CN208721906U - 半导体激光模块及双端输出的半导体装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供了一种半导体激光模块及双端输出的半导体装置，包括第一光学整形器件、第二光学整形器件和光源组件；所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件分别内设有第一透镜组件或第二透镜组件中的任意一种，所述第一透镜组件包括透镜和/或微透镜阵列，所述第二透镜组件包括透镜和/或匀光腔；所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件之间设有光源组件，所述光源组件用于输出两束相同或不同类型的激光，两束激光分别经过所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件后输出相同或者不同类型的光斑。实现了半导体激光模块的两端灵活地输出不同光斑。

Description

半导体激光模块及双端输出的半导体装置

技术领域

本实用新型涉及半导体激光技术领域，具体而言，涉及半导体激光模块及双端输出的半导体装置。

背景技术

半导体激光医疗器具有体积小、重量轻、可靠性高、使用寿命长、功耗低的优点，已经广泛应用于医疗领域，比如激光脱毛、激光理疗、激光溶脂等其他激光医疗领域。

现有半导体激光医疗设备的结构多为垂直激光器阵列加上光学系统组成，光学系统一般采用常规快慢轴压缩与光波导实现，系统结构较为复杂、体积较长，不利于市场推广。并且，目前一种激光医疗设备对应一种光斑，一种激光医疗设备只有一种波长及应用,在需要使用不同光斑时，需要更换不同的激光医疗设备,导致设备结构复杂,成本也较高,难以满足目前对高灵活性激光医疗设备的需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体激光模块，其能够两个光学整形器件灵活的输出相同或不同类型的光斑。

本实用新型的实施例是这样实现的：

本实用新型第一方面提供了一种半导体激光模块，其包括第一光学整形器件、第二光学整形器件和光源组件；

所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件分别内设有第一透镜组件或第二透镜组件中的任意一种，所述第一透镜组件包括透镜和/或微透镜阵列，所述第二透镜组件包括透镜和/或匀光腔；

所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件之间设有光源组件，所述光源组件用于输出两束相同或不同类型的激光，两束激光分别经过所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件后输出相同或者不同类型的光斑。

在本实用新型实施例中，所述光源组件包括单波长激光光源或混合波长激光光源。

在本实用新型实施例中，所述混合波长激光光源包括双波长激光光源，所述光源组件还包括两个滤色片，两个所述滤色片交叉设置在所述双波长激光光源的一侧且处于第一光学整形器件和所述第二光学整形器件相对的位置，两个所述滤色片用于透射不同波长的激光，并将不同波长的激光分别从所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件反射输出。

在本实用新型实施例中，所述光源组件还包括分光器件，所述分光器件包括光强分束镜或滤色片，所述光强分束镜用于透射不同功率的激光，所述滤色片用于透射不同波长的激光。

在本实用新型实施例中，所述混合波长激光光源包括单/双波长激光光源，所述光源组件还包括反射镜；

所述分光器件和所述反射镜分布在所述单/双波长激光光源的周围；

所述单/双波长激光光源经过所述分光器件后输出两路激光，第一路激光从所述第一光学整形器件输出，第二路激光经过所述反射镜反射之后从所述第二光学整形器件输出。

在本实用新型实施例中，所述混合波长激光光源包括单/双波长激光光源，所述光源组件还包括反射镜/反射镜和光束中转棱镜的组合中任意一种；所述分光器件和反射镜/反射镜和光束中转棱镜的组合均设置在所述单/双波长激光光源的一侧；

所述单/双波长激光光源经过所述分光器件后输出两路激光，第一路激光经过所述反射镜或者所述光束中转棱镜之后，从所述第一光学整形器件输出，第二路激光经过所述反射镜/反射镜和光束中转棱镜的组合中任意一种之后从所述第二光学整形器件输出。

在本实用新型实施例中，激光光源包括两个单波长激光光源，两个所述单波长激光光源包括不同或者相同组合方式的功率模块和波长模块，两个所述单波长激光光源分别从所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件输出。

