CN208817013U - 一种半导体废气处理设备反应腔体支架 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及废气处理设备技术领域，具体为一种半导体废气处理设备反应腔体支架，包括安装板和承托板，所述承托板固定焊接在反应腔的腔体外侧壁上，所述承托板包括弧形板，弧形板焊接在反应腔的腔体外侧壁上，且弧形板的上下两端均一体设置连接板，所述连接板通过贯穿设置螺栓连接手臂，本实用新型的有益效果是：旋转角度可达300°，完全实现腔体在机台内进出；轻松避开与机台其它零部件的碰触，避免造成零件的损坏；安装有塑料衬套，使腔体旋转更加轻松、自如。本装置通过锁销连接，方便拆装。可以更加轻松的上下移动腔体，实现方便的拆装腔体目的。本装置结构牢固，安全可靠，可一人操作，节省人力。

Description

一种半导体废气处理设备反应腔体支架

技术领域

本实用新型涉及废气处理设备技术领域，具体为一种半导体废气处理设备反应腔体支架。

背景技术

1、废气处理设备反应腔体内部高温、剧烈的化学反应等对腔体的材质要求十分苛刻，为了达到更好的处理效果及延长使用寿命，设计的腔体重量一般比较重、体积比较大，反应腔体是安装在水槽上方的，水槽材质一般为耐腐蚀的塑料材质，不能承受重物压力，且不能耐高温，就算换成金属材质也无法避免腐蚀情况，如果反应腔体重力全部施加在水槽上方，水槽会因重力或高温腐蚀塌陷导致废气、废水外泄，造成全厂员工撤离或员工中毒等严重的工安事故，为了解决这一安全隐患，设备厂商反应腔体都设计有独立的固定支撑结构，例如：1、滑轨式，在反应腔体外上方两侧各安装一个固定式滑轨，维修保养时可以像抽屉一样拉出。2、固定式，在制作设备壳体时直接设计有腔体承重梁(铁板或方管等)，安装在反应腔体的下方或者两侧，承载腔体的重力。

1、滑轨式，存在以下缺点：(1)调节能力差，在安装腔体时需要调整腔体的位置，滑轨式只能前后小范围移动腔体，左右无法调节。(2)承载能力差，一般滑轨为3节轨道式，在拆腔体向外拉出时，到最后一节轨道无法承载腔体的重量，很容易断裂掉下，需要2人抬着拉出，(3)使用寿命短，导轨内都有塑料自锁装置(拆卸卡扣)，在靠近腔体高温时老化，拆装时很容易掰断，造成无法拆装；导轨内滚珠进水进异物容易生锈卡死，无法拉动。

2、固定式，存在以下缺点：(1)调节能力差，固定式一般无法调节位置或水平小范围调节.(2)拆装费力，因腔体固定在壳体内部，操作空间受限，拆装需多人抬出。

本装置可以方便快捷省力的拆装腔体。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体废气处理设备反应腔体支架，以解决上述背景技术中提出的滑轨式与固定式调节能力差、承载能力差、使用寿命短、拆装费力等难题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体废气处理设备反应腔体支架，包括安装板和承托板，所述承托板固定焊接在反应腔的腔体外侧壁上，所述承托板包括弧形板，弧形板焊接在反应腔的腔体外侧壁上，且弧形板的上下两端均一体设置连接板，所述连接板通过贯穿设置螺栓连接手臂，所述手臂的下端一侧设置突出设置定位柱；

所述安装板的侧壁上焊接两个固定板，且安装板在靠近固定板的一侧底端焊接固定座，所述固定座上通过螺栓安装有千斤顶，两个固定板之间插入第一支撑架的一端，所述第一支撑架的两侧均贯穿设置穿孔，所述固定板与第一支撑架一侧的穿孔均贯穿设置定位销二，所述定位销二与第一支撑架的一侧均贯穿设置锁销孔，且定位销二与第一支撑架通过穿插在锁销孔中的锁销固定，所述第一支撑架的另一侧设置第二支撑架，所述第二支撑架的两侧均设置穿孔，所述第二支撑架一侧的两端交错位于第一支撑架的远离安装板的两端上方，且第二支撑架与第一支撑架相互靠近的穿孔中穿插定位销一，所述定位销一的顶端设置限位台；

