CN208545484U - 一种防尘密封气动旋转引弧装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种防尘密封气动旋转引弧装置，包括引弧机构、真空室、旋转密封机构以及驱动机构；旋转密封机构设置于真空室的上方，旋转密封机构包括绝缘组件、密封润滑组件及防尘组件；驱动机构包括旋转驱动组件及设置于旋转驱动组件驱动端上的旋转固定组件，旋转固定组件的另一端与引弧机构固定连接；密封润滑组件包括套设于旋转固定组件上的轴套，轴套上沿周向的一侧上开设有润滑注射孔，润滑注射孔上可拆卸安装有密封螺钉；通过在引弧杆的周向设置旋转密封机构，密封润滑组件实现引弧过程中的密封润滑，防尘组件实现引弧过程中的防尘，解决了现有技术中引弧杆旋转部防尘效果差、磨损大，装置的使用寿命低的技术问题。

Description

一种防尘密封气动旋转引弧装置

技术领域

本实用新型属于等离子体表面气相沉积技术领域，尤其涉及一种防尘密封气动旋转引弧装置。

背景技术

真空阴极电弧沉积是当前离子镀工模具用和装饰用硬质保护薄膜的主流技术之一；具体的镀膜过程如下：真空阴极电弧蒸发源安装在真空镀膜室侧壁上，蒸发源前端穿入真空镀室内，其上的镀料靶块面朝着真空镀室内的待镀工件，由引弧装置在靶块表面引燃成簇的真空电弧微弧斑，弧斑区的高温和场致效应作用让靶材蒸发生成金属蒸气，并电离成等离子体向空间发射，在工件表面沉积成薄膜。

中国专利CN96218605.8描述了旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机，包括镀膜室、工件转架、旋转磁控柱状弧源、进气系统、弧源电源、烘烤加热源、引弧针系统、真空系统、工件偏压电源组成。柱弧源由管状金属材料作靶材、管内安装数根条形永磁体，永磁体在靶管内作旋转运动。弧斑呈线状沿柱弧靶全长分布，并沿柱弧靶面扫描。旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机有立式结构、卧式结构、箱式结构。设备结构简单操作简便。适于镀氮化钛涂层。应用于超硬涂层刀具和钛金精饰品等领域。

上述机构存在诸多不足，如在进行旋转引弧时，引弧杆旋转部防尘效果差、磨损大，装置的使用寿命低。

实用新型内容

本实用新型的针对现有技术的不足提供一种防尘密封气动旋转引弧装置，通过在引弧杆的周向设置旋转密封机构，密封润滑组件实现引弧过程中的密封润滑，防尘组件实现引弧过程中的防尘，解决了现有技术中引弧杆旋转部防尘效果差、磨损大，装置的使用寿命低的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种防尘密封气动旋转引弧装置，包括引弧机构以及真空室，还包括：

旋转密封机构，所述旋转密封机构设置于所述真空室的上方，该旋转密封机构包括绝缘组件、密封润滑组件及设置于所述密封润滑组件下方的防尘组件；以及

驱动机构，所述驱动机构包括旋转驱动组件及设置于所述旋转驱动组件驱动端上的旋转固定组件，所述旋转固定组件的另一端与所述引弧机构固定连接；

所述密封润滑组件包括套设于所述旋转固定组件上的轴套，所述轴套上沿周向的一侧上开设有润滑注射孔，该润滑注射孔上可拆卸安装有密封螺钉。

作为改进，所述引弧机构包括：

引弧杆，所述引弧杆自上而下贯穿转动设置于所述旋转密封机构及真空室的安装孔内，该引弧杆一端与所述旋转驱动组件驱动端固定连接；

引弧针，所述引弧针一端与所述引弧杆一端固定连接且呈角度设置；

压盖，所述压盖固定设置于所述引弧杆与引弧针连接端上。

作为改进，所述引弧针与所述引弧杆所呈角度为90°。

作为改进，所述绝缘组件包括：

绝缘板，所述绝缘板固定设置于所述真空室的正上方，且该绝缘板与所述安装孔同轴设置；

O型圈，所述O型圈数量为两组且分别设置于所述绝缘板的上下两面上，且上端的O型圈分别与所述轴套和绝缘板密封接触设置，下端的O型圈分别与所述绝缘板和真空室的上端面密封接触设置；

