CN208574660U - 坩埚架总成 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出一种坩埚架总成，所述坩埚架总成包括一平面底盘、垂直固定于底盘上的若干坩埚架、垂直固定于底盘中心的一提手，所述提手和坩埚架固定于底盘的同一面，所述提手的顶端高度高于坩埚架的顶端高度，每一坩埚架包括一支撑柄、一第一环架、一第二环架，所述第一环架、第二环架均水平固定于支撑柄的一侧，所述第一环架的内环半径大于第二环架的内环半径，所述第一环架位于第二环架的上方，坩埚能够自上方放置于坩埚架上，所述过渡部固定于第一环架上，同时嘴部固定于第二环架上。本实用新型坩埚架总成，与机械手结合，能够实现坩埚架的机械自动化移动，在坩埚需要放置时，坩埚架总成能够稳定的放置多个坩埚。

Description

坩埚架总成

技术领域

本实用新型涉及半导体材料制备领域，尤其涉及用于放置坩埚的一种坩埚架总成。

背景技术

在半导体材料制备领域，需要用到坩埚，且坩埚通常包括一直筒部以及自直筒部向下收窄延伸的嘴部，这样结构的坩埚容易倾倒，且处理过程中坩埚不能用手触碰，坩埚还需要便于移动，现有的坩埚架或坩埚架总成都未能解决上述这些技术问题。

因此，有必要设计一种新的坩埚架总成以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述技术问题，提出一种坩埚放置稳固、便于机械手移动坩埚的坩埚架总成。

为实现前述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种坩埚架总成，用于放置坩埚，所述坩埚包括自上向下延伸的一直筒部、一过渡部以及一嘴部，所述直筒部的截面半径大于过渡部的截面半径，所述过渡部逐渐收窄，所述坩埚架总成包括一平面底盘、垂直固定于底盘上的若干坩埚架、垂直固定于底盘中心的一提手，所述提手和坩埚架固定于底盘的同一面，所述提手的顶端高度高于坩埚架的顶端高度，每一坩埚架包括一支撑柄、一第一环架、一第二环架，所述第一环架、第二环架均水平固定于支撑柄的一侧，所述第一环架的内环半径大于第二环架的内环半径，所述第一环架位于第二环架的上方，坩埚能够自上方放置于坩埚架上，所述过渡部固定于第一环架上，同时嘴部固定于第二环架上。

作为本实用新型的进一步改进，所述坩埚架围绕底盘中心均匀分布。

作为本实用新型的进一步改进，坩埚固定在坩埚架上时，所述提手的顶端高度高于坩埚的顶端高度。

作为本实用新型的进一步改进，所述底盘上开设有若干异型孔，所述异型孔均匀分布在底盘上。

作为本实用新型的进一步改进，所述支撑柄包括一曲部和自曲部向下延伸的一直部，所述直部垂直于底盘固定。

作为本实用新型的进一步改进，所述曲部位于第一环架、第二环架之间，所述直部位于第二环架和底盘之间。

本实用新型坩埚架总成，与机械手结合，能够实现坩埚架的机械自动化移动，在坩埚需要放置时，坩埚架总成能够稳定的放置多个坩埚。

附图说明

图1为本实用新型坩埚架总成的第一整体结构示意图。

图2为本实用新型坩埚架总成的第二整体结构示意图。

图3为本实用新型坩埚架总成的坩埚架的结构示意图。

图4为本实用新型坩埚架总成与机械手配合时的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例对技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、2，一种坩埚架总成100，用于放置坩埚200，坩埚200包括自上向下延伸的一直筒部210、一过渡部220以及一嘴部230，直筒部210的截面半径大于过渡部220的截面半径，过渡部220逐渐收窄，坩埚架总成100包括一平面底盘110、垂直固定于底盘110上的若干坩埚架120、垂直固定于底盘110中心的一提手130。

底盘110为一圆形平面盘，提手130和坩埚架120固定于底盘110的同一面。设置提手130是为了便于移动坩埚架总成100。底盘110上开设有若干异型孔111，若干异型孔111均匀分布在底盘110上。异型孔111用于将底盘110固定于另一部件（图上未示出）上，另一部件可以作为坩埚架总成100的固定支撑。

提手130的顶端高度高于坩埚架120的顶端高度，这样的设置便于机械手或者人工移动整个坩埚架总成100。

请参阅图3，每一坩埚架120包括一支撑柄121、一第一环架122、一第二环架123，第一环架122、第二环架123均水平固定于支撑柄121的一侧，第一环架122的内环半径大于第二环架123的内环半径，第一环架122位于第二环架123的上方，坩埚200能够自上方放置于坩埚架120上，过渡部220固定于第一环架122上，同时嘴部220固定于第二环架123上。坩埚架120的结构是专门针对坩埚200的结构而设置的，第一环架122、第二环架123的设置目的在于通过多点的接触固定能够将坩埚200稳定的放置于坩埚架120上。

支撑柄121包括一曲部121a和自曲部121a向下延伸的一直部121b，直部121b垂直于底盘110固定，在本实施例中，直部121b焊接在底盘上。曲部121a位于第一环架122、第二环架123之间，直部121b位于第二环架122和底盘110之间。

请参阅图4，机械手300能够十分便利的转移坩埚架100总成，其具体过程为：机械手300张开机械爪301，抓取坩埚架总成100的提手130，转移到指定的地点，实现坩埚架100及坩埚200的机械自动化移动。

本实用新型坩埚架总成100，与机械手300结合，能够实现坩埚架100的机械自动化移动，在坩埚200需要放置时，坩埚架总成100能够稳定的放置多个坩埚200。

尽管为示例目的，已经公开了本实用新型的优选实施方式，但是本领域的普通技术人员将意识到，在不脱离由所附的权利要求书公开的本实用新型的范围和精神的情况下，各种改进、增加以及取代是可能的。

Claims (6)

1.一种坩埚架总成，用于放置坩埚，所述坩埚包括自上向下延伸的一直筒部、一过渡部以及一嘴部，所述直筒部的截面半径大于过渡部的截面半径，所述过渡部逐渐收窄，其特征在于：所述坩埚架总成包括一平面底盘、垂直固定于底盘上的若干坩埚架、垂直固定于底盘中心的一提手，所述提手和坩埚架固定于底盘的同一面，所述提手的顶端高度高于坩埚架的顶端高度，每一坩埚架包括一支撑柄、一第一环架、一第二环架，所述第一环架、第二环架均水平固定于支撑柄的一侧，所述第一环架的内环半径大于第二环架的内环半径，所述第一环架位于第二环架的上方，坩埚能够自上方放置于坩埚架上，所述过渡部固定于第一环架上，同时嘴部固定于第二环架上。

2.根据权利要求1 所述的坩埚架总成，其特征在于：所述坩埚架围绕底盘中心均匀分布。

3.根据权利要求1 所述的坩埚架总成，其特征在于：坩埚固定在坩埚架上时，所述提手的顶端高度高于坩埚的顶端高度。

4.根据权利要求1 所述的坩埚架总成，其特征在于：所述底盘上开设有若干异型孔，所述异型孔均匀分布在底盘上。

5.根据权利要求1 所述的坩埚架总成，其特征在于：所述支撑柄包括一曲部和自曲部向下延伸的一直部，所述直部垂直于底盘固定。

6.根据权利要求5 所述的坩埚架总成，其特征在于：所述曲部位于第一环架、第二环架之间，所述直部位于第二环架和底盘之间。