所述第二支撑架远离第一支撑架一端设置的穿孔中自上而下插接定位柱，且千斤顶的顶端接触连接定位销二的下端面。

优选的，所述第一支撑架呈“匚”字型设置，且第一支撑架的中部一体连接有加强杆。

优选的，所述第二支撑架呈“工”字型设置，且第二支撑架中部设置的加强杆设置为两根。

优选的，所述定位销一与限位台为一体成型结构设置。

优选的，所述定位销一与定位销二的直径均不小于1cm。

优选的，所述定位销一分布与第二支撑架、第一支撑架连接位置设置塑料衬套，所述定位销二与安装板的连接位置设置塑料衬套。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本装置通过定位销一和定位销二的链接，实现大幅度旋转的目的，旋转角度可达300°，完全实现腔体在机台内进出；

2、本装置的第一支撑架和第二支撑架、手臂的设计可以轻松的实现前后左右的转动，轻松避开与机台其它零部件的碰触，避免造成零件的损坏；

3、本装置安装有塑料衬套，使腔体旋转更加轻松、自如。

4、本装置通过锁销连接，方便拆装。

5、本装置千斤顶为动力源，可以更加轻松的上下移动腔体，实现方便的拆装腔体目的。

6、本装置将腔体旋出机台外后，用千斤顶将反应腔放置最下方，可直接将腔体向上抬起，使手臂与第二支撑架脱离后搬下腔体。

7、本装置结构牢固，安全可靠，可一人操作，节省人力。

附图说明

图1为本实用新型的正视图；

图2为本实用新型的承托板结构示意图；

图3为本实用新型的定位销二结构示意图；

图4为本实用新型的第二支撑架结构示意图；

图5为本实用新型的定位销一结构示意图；

图6为本实用新型的第一支撑架结构示意图；

图7为本实用新型的手臂结构示意图。

图中：反应腔1、承托板11、手臂2、定位柱21、第二支撑架3、第一支撑架4、锁销孔41、定位销一5、安装板6、固定板61、定位销二7、千斤顶8。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-7，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体废气处理设备反应腔体支架，包括安装板6和承托板11，承托板11固定焊接在反应腔1的腔体外侧壁上，承托板11包括弧形板，弧形板焊接在反应腔1的腔体外侧壁上，且弧形板的上下两端均一体设置连接板，连接板通过贯穿设置螺栓连接手臂2，手臂2的下端一侧设置突出设置定位柱21；

安装板6的侧壁上焊接两个固定板61，且安装板6在靠近固定板61的一侧底端焊接固定座，固定座上通过螺栓安装有千斤顶8，两个固定板61之间插入第一支撑架4的一端，第一支撑架4的两侧均贯穿设置穿孔，第一支撑架4呈“匚”字型设置，且第一支撑架4的中部一体连接有加强杆。

固定板61与第一支撑架4一侧的穿孔均贯穿设置定位销二7，定位销二7与第一支撑架4的一侧均贯穿设置锁销孔41，且定位销二7与第一支撑架4通过穿插在锁销孔41中的锁销固定，第一支撑架4的另一侧设置第二支撑架3，第二支撑架3呈“工”字型设置，且第二支撑架3中部设置的加强杆设置为两根。第二支撑架3的两侧均设置穿孔，第二支撑架3一侧的两端交错位于第一支撑架4的远离安装板6的两端上方，且第二支撑架3与第一支撑架4相互靠近的穿孔中穿插定位销一5，定位销一5与限位台为一体成型结构设置。定位销一5的顶端设置限位台；

第二支撑架3远离第一支撑架4一端设置的穿孔中自上而下插接定位柱21，且千斤顶8的顶端接触连接定位销二7的下端面。定位销一5与定位销二7的直径均不小于1cm。定位销一5分布与第二支撑架3、第一支撑架4连接位置设置塑料衬套，定位销二7与安装板6的连接位置设置塑料衬套。