紧固件，所述紧固件自下而上依次贯穿设置于所述真空室、绝缘板和轴套，该紧固件与所述真空室连接端上设置有螺钉绝缘套。

作为改进，所述轴套轴向方向上开设有引弧杆转动孔，该引弧杆转动孔包括自上而下依次设置的轴承安装孔和防尘安装孔，所述轴承安装孔内转动安装有深沟球轴承，所述润滑注射孔与所述防尘安装孔内部连通设置。

作为改进，所述密封润滑组件设置于所述防尘安装孔内，该密封润滑组件包括：

聚氨脂油封，所述聚氨脂油封套设于所述引弧杆上，且该聚氨脂油封限位于所述防尘安装孔台阶面上；

骨架轴封，所述骨架轴封套设于所述引弧杆上，且该骨架轴封位于所述聚氨脂油封下方，该骨架轴封限位于所述防尘安装孔台阶面上。

作为改进，所述防尘组件包括：

内压板，所述内压板套设于所述引弧杆上，该内压板设置于所述骨架轴封下方，且该内压板止挡于所述防尘安装孔止挡面上；

压板，所述压板设置于所述内压板下方且与该内压板呈卡合连接，该压板止挡于所述防尘安装孔止挡面上。

作为改进，所述旋转驱动组件包括：

气缸支架，所述气缸支架固定设置于所述轴套上，该气缸支架内部为中空设置，且于中空位置处形成旋转区域；

旋转气缸，所述旋转气缸固定设置于所述气缸支架上，该旋转气缸驱动端伸入作用于所述旋转区域内。

作为改进，所述旋转固定组件包括：

联轴套，所述联轴套设置于所述旋转区域内，该联轴套两端分别与所述旋转气缸驱动端和引弧杆一端连接设置。

作为改进，所述引弧杆与所述真空室之间设置有陶瓷保护套，该陶瓷保护套套设于所述引弧杆上。

本实用新型的有益效果在于：

(1)本实用新型较传统的旋转引弧装置，通过在驱动机构和真空室之间设置旋转密封机构，轴套套设在引弧杆上，并在轴套的周向上开设润滑注射孔，当使用次数达到一定次数时，将润滑注射孔上的密封螺钉拆下，向润滑注射孔注射真空硅脂，确保引弧杆在转动过程中的润滑性；

(2)本实用新型较传统的旋转引弧装置，通过设置防尘组件，内压板和压板呈卡合连接设置于引弧杆的周向上，实现旋转密封机构内聚氨脂油封和骨架轴封的防尘，确保聚氨脂油封和骨架轴封润滑稳定性；

(3)本实用新型较传统的旋转引弧装置，通过在引弧杆和真空室之间设置陶瓷保护套，提高装置的安全性。

总之，本实用新型具有结构简单，防尘效果好、密封效果好、安全性高等优点，尤其适用于等离子体表面气相沉积技术领域。

附图说明

为了更清楚的说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为图1中A处的局部放大图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地说明。

实施例一

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

如图1～2所示，一种防尘密封气动旋转引弧装置，包括引弧机构1以及真空室2，还包括：

旋转密封机构3，所述旋转密封机构3设置于所述真空室2的上方，该旋转密封机构3包括绝缘组件31、密封润滑组件32及设置于所述密封润滑组件32下方的防尘组件33；以及

驱动机构4，所述驱动机构4包括旋转驱动组件41及设置于所述旋转驱动组件41驱动端上的旋转固定组件42，所述旋转固定组件42的另一端与所述引弧机构1固定连接；

所述密封润滑组件32包括套设于所述旋转固定组件42上的轴套321，所述轴套321上沿周向的一侧上开设有润滑注射孔3210，该润滑注射孔3210上可拆卸安装有密封螺钉3221。

需要说明的是，通过在驱动机构4和真空室2之间设置旋转密封机构3，轴套321套设在引弧杆11上，并在轴套321的周向上开设润滑注射孔3210，当使用次数达到一定次数时，将润滑注射孔3210上的密封螺钉3221拆下，向润滑注射孔3210注射真空硅脂，确保引弧杆在转动过程中的润滑性。

进一步地，所述引弧机构1包括：

引弧杆11，所述引弧杆11自上而下贯穿转动设置于所述旋转密封机构3及真空室2的安装孔21内，该引弧杆11一端与所述旋转驱动组件41驱动端固定连接；

引弧针12，所述引弧针12一端与所述引弧杆11一端固定连接且呈角度设置；

压盖13，所述压盖13固定设置于所述引弧杆11与引弧针12连接端上。

进一步地，所述引弧针12与所述引弧杆11所呈角度为90°。

需要说明的是，引弧杆11由旋转驱动组件41驱动下实现90°旋转，引弧杆11在旋转过程中带动引弧针12进行转动，引弧针12在转动过程中与靶材表面接触，实现引弧处理。

