CN208613232U - 一种碳化硅清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种碳化硅清洗装置，包括槽体，槽体两侧的中部对称设有横杆，两个横杆的一侧均固定设有竖杆，两个竖杆顶部的一侧通过连接杆固定连接，连接杆底端的两侧对称设有气缸，两个气缸的底端均通过活塞与电机盒的顶端固定连接，两个电机盒的一侧均通过槽体内侧壁对称开设的滑槽与槽体的两侧内壁滑动连接，两个电机盒内部均套设有电机，两个电机的输出端均通过对应设置的联轴器与工件两侧对应设置的凸块固定连接，工件内部的上下两端对称设置有若干个夹取装置，槽体内部的底部设置有底板，本实用新型一种碳化硅清洗装置，可以解决衬底表面受到波型能量不同，衬底无法均匀受力且无法叠放清洗的问题。

Description

一种碳化硅清洗装置

技术领域

本实用新型涉及一种清洗装置，特别涉及一种碳化硅清洗装置，属于碳化硅清洗技术领域。

背景技术

在传统的衬底清洗过程中，超声波发射器装置于槽体下方，搭配上下摇摆进行清洗，由于超声波由底部传导，其波型与路径均为单一方向，这将导致：1.衬底表面会受到波型能量不同，使表面损伤2.上下摇摆方式，衬底仍在一种波形上做移动，无法均匀受力3.清洗产能受到限制，无法叠放清洗。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅清洗装置，以解决上述背景技术中提出的衬底表面受到波型能量不同，衬底无法均匀受力且无法叠放清洗的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅清洗装置，包括槽体，所述槽体两侧的中部对称设有横杆，两个所述横杆的一侧均固定设有竖杆，两个所述竖杆顶部的一侧通过连接杆固定连接，所述连接杆底端的两侧对称设有气缸，两个所述气缸的底端均通过活塞与电机盒的顶端固定连接，两个所述电机盒的一侧均通过槽体内侧壁对称开设的滑槽与槽体的两侧内壁滑动连接，两个所述电机盒内部均套设有电机，两个所述电机的输出端均通过对应设置的联轴器与工件两侧对应设置的凸块固定连接，所述工件内部的上下两端对称设置有若干个夹取装置，所述槽体内的底部设置有底板，所述底板与槽体的内壁之间形成一个容纳腔室，所述容纳腔室内对称设置有超声波盒，两个所述超声波盒内均套设有两个超声波发生器。

作为本实用新型的一种优选技术方案，若干个所述夹取装置包括若干个两两对应设置的弹簧柱和若干个夹板，每两个相对应的所述弹簧柱的一端均固定连接有夹板，两个所述夹板之间连接有衬底。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述槽体底部的两侧分别设有充电接口和控制面板，所述控制面板内设有八个超声波发生器控制开关、两个气缸控制开关和两个电机控制开关。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述充电接口与外接电源电性连接，八个所述超声波发生器、两个气缸和两个电机分别通过八个超声波发生器控制开关、两个气缸控制开关和两个电机控制开关与外接电源电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型一种碳化硅清洗装置，通过设置槽体，便于盛放酸性或碱性清洗液，通过设置气缸、活塞和滑槽，便于电机盒在槽体的内壁上做纵向的往复直线运动，通过设置联轴器，便于通过电机的转轴带动工件旋转，通过设置弹簧柱和夹板，便于夹取不同尺寸的衬底，通过设置超声波发生器，利用下部和侧边超声震荡，机械振动传入清洗液，超声波疏密相间地向前传导，增加衬底清洗能力与均匀性，通过设置超声波盒，便于对超声波发生器进行保护。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型的夹取装置结构示意图；