在本实用新型实施例中，激光光源包括两个单波长激光光源，所述光源组件还包括光束转换元件，两个所述单波长激光光源分别设置在所述光束转换元件的两侧，两个所述单波长激光光源经过所述光束转换元件后分别从所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件输出。

在本实用新型实施例中，所述光束转换元件包括反射镜，两个所述单波长激光光源分别经过所述反射镜的两侧或者两个所述反射镜的一侧从所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件输出。

本实用新型第二方面提供了一种双端输出的半导体装置，其包括外壳、水电路结构、两个保护窗和第一方面所述的半导体激光模块，所述半导体激光模块放置在所述外壳内，所述水电路结构包括电路结构和水路结构，所述电路结构与激光光源电连接，所述电路结构用于给所述光源组件提供电源，所述水路结构独立于所述电路结构设置在所述外壳内部，所述水路结构设置有半导体制冷片，所述水路结构用于为所述双端输出的半导体装置散热，两个保护窗分别设置在所述外壳的两端。

本实用新型提供的半导体激光模块及双端输出的半导体装置，通过将第一光学整形器件和第二光学整形器件分别内设有透镜和微透镜阵列或透镜和匀光腔；第一光学整形器件和第二光学整形器件之间设有光源组件，光源组件用于输出两束相同或不同类型的激光，两束激光分别经过第一光学整形器件和第二光学整形器件后输出相同或者不同类型的光斑，实现了一个半导体激光模块的两端灵活输出不同光斑，可以应用在不同的医疗领域。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例半导体激光模块第一结构示意图；

图2为本实用新型实施例半导体激光模块第二结构示意图；

图3为本实用新型实施例半导体激光模块第三结构示意图；

图4为本实用新型实施例半导体激光模块第四结构示意图；

图5为本实用新型实施例半导体激光模块第五结构示意图；

图6为本实用新型实施例半导体激光模块第六结构示意图；

图7为本实用新型实施例双端输出的半导体装置整体示意图结构。

图标:1-半导体激光模块；2-双端输出的半导体装置；10-第一光学整形器件；11-第一透镜组件；20-第二光学整形器件；21-第二透镜组件；30-光源组件；32-滤色片；33-分光器件；34-反射镜；35- 光束中转棱镜；36-光束转换元件；40-外壳；50-水电路结构；51-电路结构；53-水路结构；60-保护窗；311-单波长激光光源；313a-双波长激光光源；313b-单/双波长激光光源。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

第一实施例

请参照图1，本实施例提供一种半导体激光模块1，包括第一光学整形器件10、第二光学整形器件20和光源组件30；所述第一光学整形器件10和所述第二光学整形器件20分别内设有第一透镜组件11或第二透镜组件21中的任意一种，所述第一透镜组件11包括透镜和/或微透镜阵列，所述第二透镜组件21包括透镜和/或匀光腔；所述第一光学整形器件10和所述第二光学整形器件20之间设有光源组件30，所述光源组件30用于输出两束相同或不同类型的激光，两束激光分别经过所述第一光学整形器件10和所述第二光学整形器件20后输出相同或者不同类型的光斑。

具体的，所述半导体激光模块1用于实现双端输出相同或不同类型的光斑，输出的相同或不同类型的光斑可用于相同或不同的应用场景，为了实现双端输出不同类型的光斑，通过在所述半导体激光模块1的两端设置第一光学整形器件10和第二光学整形器件20，该第一光学整形器件10和该第二光学整形器件20可以分别设置相同的第一透镜组件11或者第二透镜组件21，也可以分别设置不同的，例如：该第一光学整形器件10内设置的是第一透镜组件11，而该第二光学整形器件20内设置的是第二透镜组件21，或者该第一光学整形器件10内设置的是第二透镜组件21，而该第二光学整形器件20内设置的是第一透镜组件11。其中，该第一透镜组件11 可以包括五种,第一种为透镜,第二种为微透镜阵列,第三种为透镜和微透镜阵列的组合，第四种是匀光腔,第五种是透镜和匀光腔的组合。