进一步地，所述绝缘组件31包括：

绝缘板311，所述绝缘板311固定设置于所述真空室2的正上方，且该绝缘板311与所述安装孔21同轴设置；

O型圈312，所述O型圈312数量为两组且分别设置于所述绝缘板311的上下两面上，且上端的O型圈312分别与所述轴套321和绝缘板311密封接触设置，下端的O型圈312分别与所述绝缘板311和真空室2的上端面密封接触设置；

紧固件313，所述紧固件313自下而上依次贯穿设置于所述真空室2、绝缘板311和轴套321，该紧固件313与所述真空室2连接端上设置有螺钉绝缘套3131。

进一步地，所述轴套321轴向方向上开设有引弧杆转动孔320，该引弧杆转动孔320包括自上而下依次设置的轴承安装孔3201和防尘安装孔3202，所述轴承安装孔3201内转动安装有深沟球轴承3211，所述润滑注射孔3210与所述防尘安装孔3202内部连通设置。

进一步地，所述密封润滑组件32设置于所述防尘安装孔3202内，该密封润滑组件32包括：

聚氨脂油封322，所述聚氨脂油封322套设于所述引弧杆11上，且该聚氨脂油封322限位于所述防尘安装孔3202台阶面上；

骨架轴封323，所述骨架轴封323套设于所述引弧杆11上，且该骨架轴封323位于所述聚氨脂油封322下方，该骨架轴封323限位于所述防尘安装孔3202台阶面上。

需要说明的是，内压板331和压板332呈卡合连接设置于引弧杆11的周向上，实现旋转密封机构3内聚氨脂油封322和骨架轴封323的防尘，确保聚氨脂油封322和骨架轴封323润滑稳定性。

进一步地，所述防尘组件33包括：

内压板331，所述内压板331套设于所述引弧杆11上，该内压板331设置于所述骨架轴封323下方，且该内压板331止挡于所述防尘安装孔3202止挡面上；

压板332，所述压板332设置于所述内压板331下方且与该内压板331呈卡合连接，该压板332止挡于所述防尘安装孔3202止挡面上。

进一步地，所述旋转驱动组件41包括：

气缸支架411，所述气缸支架411固定设置于所述轴套321上，该气缸支架411内部为中空设置，且于中空位置处形成旋转区域4111；

旋转气缸412，所述旋转气缸412固定设置于所述气缸支架411上，该旋转气缸412驱动端伸入作用于所述旋转区域4111内。

进一步地，所述旋转固定组件42包括：

联轴套421，所述联轴套421设置于所述旋转区域4111内，该联轴套421两端分别与所述旋转气缸412驱动端和引弧杆11一端连接设置。

进一步地，所述引弧杆11与所述真空室2之间设置有陶瓷保护套22，该陶瓷保护套22套设于所述引弧杆11上。

工作过程：

如图1所示，驱动机构4上的旋转气缸412进行90度的旋转，带动引弧杆11转动90度，同时带动与该引弧杆11呈90度设置的引弧针12进行转动90度，完成对靶材表面的引弧处理，当使用次数达到一定次数时，将润滑注射孔3210上的密封螺钉3221拆下，向润滑注射孔3210注射真空硅脂，确保引弧杆在转动过程中的润滑性。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，可以对这些特征和实施例进行各种改变或等效替换。另外，在本实用新型的教导下，可以对这些特征和实施例进行修改以适应具体的情况及材料而不会脱离本实用新型的精神和范围。因此，本实用新型不受此处所公开的具体实施例的限制，所有落入本申请的权利要求范围内的实施例都属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种防尘密封气动旋转引弧装置，包括引弧机构(1)以及真空室(2)，其特征在于，还包括：

旋转密封机构(3)，所述旋转密封机构(3)设置于所述真空室(2)的上方，该旋转密封机构(3)包括绝缘组件(31)、密封润滑组件(32)及设置于所述密封润滑组件(32)下方的防尘组件(33)；以及

驱动机构(4)，所述驱动机构(4)包括旋转驱动组件(41)及设置于所述旋转驱动组件(41)驱动端上的旋转固定组件(42)，所述旋转固定组件(42)的另一端与所述引弧机构(1)固定连接；

