CN208583171U - 三氯化硼纯化尾气处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种三氯化硼纯化尾气处理装置,包括处理罐,处理罐下端周侧设置有一卸料口,硼酸卸料口处经封板封闭,处理罐周侧于硼酸卸料口上方设置有盐酸排出口,处理罐上端面设置有伸长管,伸长管周侧由上至下依次设置尾气入口、废气出口,伸长管顶部设置有封盖,加水口设置在处理罐上端,封盖中部设置通孔,通孔内穿设有疏通棒,疏通棒上设置有外螺纹,疏通棒上套设与其螺纹配合的密封螺母,密封螺母抵靠封盖上侧面,旋紧后将通孔密封,伸长管内设置导气管,导气管下端伸入处理罐内上部,导气管上端连接通孔,导气管上部周侧连接尾气入口,疏通棒位于导气管内,本实用新型结构简单,设计合理,避免对环境造成影响。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种三氯化硼纯化尾气处理装置。
背景技术
电子级高纯三氯化硼主要用作半导体硅的掺杂源,广泛应用于半导体集成电路IC、液晶显示器LCD、半导体发光器件LED以及太阳能电池PV等行业。近年来,随着全球石油等能源资源逐渐减少和环境污染,温室效应对气候的影响,世界各国大力发展清洁能源以及节能技术,重点关注低碳经济。在此背景之下,我国的太阳能电池和半导体发光器件及相关产业得到了迅猛发展,电子级高纯三氯化硼市场非常广阔。在电子工业用高纯三氯化硼纯化过程中,存在尾气排放问题,电子工业用高纯三氯化硼净化装置排出的尾气主要成分为三氯化硼,如果直接对外放空,三氯化硼与空气中的水分发生剧烈反应,可形成白色的腐蚀性浓厚烟雾,放出具有刺激性的氯化氢气体,对环境造成恶劣影响。
发明内容
本实用新型的目的是针对以上不足之处,提供了一种三氯化硼纯化尾气处理装置。
本实用新型解决技术问题所采用的方案是:一种三氯化硼纯化尾气处理装置,包括处理罐,处理罐上部设置有尾气入口、废气出口、加水口、处理罐下端周侧设置有一卸料口,硼酸卸料口处经封板封闭,处理罐周侧于硼酸卸料口上方设置有盐酸排出口。
进一步的,所述处理罐上端面设置有伸长管,伸长管周侧由上至下依次设置尾气入口、废气出口,伸长管顶部设置有封盖,加水口设置在处理罐上端面。
进一步的,封盖A中部设置通孔A,伸长管内设置导气管,导气管下端伸入处理罐内上部,导气管上端连接通孔并由通A孔穿出,导气管上部周侧连接尾气入口,导气管上端设置封盖B, 封盖B中部设置通孔B,通孔B内穿设有疏通棒,疏通棒上设置有外螺纹,疏通棒上套设与其螺纹配合的密封螺母,密封螺母抵靠封盖B上侧面,旋紧后将通孔B密封。
进一步的,处理罐上端面上设置有压力表接口。
进一步的,伸长管上端外周设置法兰A,法兰上设置有均布有螺栓孔A,封盖A外周设置有与螺栓孔A相配的的螺栓孔B,螺栓孔A、螺栓孔B一一对应设置,封盖A与伸长管外周的法兰A经螺栓连接,封盖A与法兰A之间设置有密封圈。
进一步的,处理罐上部周侧设置有玻璃管液位计,玻璃管液位计最下端不低于盐酸排出口。
进一步的,卸料口外周设置法兰B,法兰B上设置有均布有螺栓孔C,板外周设置有与螺栓孔C相配的的螺栓孔D,螺栓孔C、螺栓孔D一一对应设置,封板与卸料口外周的法兰B经螺栓连接,封板与法兰B之间设置有密封圈。
进一步的,处理罐下部周侧竖直设置有一玻璃观察窗口。
与现有技术相比,本实用新型有以下有益效果:结构简单,设计合理,能对电子工业用高纯三氯化硼纯化过程中排出的尾气进行处理,避免对环境造成影响。
附图说明
下面结合附图对本实用新型专利进一步说明。
图1是本装置的结构示意图;
图2是图1的侧视图;
图3是本装置的内部结构示意图。
图中:
1-疏通棒;2-密封螺母;3-封盖A;4-伸长管;5-加水口;6-压力表接口;7-处理罐;8-玻璃管液位计接口;9-盐酸排出口;10-玻璃观察窗口;11-硼酸卸料口;12-封板;13-尾气入口;14-废气出口;15-导气管;16-盐酸;17-固体硼酸。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。
如图1-3所示,一种三氯化硼纯化尾气处理装置,包括处理罐,处理罐上部设置有尾气入口、废气出口、加水口、处理罐下端周侧设置有一卸料口,硼酸卸料口处经封板封闭,处理罐周侧于硼酸卸料口上方设置有盐酸排出口,盐酸排出口在硼酸卸料口之上,可防止被硼酸(固体)堵塞。
在本实施例中,所述处理罐上端面设置有伸长管,伸长管周侧由上至下依次设置尾气入口、废气出口,伸长管顶部设置有封盖A,加水口设置在处理罐上端面。