当为透镜时,从光源组件30输出两束相同或不同类型的激光，其中一束会通过该透镜匀化到处，从第一光学整形器件10或第二光学整形器件20输出。

当为微透镜阵列时，从光源组件30输出两束相同或不同类型的激光，其中一束会通过微透镜阵列自由地将光导出，同时进行匀化，从第一光学整形器件10或第二光学整形器件20输出。

当为透镜和微透镜阵列组合时，微透镜阵列的一侧靠近光源组件30，该微透镜阵列的另一侧靠近透镜，从光源组件30输出两束相同或不同类型的激光，其中一束会通过微透镜阵列自由地将光导出，同时进行匀化，并通过该透镜后，从第一光学整形器件10或第二光学整形器件20输出。

当为匀光腔时，从光源组件30输出两束相同或不同类型的激光，其中一束会通过匀光腔自由地将光导出，同时进行匀化，从第一光学整形器件10或第二光学整形器件20输出。

当为透镜和匀光腔组合时，匀光腔的一侧靠近光源组件30，该匀光腔的另一侧靠近透镜，从光源组件30输出两束相同或不同类型的激光，其中一束会通过匀光腔自由地将光导出，同时进行匀化，并通过该透镜后，从第一光学整形器件10或第二光学整形器件20输出。

进一步的，所述第一光学整形器件10和所述第二光学整形器件 20之间设有光源组件30，光源组件30用于输出两束相同或不同类型的激光，当光源为两种相同波长和相同功率的激光，且所述第一光学整形器件10和所述第二光学整形器件20内设相同类型的透镜组件时，所述半导体激光模块1两端输出相同类型的光斑；当光源为两种不同波长或不同功率，或所述第一光学整形器件10和所述第二光学整形器件20内设不同类型的透镜组件,或半导体激光器模块两端的保护窗形状或结构不同时，所述半导体激光模块1两端输出不同类型的光斑。

本实施例的半导体激光模块通过设置第一光学整形器件、第二光学整形器件及光源组件，光源组件用于输出不同或相同类型的激光，相同类型的激光经过相同类型的光学整形器件可以输出相同类型的光斑，不同类型的激光经过相同或不同的光学整形器件输出不同类型的光斑，进而可以灵活应用在不同的医疗领域，例如，一端可根据光斑特性及形态应用于激光溶脂，另一端可根据光斑特性及形态适应性应用于激光脱毛或嫩肤等，还可以两端同时用于激光溶脂、激光脱毛或嫩肤。

请参照图1、图2和图4，在本实施例中，所述光源组件30包括单波长激光光源311或混合波长激光光源，其中，混合波长激光光源包括双波长激光光源313a和单/双波长激光光源313b。所述单波长激光光源311可以包括不同或相同功率模块，比如所述单波长激光光源311为相同功率ω的光源或ω1、ω2两种不同功率的光源，所述混合波长激光光源包括不同或相同功率模块和波长模块的组合方式，第一种具体组合方式为：光源的功率相同且波长不同，例如光源的功率均为ω，两个波长分别为λ1、λ2；第二种具体组合方式为：光源的功率不同且波长相同，例如光源的两个功率为ω1、ω2，波长均为λ；第三种具体组合方式为：功率不同且波长不同，例如光源的一种功率和波长分别为ω1和λ1，光源的另一种功率和波长分别为ω2和λ2。

第二实施例

请参照图1，本实用新型实施例基于第一实施例的基础上，所述混合波长激光光源包括双波长激光光源313a，所述光源组件30 还包括两个滤色片32，两个所述滤色片32交叉设置在所述双波长激光光源313a的一侧且处于第一光学整形器件10和所述第二光学整形器件20相对的位置，两个所述滤色片32用于透射不同波长的激光，并将不同波长的激光分别从所述第一光学整形器件10和所述第二光学整形器件20反射输出。