图3为本实用新型的槽体内壁结构示意图。

图中：1、槽体；2、超声波盒；3、超声波发生器；4、联轴器；5、底板；6、衬底；7、弹簧柱；8、电机盒；9、工件；10、夹板；11、凸块；12、活塞；13、连接杆；14、气缸；15、竖杆；16、横杆；17、充电接口；18、滑槽；19、控制面板；20、电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供了一种碳化硅清洗装置，包括槽体1，槽体1两侧的中部对称设有横杆16，两个横杆16的一侧均固定设有竖杆15，两个竖杆15顶部的一侧通过连接杆13固定连接，连接杆13底端的两侧对称设有气缸14，两个气缸14的底端均通过活塞12与电机盒8的顶端固定连接，两个电机盒8的一侧均通过槽体1内侧壁对称开设的滑槽18与槽体1的两侧内壁滑动连接，两个电机盒8内部均套设有电机20，两个电机20的输出端均通过对应设置的联轴器4与工件9两侧对应设置的凸块11固定连接，工件9内部的上下两端对称设置有若干个夹取装置，槽体1内的底部设置有底板5，底板5与槽体1的内壁之间形成一个容纳腔室，容纳腔室内对称设置有超声波盒2，两个超声波盒2内均套设有两个超声波发生器3。

优选的，若干个夹取装置包括若干个两两对应设置的弹簧柱7和若干个夹板10，每两个相对应的弹簧柱7的一端均固定连接有夹板10，两个夹板10之间连接有衬底6，便于夹取不同尺寸大小的衬底6。

优选的，槽体1底部的两侧分别设有充电接口17和控制面板19，控制面板19内设有八个超声波发生器控制开关、两个气缸控制开关和两个电机控制开关，便于通过各个开关来控制各个部件工作，且它们之间互不干扰。

优选的，充电接口17与外接电源电性连接，八个超声波发生器3、两个气缸14和两个电机20分别通过八个超声波发生器控制开关、两个气缸控制开关和两个电机控制开关与外接电源电性连接，为各个部件工作提供电能。

具体使用时，本实用新型一种碳化硅清洗装置，向槽体1内注入相应的酸性或者碱性清洗液，将不同尺寸的衬底6通过对应设置的弹簧柱7和夹板9夹于工件9内部，开启两个气缸控制开关，通过两个气缸14带动活塞做周期性的上下移动，从而使两个电机20做周期性的上下移动，当两个气缸14带动电机20进入清洗液时，关闭两个气缸控制开关，开启两个电机控制开关和八个超声波发生器控制开关，两个电机20的输出轴通过对应的联轴器4带动工件9进行旋转，利用下部和侧边超声震荡，机械振动传入清洗液，超声波疏密相间地向前传导，增加衬底清洗能力与均匀性，衬底6清洗完毕后，关闭两个电机控制开关和八个超声波发生器控制开关，开启两个气缸控制开关，通过两个气缸14带动电机20远离清洗液，关闭两个气缸控制开关，将衬底6从夹板10内取出。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”、“第四”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种碳化硅清洗装置，包括槽体(1)，其特征在于，所述槽体(1)两侧的中部对称设有横杆(16)，两个所述横杆(16)的一侧均固定设有竖杆(15)，两个所述竖杆(15)顶部的一侧通过连接杆(13)固定连接，所述连接杆(13)底端的两侧对称设有气缸(14)，两个所述气缸(14)的底端均通过活塞(12)与电机盒(8)的顶端固定连接，两个所述电机盒(8)的一侧均通过槽体(1)内侧壁对称开设的滑槽(18)与槽体(1)的两侧内壁滑动连接，两个所述电机盒(8)内部均套设有电机(20)，两个所述电机(20)的输出端均通过对应设置的联轴器(4)与工件(9)两侧对应设置的凸块(11)固定连接，所述工件(9)内部的上下两端对称设置有若干个夹取装置，所述槽体(1)内的底部设置有底板(5)，所述底板(5)与槽体(1)的内壁之间形成一个容纳腔室，所述容纳腔室内对称设置有超声波盒(2)，两个所述超声波盒(2)内均套设有两个超声波发生器(3)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅清洗装置，其特征在于：若干个所述夹取装置包括若干个两两对应设置的弹簧柱(7)和若干个夹板(10)，每两个相对应的所述弹簧柱(7)的一端均固定连接有夹板(10)，两个所述夹板(10)之间连接有衬底(6)。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅清洗装置，其特征在于：所述槽体(1)底部的两侧分别设有充电接口(17)和控制面板(19)，所述控制面板(19)内设有八个超声波发生器控制开关、两个气缸控制开关和两个电机控制开关。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅清洗装置，其特征在于：所述充电接口(17)与外接电源电性连接，八个所述超声波发生器(3)、两个气缸(14)和两个电机(20)分别通过八个超声波发生器控制开关、两个气缸控制开关和两个电机控制开关与外接电源电性连接。