CN208537105U - 一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置，包括均设置在曝光机腔体内部的检测容器、漏水传感器、时间继电器和双路继电器，所述检测容器设置在冷凝管道下方，所述漏水传感器的触角伸入检测容器内，所述漏水传感器的输出接口连接时间继电器的线圈负极控制端，所述时间继电器的线圈正极控制端连接直流低压电源，所述时间继电器的常开触点的一端连接直流低压电源，另一端连接双路继电器的线圈正极控制端，所述双路继电器的线圈负极控制端接地，所述双路继电器的常闭触点的一端连接外部供电线路，另一端连接曝光组件。本实用新型能够在曝光机腔体内部出现浸水情况时自动切断曝光组件的供电线路，消除了安全隐患。
Description
技术领域
本实用新型涉及激光直写曝光技术领域，具体是一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置。
背景技术
激光直写曝光机一般由外壳和曝光组件构成，曝光组件设置在由外壳构成的腔体内部。在激光直写曝光过程中，对腔体内部的环境要求很高，一般都是使用循环冷却水对腔体内部的温度进行控制，但是这种方式可能会出现浸水的情况，主要有两种成因：一是设置在腔体内部的冷凝管道漏水，二是内外温差大导致冷凝管道外表面凝结大量水珠。腔体内部浸水对曝光组件来说存在很大的安全隐患，如果不对这一隐患加以检测，则不仅会损坏曝光组件，还会危及工作人员的人身安全。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置，该装置能够对腔体内部的浸水情况进行检测并保护曝光组件。
本实用新型的技术方案为：
一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置，该装置包括检测容器、漏水传感器、时间继电器和双路继电器，所述检测容器、漏水传感器、时间继电器和双路继电器均设置在曝光机的腔体内部，所述检测容器设置在冷凝管道下方，所述漏水传感器的触角伸入检测容器内，所述漏水传感器的一个供电接口连接直流低压电源，另一个供电接口接地，所述漏水传感器的输出接口连接时间继电器的线圈负极控制端，所述时间继电器的线圈正极控制端连接直流低压电源，所述时间继电器的常开触点的一端连接直流低压电源，另一端连接双路继电器的线圈正极控制端，所述双路继电器的线圈负极控制端接地，所述双路继电器的常闭触点的一端连接外部供电线路，另一端连接曝光组件。
所述的用于激光直写曝光机的漏水检测装置，该装置还包括设置在曝光机腔体内部的蜂鸣器，所述蜂鸣器的一个引脚连接到漏水传感器的输出接口与时间继电器的线圈负极控制端之间的节点，另一个引脚连接到时间继电器的线圈正极控制端与直流低压电源之间的节点。
所述的用于激光直写曝光机的漏水检测装置，所述直流低压电源采用24V电源。
由上述技术方案可知，本实用新型能够利用漏水传感器对曝光机腔体内部的浸水情况进行检测，当检测到有浸水情况时，能够自动切断曝光组件的供电线路，从而起到保护曝光组件的作用，消除了安全隐患。另外，设置蜂鸣器，便于更加直观地提醒工作人员浸水情况的发生。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例进一步说明本实用新型。
如图1所示，一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置，包括检测容器1、漏水传感器2、时间继电器3、双路继电器4和蜂鸣器5。检测容器1、漏水传感器2、时间继电器3、双路继电器4和蜂鸣器5均设置在曝光机的腔体内部，其中，检测容器1设置在冷凝管道下方，用于接水，漏水传感器2的触角伸入检测容器1内。
漏水传感器2的一个供电接口连接24V电源，另一个供电接口接地。漏水传感器2的输出接口连接时间继电器3的线圈负极控制端，时间继电器3的线圈正极控制端连接24V电源。时间继电器3的常开触点的一端连接24V电源，另一端连接双路继电器4的线圈正极控制端，双路继电器4的线圈负极控制端接地。双路继电器4的一路常闭触点的一端连接外部供电线路的火线，另一端连接曝光组件0的火线接口，另一路常闭触点的一端连接外部供电线路的零线，另一端连接曝光组件0的零线接口。蜂鸣器5的一个引脚连接到漏水传感器2的输出接口与时间继电器3的线圈负极控制端之间的节点，另一个引脚连接到时间继电器3的线圈正极控制端与24V电源之间的节点。
本实用新型的工作原理：
本实用新型利用漏水传感器2对曝光机腔体内部渗透的水进行感应，当检测容器1内的积水超出检测容器1底部一定距离（如50mm）时，漏水传感器2感应到并动作，其输出接口置低电平，时间继电器3的线圈负极控制端和蜂鸣器5的一个引脚电平被拉低后，内部电路接通24V电源，蜂鸣器5响，时间继电器3按照预先设定的时间（如10s）进行等待，当到达设定的时间后，时间继电器3的常开触点接通24V电源，双路继电器4的线圈正极控制端带电后内部簧片吸合，双路继电器4的常闭触点变成开路，曝光组件0的供电线路被切断，从而起到保护曝光组件0的作用。
以上所述实施方式仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。
Claims (3)
1.一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置，其特征在于：该装置包括检测容器、漏水传感器、时间继电器和双路继电器，所述检测容器、漏水传感器、时间继电器和双路继电器均设置在曝光机的腔体内部，所述检测容器设置在冷凝管道下方，所述漏水传感器的触角伸入检测容器内，所述漏水传感器的一个供电接口连接直流低压电源，另一个供电接口接地，所述漏水传感器的输出接口连接时间继电器的线圈负极控制端，所述时间继电器的线圈正极控制端连接直流低压电源，所述时间继电器的常开触点的一端连接直流低压电源，另一端连接双路继电器的线圈正极控制端，所述双路继电器的线圈负极控制端接地，所述双路继电器的常闭触点的一端连接外部供电线路，另一端连接曝光组件。
2.根据权利要求1所述的用于激光直写曝光机的漏水检测装置，其特征在于：该装置还包括设置在曝光机腔体内部的蜂鸣器，所述蜂鸣器的一个引脚连接到漏水传感器的输出接口与时间继电器的线圈负极控制端之间的节点，另一个引脚连接到时间继电器的线圈正极控制端与直流低压电源之间的节点。
3.根据权利要求1或2所述的用于激光直写曝光机的漏水检测装置，其特征在于：所述直流低压电源采用24V电源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821280380.9U CN208537105U (zh) | 2018-08-09 | 2018-08-09 | 一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201821280380.9U CN208537105U (zh) | 2018-08-09 | 2018-08-09 | 一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208537105U true CN208537105U (zh) | 2019-02-22 |
Family
ID=65378867
Family Applications (1)
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| CN201821280380.9U Active CN208537105U (zh) | 2018-08-09 | 2018-08-09 | 一种用于激光直写曝光机的漏水检测装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN208537105U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112161751A (zh) * | 2020-09-15 | 2021-01-01 | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 | 直写式光刻机及漏水检测方法 |
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2018
- 2018-08-09 CN CN201821280380.9U patent/CN208537105U/zh active Active
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