在本实施例中,封盖A中部设置通孔A,伸长管内设置导气管,导气管下端伸入处理罐内上部,导气管上端连接通孔并由通A孔穿出,导气管上部周侧连接尾气入口,导气管上端设置封盖B, 封盖B中部设置通孔B,通孔B内穿设有疏通棒,疏通棒上设置有外螺纹,疏通棒上套设与其螺纹配合的密封螺母,密封螺母抵靠封盖B上侧面,旋紧后将通孔B密封,在尾气处理过程中,导气管与水接触部位容易被硼酸(固体)堵塞,因此在处理装置顶部设有疏通棒,定期对导气管进行疏通。
在本实施例中,处理罐上端面上设置有压力表接口。
在本实施例中,伸长管上端外周设置法兰A,法兰上设置有均布有螺栓孔A,封盖A外周设置有与螺栓孔A相配的的螺栓孔B,螺栓孔A、螺栓孔B一一对应设置,封盖A与伸长管外周的法兰A经螺栓连接,封盖A与法兰A之间设置有密封圈,同理封盖B也通过一样的法兰结构与导气管上端经螺栓连接。
在本实施例中,处理罐上部周侧设置有玻璃管液位计,可直接观察盐酸的液位情况,玻璃管液位计最下端不低于盐酸排出口。
在本实施例中,卸料口外周设置法兰B,法兰B上设置有均布有螺栓孔C,板外周设置有与螺栓孔C相配的的螺栓孔D,螺栓孔C、螺栓孔D一一对应设置,封板与卸料口外周的法兰B经螺栓连接,封板与法兰B之间设置有密封圈。
在本实施例中,处理罐下部周侧竖直设置有一玻璃观察窗口,以便及时对硼酸进行卸料,玻璃观察窗的最高点不高于盐酸排出口。
在本实施例中,因三氯化硼分解后的盐酸有较强的腐蚀性,装置采用FRPP材料制作。
本装置利用三氯化硼遇水分解成盐酸和硼酸的特性,采取将三氯化硼尾气排入水中的方法,使三氯化硼分解成盐酸和硼酸后再作处理。但是,硼酸在水中的溶解度较小,硼酸在水中饱和后以固态沉淀在容器底部,同时盐酸和硼酸在同一个容器内,必须分开回收利用。
使用时,将三氯化硼尾气直接由尾气入口排入装有水的处理罐,使三氯化硼与水反应分解成盐酸和硼酸,在尾气处理过程中,硼酸(固体)沉入处理罐底部,硼酸(固体)之上为盐酸(液体),未被反应的少量三氯化硼和其它气体从伸长管上的废气出口排出,当盐酸浓度达到30%(市场需求浓度)时,从盐酸排出口排出回收,然后由加水口再加入自来水继续与三氯化硼尾气进行反应。随着尾气处理过程的继续,沉入处理罐底部的硼酸(固体)达到最高位置时(最高点超过玻璃观察窗口),首先从盐酸排出口排尽硼酸(固体)以上的盐酸,然后拆下封板,打开硼酸卸料口,将硼酸(固体)装袋回收。
上列较佳实施例,对本实用新型的目的、技术方案和优点进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种三氯化硼纯化尾气处理装置,其特征在于:包括处理罐,处理罐上部设置有尾气入口、废气出口、加水口、处理罐下端周侧设置有一卸料口,硼酸卸料口处经封板封闭,处理罐周侧于硼酸卸料口上方设置有盐酸排出口。
2.根据权利要求1所述的三氯化硼纯化尾气处理装置,其特征在于:所述处理罐上端面设置有伸长管,伸长管周侧由上至下依次设置尾气入口、废气出口,伸长管顶部设置有封盖,加水口设置在处理罐上端面。
3.根据权利要求2所述的三氯化硼纯化尾气处理装置,其特征在于:封盖A中部设置通孔A,伸长管内设置导气管,导气管下端伸入处理罐内上部,导气管上端连接通孔并由通A孔穿出,导气管上部周侧连接尾气入口,导气管上端设置封盖B, 封盖B中部设置通孔B, 通孔B内穿设有疏通棒,疏通棒上设置有外螺纹,疏通棒上套设与其螺纹配合的密封螺母,密封螺母抵靠封盖B上侧面,旋紧后将通孔B密封。
4.根据权利要求2所述的三氯化硼纯化尾气处理装置,其特征在于:处理罐上端面上设置有压力表接口。
5.根据权利要求2所述的三氯化硼纯化尾气处理装置,其特征在于:伸长管上端外周设置法兰A,法兰上设置有均布有螺栓孔A,封盖A外周设置有与螺栓孔A相配的螺栓孔B,螺栓孔A、螺栓孔B一一对应设置,封盖A与伸长管外周的法兰A经螺栓连接,封盖A与法兰A之间设置有密封圈。
6.根据权利要求1所述的三氯化硼纯化尾气处理装置,其特征在于:处理罐上部周侧设置有玻璃管液位计,玻璃管液位计最下端不低于盐酸排出口。
7.根据权利要求6所述的三氯化硼纯化尾气处理装置,其特征在于:卸料口外周设置法兰B,法兰B上设置有均布有螺栓孔C,板外周设置有与螺栓孔C相配的螺栓孔D,螺栓孔C、螺栓孔D一一对应设置,封板与卸料口外周的法兰B经螺栓连接,封板与法兰B之间设置有密封圈。
8.根据权利要求1所述的三氯化硼纯化尾气处理装置,其特征在于:处理罐下部周侧竖直设置有一玻璃观察窗口。
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