所述密封润滑组件(32)包括套设于所述旋转固定组件(42)上的轴套(321)，所述轴套(321)上沿周向的一侧上开设有润滑注射孔(3210)，该润滑注射孔(3210)上可拆卸安装有密封螺钉(3221)。

2.根据权利要求1所述的一种防尘密封气动旋转引弧装置，其特征在于，所述引弧机构(1)包括：

引弧杆(11)，所述引弧杆(11)自上而下贯穿转动设置于所述旋转密封机构(3)及真空室(2)的安装孔(21)内，该引弧杆(11)一端与所述旋转驱动组件(41)驱动端固定连接；

引弧针(12)，所述引弧针(12)一端与所述引弧杆(11)一端固定连接且呈角度设置；

压盖(13)，所述压盖(13)固定设置于所述引弧杆(11)与引弧针(12)连接端上。

3.根据权利要求2所述的一种防尘密封气动旋转引弧装置，其特征在于，所述引弧针(12)与所述引弧杆(11)所呈角度为90°。

4.根据权利要求2所述的一种防尘密封气动旋转引弧装置，其特征在于，所述绝缘组件(31)包括：

绝缘板(311)，所述绝缘板(311)固定设置于所述真空室(2)的正上方，且该绝缘板(311)与所述安装孔(21)同轴设置；

O型圈(312)，所述O型圈(312)数量为两组且分别设置于所述绝缘板(311)的上下两面上，且上端的O型圈(312)分别与所述轴套(321)和绝缘板(311)密封接触设置，下端的O型圈(312)分别与所述绝缘板(311)和真空室(2)的上端面密封接触设置；

紧固件(313)，所述紧固件(313)自下而上依次贯穿设置于所述真空室(2)、绝缘板(311)和轴套(321)，该紧固件(313)与所述真空室(2)连接端上设置有螺钉绝缘套(3131)。

5.根据权利要求3所述的一种防尘密封气动旋转引弧装置，其特征在于，所述轴套(321)轴向方向上开设有引弧杆转动孔(320)，该引弧杆转动孔(320)包括自上而下依次设置的轴承安装孔(3201)和防尘安装孔(3202)，所述轴承安装孔(3201)内转动安装有深沟球轴承(3211)，所述润滑注射孔(3210)与所述防尘安装孔(3202)内部连通设置。

6.根据权利要求5所述的一种防尘密封气动旋转引弧装置，其特征在于，所述密封润滑组件(32)设置于所述防尘安装孔(3202)内，该密封润滑组件(32)包括：

聚氨脂油封(322)，所述聚氨脂油封(322)套设于所述引弧杆(11)上，且该聚氨脂油封(322)限位于所述防尘安装孔(3202)台阶面上；

骨架轴封(323)，所述骨架轴封(323)套设于所述引弧杆(11)上，且该骨架轴封(323)位于所述聚氨脂油封(322)下方，该骨架轴封(323)限位于所述防尘安装孔(3202)台阶面上。

7.根据权利要求6所述的一种防尘密封气动旋转引弧装置，其特征在于，所述防尘组件(33)包括：

内压板(331)，所述内压板(331)套设于所述引弧杆(11)上，该内压板(331)设置于所述骨架轴封(323)下方，且该内压板(331)止挡于所述防尘安装孔(3202)止挡面上；

压板(332)，所述压板(332)设置于所述内压板(331)下方且与该内压板(331)呈卡合连接，该压板(332)止挡于所述防尘安装孔(3202)止挡面上。

8.根据权利要求1所述的一种防尘密封气动旋转引弧装置，其特征在于，所述旋转驱动组件(41)包括：

气缸支架(411)，所述气缸支架(411)固定设置于所述轴套(321)上，该气缸支架(411)内部为中空设置，且于中空位置处形成旋转区域(4111)；

旋转气缸(412)，所述旋转气缸(412)固定设置于所述气缸支架(411)上，该旋转气缸(412)驱动端伸入作用于所述旋转区域(4111)内。

9.根据权利要求8所述的一种防尘密封气动旋转引弧装置，其特征在于，所述旋转固定组件(42)包括：

联轴套(421)，所述联轴套(421)设置于所述旋转区域(4111)内，该联轴套(421)两端分别与所述旋转气缸(412)驱动端和引弧杆(11)一端连接设置。

10.根据权利要求2所述的一种防尘密封气动旋转引弧装置，其特征在于，所述引弧杆(11)与所述真空室(2)之间设置有陶瓷保护套(22)，该陶瓷保护套(22)套设于所述引弧杆(11)上。