工作原理：本装置在使用时，先将第一支撑架4放置在两个固定板61之间，自上而下的穿插一根定位销二7，将对应的锁销孔41对齐，而后在锁销孔41中插入锁销，实现第一支撑架4与定位销二7之间的连接，在安装板6的一侧下端固定设置一个千斤顶8，将千斤顶8的上端面与定位销二7的下端面接触，而后将第二支撑架3设置的穿孔交替放置到第一支撑架4一侧设置穿孔上方，在其中插入定位销一5实现固定，这样在转动的过程中可以稳定的转动，第二支撑架3远离第一支撑架3的一侧穿孔中插入定位柱21，而后将手臂2与承托板11固定连接，进而完成安装过程，在千斤顶8上下移动的过程中，就可以实现反应腔1的上下运动，本实用新型可以实现优点，通过定位销一5和定位销二7的链接，实现大幅度旋转的目的，旋转角度可达300°，完全实现反应腔1在机台内进出；第一支撑架4和第二支撑架3、手臂2的设计可以轻松的实现前后左右的转动，轻松避开与机台其它零部件的碰触，避免造成零件的损坏；安装有塑料衬套，使腔体旋转更加轻松、自如。通过锁销连接，方便拆装。千斤顶8为动力源，可以更加轻松的上下移动反应腔，实现方便的拆装反应腔的目的。将反应腔旋出机台外后，将千斤顶8放置在反应腔下端，可直接将反应腔向上抬起，使手臂与第二支撑架3脱离后搬下反应腔，本装置结构牢固，安全可靠，可一人操作，节省人力。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种半导体废气处理设备反应腔体支架，包括安装板(6)和承托板(11)，所述承托板(11)固定焊接在反应腔(1)的腔体外侧壁上，其特征在于：所述承托板(11)包括弧形板，弧形板焊接在反应腔(1)的腔体外侧壁上，且弧形板的上下两端均一体设置连接板，所述连接板通过贯穿设置螺栓连接手臂(2)，所述手臂(2)的下端一侧设置突出设置定位柱(21)；

所述安装板(6)的侧壁上焊接两个固定板(61)，且安装板(6)在靠近固定板(61)的一侧底端焊接固定座，所述固定座上通过螺栓安装有千斤顶(8)，两个固定板(61)之间插入第一支撑架(4)的一端，所述第一支撑架(4)的两侧均贯穿设置穿孔，所述固定板(61)与第一支撑架(4)一侧的穿孔均贯穿设置定位销二(7)，所述定位销二(7)与第一支撑架(4)的一侧均贯穿设置锁销孔(41)，且定位销二(7)与第一支撑架(4)通过穿插在锁销孔(41)中的锁销固定，所述第一支撑架(4)的另一侧设置第二支撑架(3)，所述第二支撑架(3)的两侧均设置穿孔，所述第二支撑架(3)一侧的两端交错位于第一支撑架(4)的远离安装板(6)的两端上方，且第二支撑架(3)与第一支撑架(4)相互靠近的穿孔中穿插定位销一(5)，所述定位销一(5)的顶端设置限位台；

所述第二支撑架(3)远离第一支撑架(4)一端设置的穿孔中自上而下插接定位柱(21)，且千斤顶(8)的顶端接触连接定位销二(7)的下端面。

2.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备反应腔体支架，其特征在于：所述第一支撑架(4)呈“匚”字型设置，且第一支撑架(4)的中部一体连接有加强杆。

3.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备反应腔体支架，其特征在于：所述第二支撑架(3)呈“工”字型设置，且第二支撑架(3)中部设置的加强杆设置为两根。

4.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备反应腔体支架，其特征在于：所述定位销一(5)与限位台为一体成型结构设置。

5.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备反应腔体支架，其特征在于：所述定位销一(5)与定位销二(7)的直径均不小于1cm。

6.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备反应腔体支架，其特征在于：所述定位销一(5)分布与第二支撑架(3)、第一支撑架(4)连接位置设置塑料衬套，所述定位销二(7)与安装板(6)的连接位置设置塑料衬套。