需要说明的是，双波长激光光源313a的一个波长为λ1，另一个波长为λ2，两个所述滤色片32分别为λ1滤色片和λ2滤色片中的任意一种，λ1滤色片可以反射λ1波长的光束并透射λ2波长的光束，λ2滤色片可以反射λ2波长的光束并透射λ1波长的光束，λ1波长的光束和λ2波长的光束分别经过所述第一光学整形器件10和所述第二光学整形器件20输出。

其中，λ1滤色片和λ2滤色片交叉设置的角度可以是垂直交叉，也可以是60°交叉，不限于以上交叉角度，只要λ1滤色片和λ2滤色片可以实现透射双波长激光光源313a即可。

第三实施例

请参照图2，本实用新型实施例基于第一实施例的基础上，可选的，所述光源组件30包括分光器件33，所述分光器件33包括光强分束镜或滤色片，所述光强分束镜用于透射不同功率的激光，所述滤色片用于透射不同波长的激光。

请参照图2，在本实施例中，所述混合波长激光光源包括单/ 双波长激光光源313b，滤色片用于透射双波长激光光源313a中不同波长的激光(具体方法和第二实施例相同，此处不在赘述)，光强分束镜用于透射单波长激光光源311中不同功率的激光，例如，单波长激光光源311有两个功率，一个功率为ω1，另一个功率为ω2，光强分束镜可以透过ω1功率的光束，并反射ω2功率的光束，ω1 功率的光束经过光强分束镜，从所述第一光学整形器件10输出，ω2 功率的光束经过光强分束镜，从所述第二光学整形器件20输出。

所述光源组件30还包括反射镜34；所述分光器件33和所述反射镜34分布在所述单/双波长激光光源313b的周围；所述单/双波长激光光源313b经过所述分光器件33后输出两路激光，第一路激光从所述第一光学整形器件10输出，第二路激光经过所述反射镜34 反射之后从所述第二光学整形器件20输出。

具体的，所述分光器件33和一个所述反射镜34呈八字设置在靠近所述第一光学整形器件10一端，另外两个所述反射镜34平行设置在靠近所述第二光学整形器件20的一端，该设置用于方便将两路激光分别从第一光学整形器件10和所述反射镜34反射之后从所述第二光学整形器件20输出。

可选的，当两个输出端的夹角为90°时，只需要1个反射镜34，所述分光器件33和所述反射镜34呈八字设置在靠近所述第一光学整形器件10一端，该设置用于方便将两路激光分别从第一光学整形器件10和所述反射镜34反射之后从所述第二光学整形器件20输出。

需要说明的是，本实施例所提供的半导体激光模块1与第一实施例相比，除了将光源组件30解释为光强分束镜和滤色片，光源为单/双波长激光光源313b，其他均与上述第一实施例一样，其达到的效果与上述第一实施例一致，此处不一一赘述。

第四实施例

请参照图3，本实用新型实施例基于第一实施例的基础上，可选的，所述光源组件30包括分光器件33，所述分光器件33包括光强分束镜或滤色片32，所述光强分束镜用于透射不同功率的激光，所述滤色片32用于透射不同波长的激光。

请参照图3，在本实施例中，所述混合波长激光光源包括单/ 双波长激光光源313b(单/双波长激光光源313b功率和波长的不同组合与第二实施例和第三实施例的方法相同，此处不在赘述)，所述光源组件30还包括反射镜34/反射镜34和光束中转棱镜35的组合中任意一种；所述分光器件33和反射镜34/反射镜34和光束中转棱镜35的组合均设置在所述单/双波长激光光源313b的一侧；所述单 /双波长激光光源313b经过所述分光器件33后输出两路激光，第一路激光经过所述反射镜34或者所述光束中转棱镜35之后，从所述第一光学整形器件10输出，第二路激光经过所述反射镜34/反射镜 34和光束中转棱镜35的组合中任意一种之后从所述第二光学整形器件20输出。

