面元件的平面度时，需要将被测元件竖起来，并且需要调整被测元件与干涉仪标准镜之间的角度，使得他们之间的夹角接近0度，也就是使它们接近绝对平行，要使得调整精度如此之高就需要高精密的载物台，该载物台需要实现俯仰和偏摆两个方向的精密调节。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本实用新型的一个目的在于提出一种大口径平面干涉仪载物台，可以实现俯仰角度和偏摆角度的精密调节，以保证载物台处于水平位置。

根据本实用新型的一种大口径平面干涉仪载物台，包括：

底板；

俯仰台，所述俯仰台设在所述底板上；

第一固定支脚和第二固定支脚，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚设在所述底板与所述俯仰台之间，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚前后间隔地设在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的左侧；

高度调节支脚，所述高度调节支脚设在所述底板与所述俯仰台之间，所述高度调节支脚设在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的右侧，所述第一固定支脚、所述第二固定支脚与所述高度调节支脚的连线构成等腰三角形；

旋转台，所述旋转台设在所述俯仰台的上面；

摆动组件，所述摆动组件设在所述俯仰台与所述旋转台之间，所述摆动组件的摆动轴线沿左右延伸且分别与所述俯仰台和所述旋转台相连，所述摆动组件用于使所述旋转台相对于所述俯仰台可摆动。

有利地，所述摆动组件包括：

下板，所述下板固定设在所述俯仰台上；

上板，所述上板固定设在所述旋转台上并与所述下板可枢转地相连；

转轴，所述转轴沿左右方向延伸并与所述上板固定相连；

调节头，所述调节头与所述转轴的右端相连用于使所述转轴转动。

有利地，所述调节头的轴线与所述转轴的轴线正交。

有利地，所述转轴的右端构造成第一伞齿轮，所述调节头的后端构造成与所述第一伞齿轮相适配的第二伞齿轮。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是根据本实用新型一个实施例的大口径平面干涉仪载物台的俯视图；

图2是沿图1中的线A-A的剖面图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考附图来详细描述根据本实用新型的大口径平面干涉仪载物台。

如图1和图2所述，根据本实用新型实施例的一种大口径平面干涉仪载物台，包括：底，100，俯仰台200，第一固定支脚(未示出)和第二固定支脚220，高度调节支脚230，旋转台300，摆动组件。

具体而言，俯仰台200设在底板100上。

所述第一固定支脚和第二固定支脚220设在底板100与俯仰台200之间，所述第一固定支脚和第二固定支脚220前后间隔地设在俯仰台200的底面上并位于俯仰台200的左侧。

高度调节支脚230设在底板100与俯仰台200之间，高度调节支脚230设在俯仰台200的底面上并位于俯仰台200的右侧，所述第一固定支脚、第二固定支脚220与高度调节支脚230的连线构成等腰三角形。

也就是说，所述第一固定支脚与第二固定支脚220的连线为该等腰三角形的底边，所述第一固定支脚与高度调节支脚230的连线以及第二固定支脚220与高度调节支脚的连线分别为该等腰三角形的腰，通过调节高度调节支脚230，可以调整俯仰台200的俯仰角度，完成俯仰调节。

旋转台300设在俯仰台200的上面。

所述摆动组件设在俯仰台200与旋转台300之间，所述摆动组件的摆动轴线沿左右延伸且分别与俯仰台200与旋转台300相连，所述摆动组件用于使旋转台300相对于俯仰台200可摆动。

更具体地，所述摆动组件包括：下板410，上板420，转轴(未示出)，调节头440。

下板410固定设在俯仰台200上。

上板420固定设在旋转台300上并与下板410可枢转地相连(转动轴线沿左右方向延伸)。

所述转轴沿左右方向延伸并与上板420固定相连。

调节头440与所述转轴的右端相连用于使所述转轴转动，进而带动上板410转动，从而带动旋转台300转动，以调节旋转台300的偏转角度。

有利地，调节头440的轴线与所述转轴的轴线正交。有利地，所述转轴的右端构造成第一伞齿轮(未示出)，调节头440的后端构造成与所述第一伞齿轮相适配的第二伞齿轮(未示出)。

根据本实用新型实施例的一种大口径平面干涉仪载物台，所述第一固定支脚与第二固定支脚220确定俯仰台200在底板100俯仰所需的轴线，通过调节高度调节支脚230使俯仰台200与底板100之间的夹角，即调节俯仰台200在XZ投影面的角度，完成俯仰调节，使俯仰台200与水平面平行。然后通过调节头440来调节旋转台300的摆动角度，以使旋转台300与水平面重合。由此，可以测量平面元件的平面度。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，均落入本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种大口径平面干涉仪载物台，其特征在于，包括：

底板；

俯仰台，所述俯仰台设在所述底板上；

第一固定支脚和第二固定支脚，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚设在所述底板与所述俯仰台之间，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚前后间隔地设在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的左侧；

高度调节支脚，所述高度调节支脚设在所述底板与所述俯仰台之间，所述高度调节支脚设在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的右侧，所述第一固定支脚、所述第二固定支脚与所述高度调节支脚的连线构成等腰三角形；

旋转台，所述旋转台设在所述俯仰台的上面；

摆动组件，所述摆动组件设在所述俯仰台与所述旋转台之间，所述摆动组件的摆动轴线沿左右延伸且分别与所述俯仰台和所述旋转台相连，所述摆动组件用于使所述旋转台相对于所述俯仰台可摆动。

2.根据权利要求1所述的大口径平面干涉仪载物台，其特征在于，所述摆动组件包括：

下板，所述下板固定设在所述俯仰台上；

上板，所述上板固定设在所述旋转台上并与所述下板可枢转地相连；

转轴，所述转轴沿左右方向延伸并与所述上板固定相连；

调节头，所述调节头与所述转轴的右端相连用于使所述转轴转动。

3.根据权利要求2所述的大口径平面干涉仪载物台，其特征在于，所述调节头的轴线与所述转轴的轴线正交。

4.根据权利要求3所述的大口径平面干涉仪载物台，其特征在于，所述转轴的右端构造成第一伞齿轮，所述调节头的后端构造成与所述第一伞齿轮相适配的第二伞齿轮。