具体的，所述分光器件33和所述反射镜34呈小于符号设置在所述第一光学整形器件10和所述第二光学整形器件20之间，2个所述光束中转棱镜35分别对称设置在所述第一光学整形器件10和所述第二光学整形器件20的相对侧。所述光束中转棱镜35和反射镜34的作用都是用于反射光束。

可选的，当经过分光器件33反射的激光光轴与输出端的中心轴线重合时，可不用光束中转棱镜35，第一路激光直接从所述第一光学整形器件10输出，第二路激光经过所述反射镜34之后从所述第二光学整形器件20输出。

需要说明的是，本实施例所提供的半导体激光模块1与第一实施例相比，除了将光源组件30具体解释为光强分束镜、光束中转棱镜35和单/双波长激光光源313b，其他均与上述第一实施例一样，其达到的效果与上述第一实施例一致，此处不一一赘述。

第五实施例

请参照图4，本实用新型实施例基于第一实施例的基础上，可选的，激光光源包括两个单波长激光光源311，两个所述单波长激光光源311包括不同或者相同组合方式的功率模块和波长模块，其中，两个单波长激光光源311包括不同或者相同组合方式的功率模块和波长模块，第一种具体组合方式为：光源的功率相同且波长不同，比如光源的功率均为ω，两个波长分别为λ1、λ2；第二种具体组合方式为：光源的功率不同且波长相同，比如光源的两个功率为ω1、ω2，波长均为λ1；第三种具体组合方式为：功率不同且波长不同，例如光源的一种功率和波长分别为ω1和λ1，光源的另一种功率和波长分别为ω2和λ2。两个所述单波长激光光源311分别从所述第一光学整形器件10和所述第二光学整形器件20输出。

需要说明的是，本实施例所提供的半导体激光模块1与第一实施例相比，除了将光源组件30具体解释为两个单波长激光光源311 外，其他均与上述第一实施例一样，其达到的效果与上述第一实施例一致，此处不一一赘述。

第六实施例

请参照图5和图6，本实用新型实施例基于第一实施例的基础上，所述激光光源31包括两个单波长激光光源311，其中，一个单波长激光光源311为λ1波长，另一个单波长激光光源311为λ2波长，所述光源组件30还包括光束转换元件36，两个所述单波长激光光源311分别设置在所述光束转换元件36的两侧，λ1波长的激光和λ2波长的激光经过所述光束转换元件36后分别从所述第一光学整形器件10和所述第二光学整形器件20输出。

请参照图5和图6，在本实施例中，所述光束转换元件36包括反射镜34，λ1波长的激光和λ2波长的激光分别经过所述反射镜 34的两侧或者两个所述反射镜34的一侧从所述第一光学整形器件 10和所述第二光学整形器件20输出。

具体的，请参照图5，所述光束转换元件36为一个反射镜34 时，该反射镜34可为宽波段反射镜，该宽波段反射镜的位置除了不设置在两个所述单波长激光光源311所在的直线上，其他角度的设置均可实现对两个所述单波长激光光源311进行反射。

进一步的，请参照图6，所述光束转换元件36为两个反射镜 34时，两个所述反射镜34的设置方式为平行设置，除了不设置在两个所述单波长激光光源311所在的直线上，其他角度的设置均可实现对两个所述单波长激光光源311进行反射。

需要说明的是，本实施例所提供的半导体激光模块1与第一实施例相比，除了将光源组件30具体解释为两个单波长激光光源311 和光束转换元件36外，其他均与上述第一实施例一样，其达到的效果与上述第一实施例一致，此处不一一赘述。

第七实施例

请参照图7(以图1为例)，本实施例提供一种双端输出的半导体装置2，其包括外壳40、水电路结构50、两个保护窗60和如第一实施例至第六实施例所述的半导体激光模块1，所述半导体激光模块1放置在所述外壳40内，所述水电路结构50包括电路结构51和水路结构53，所述电路结构51与所述激光光源电连接，所述电路结构51用于给所述激光光源提供电源，所述水路结构53独立于所述电路结构51设置在所述外壳40内部，所述水路结构53设置有半导体制冷片，所述水路结构53用于为所述双端输出的半导体装置2散热，两个保护窗60分别设置在所述外壳40的两端。

需要说明的是，两个保护窗60的尺寸和形状不同，不同尺寸和形状的保护窗60可以输出不同形状或尺寸的光斑。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种半导体激光模块，其特征在于，包括第一光学整形器件、第二光学整形器件和光源组件；

所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件分别内设有第一透镜组件或第二透镜组件中的任意一种，所述第一透镜组件包括透镜和/或微透镜阵列，所述第二透镜组件包括透镜和/或匀光腔；

所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件之间设有光源组件，所述光源组件用于输出两束相同或不同类型的激光，两束激光分别经过所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件后输出相同或者不同类型的光斑。

2.根据权利要求1所述的半导体激光模块，其特征在于，所述光源组件包括单波长激光光源或混合波长激光光源。

3.根据权利要求2所述的半导体激光模块，其特征在于，所述混合波长激光光源包括双波长激光光源，所述光源组件还包括两个滤色片，两个所述滤色片交叉设置在所述双波长激光光源的一侧且处于第一光学整形器件和所述第二光学整形器件相对的位置，两个所述滤色片用于透射不同波长的激光，并将不同波长的激光分别从所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件反射输出。

4.根据权利要求2所述的半导体激光模块，其特征在于，所述光源组件还包括分光器件，所述分光器件包括光强分束镜或滤色片，所述光强分束镜用于透射不同功率的激光，所述滤色片用于透射不同波长的激光。

5.根据权利要求4所述的半导体激光模块，其特征在于，所述混合波长激光光源包括单/双波长激光光源，所述光源组件还包括反射镜；

所述分光器件和所述反射镜分布在所述单/双波长激光光源的周围；

所述单/双波长激光光源经过所述分光器件后输出两路激光，第一路激光从所述第一光学整形器件输出，第二路激光经过所述反射镜反射之后从所述第二光学整形器件输出。

6.根据权利要求4所述的半导体激光模块，其特征在于，所述混合波长激光光源包括单/双波长激光光源，所述光源组件还包括反射镜/反射镜和光束中转棱镜的组合中任意一种；

所述分光器件和反射镜/反射镜和光束中转棱镜的组合均设置在所述单/双波长激光光源的一侧；

所述单/双波长激光光源经过所述分光器件后输出两路激光，第一路激光经过所述反射镜或者所述光束中转棱镜之后，从所述第一光学整形器件输出，第二路激光经过所述反射镜/反射镜和光束中转棱镜的组合中任意一种之后从所述第二光学整形器件输出。

7.根据权利要求2所述的半导体激光模块，其特征在于，激光光源包括两个单波长激光光源，两个所述单波长激光光源包括不同或者相同组合方式的功率模块和波长模块，两个所述单波长激光光源分别从所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件输出。

8.根据权利要求2所述的半导体激光模块，其特征在于，所述激光光源包括两个单波长激光光源，所述光源组件还包括光束转换元件，两个所述单波长激光光源分别设置在所述光束转换元件的两侧，两个所述单波长激光光源经过所述光束转换元件后分别从所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件输出。

9.根据权利要求8所述的半导体激光模块，其特征在于，所述光束转换元件包括反射镜，两个所述单波长激光光源分别经过所述反射镜的两侧或者两个所述反射镜的一侧从所述第一光学整形器件和所述第二光学整形器件输出。

10.一种双端输出的半导体装置，其特征在于，包括外壳、水电路结构、两个保护窗和如权利要求1-9任意一项所述的半导体激光模块，所述半导体激光模块放置在所述外壳内，所述水电路结构包括电路结构和水路结构，所述电路结构与激光光源电连接，所述电路结构用于给所述光源组件提供电源，所述水路结构独立于所述电路结构设置在所述外壳内部，所述水路结构设置有半导体制冷片，所述水路结构用于为所述双端输出的半导体装置散热，两个保护窗分别设置在所述外壳的两端。