CN208532926U - 一种气相沉积装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种气相沉积装置，其包括动力机构、真空流量计、连接块、支撑架、转轴、加热炉、反应管、盖板、控制阀、泵、液压表，动力机构与真空流量计相连，动力机构、真空流量计都与连接块相连，连接块与多个支撑架相连，支撑架与反应管相连，连接块与多个转轴相连，转轴位于支撑架一侧，泵安装在反应管一端，盖板与反应管的另一端相连，盖板与控制阀相连，加热炉、液压表都安装在反应管上，加热炉位于液压表一侧，加热炉与多个转轴相连等。本实用新型能够提高工作效率，且操作简单。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种化工设备，特别是涉及一种气相沉积装置。
背景技术
气相沉积装置主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。但现有的气相沉积装置工作效率差，且操作复杂。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种气相沉积装置，其能够提高工作效率，且操作简单。
本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：一种气相沉积装置，其包括动力机构、真空流量计、连接块、支撑架、转轴、加热炉、反应管、盖板、控制阀、泵、液压表，动力机构与真空流量计相连，动力机构、真空流量计都与连接块相连，连接块与多个支撑架相连，支撑架与反应管相连，连接块与多个转轴相连，转轴位于支撑架一侧，泵安装在反应管一端，盖板与反应管的另一端相连，盖板与控制阀相连，加热炉、液压表都安装在反应管上，加热炉位于液压表一侧，加热炉与多个转轴相连，其中：
动力机构包括轴承、齿轮、转子、涡轮，齿轮、转子、涡轮都与轴承相连，齿轮与转子相连，转子与涡轮相连。
优选地，所述动力机构、真空流量计、加热炉上都设有显示器。
优选地，所述加热炉上设有多个圆孔。
优选地，所述动力机构、真空流量计上都设有底座。
优选地，所述真空流量计上设有小孔。
优选地，所述真空流量计通过管道与反应管相连。
本实用新型的积极进步效果在于：本实用新型能够提高工作效率，且操作简单，结构简单，成本低，体积小。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型流量计结构的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图给出本实用新型较佳实施例，以详细说明本实用新型的技术方案。
如图1至图2所示，本实用新型气相沉积装置包括动力机构1、真空流量计2、连接块3、支撑架4、转轴5、加热炉6、反应管7、盖板8、控制阀9、泵10、液压表11，动力机构1与真空流量计2相连，动力机构1、真空流量计2都与连接块3相连，连接块3与多个支撑架4相连，支撑架4与反应管7相连，连接块3与多个转轴5相连，转轴5位于支撑架4一侧，泵10安装在反应管7一端，盖板8与反应管7的另一端相连，盖板8与控制阀9相连，加热炉6、液压表11都安装在反应管7上，加热炉6位于液压表11一侧，加热炉6与多个转轴5相连，其中：
动力机构1包括轴承17、齿轮12、转子13、涡轮14，齿轮12、转子13、涡轮14都与轴承17相连，齿轮12与转子13相连，转子13与涡轮14相连。
所述动力机构1、真空流量计2、加热炉6上都设有显示器，这样方便显示。
所述加热炉6上设有多个圆孔，这样方便与转轴5、反应管7相连，从而方便使用。
所述动力机构1、真空流量计2上都设有底座，这样方便固定。
所述真空流量计2上设有小孔，这样方便气体流入真空流量计2中。
所述真空流量计2通过管道与反应管7相连，这样方便操作。
本实用新型的工作原理如下：轴承、齿轮、转子、涡轮组成动力机构，动力机构给真空流量计、加热炉提供动力，轴承带动齿轮、转子、涡轮进行运作，在通过涡轮带动转子，转子带动齿轮进行运作，从而提高工作效率；真空流量计用于流入气体并进行碰撞运作，从而方便加热炉对反应管内的气体进行运作，从而加快工作效率；运作好的气体通过管道流至反应管中，从而方便加热炉的运作；加热炉对反应管的气体进行化学加热生产薄膜，从而提高工作效率；连接块用于连接支撑架，支撑架用于支撑反应管，转轴用于方便加热炉在反应管移动，泵提高加热炉在反应管的移动的动力，控制阀用于控制盖板，液压表用于显示反应管的压力，工作时，动力机构给真空流量计、加热炉提供动力，通过真空流量计上的小孔吸收气体进行运作，运作好的气体通过管道流至反应管中，在通过加热炉对反应管的气体进行运作即可，这样操作简单。
综上所述，本实用新型能够提高工作效率，且操作简单，结构简单，成本低，体积小。
Claims (6)
1.一种气相沉积装置，其特征在于，其包括动力机构、真空流量计、连接块、支撑架、转轴、加热炉、反应管、盖板、控制阀、泵、液压表，动力机构与真空流量计相连，动力机构、真空流量计都与连接块相连，连接块与多个支撑架相连，支撑架与反应管相连，连接块与多个转轴相连，转轴位于支撑架一侧，泵安装在反应管一端，盖板与反应管的另一端相连，盖板与控制阀相连，加热炉、液压表都安装在反应管上，加热炉位于液压表一侧，加热炉与多个转轴相连，其中：
动力机构包括轴承、齿轮、转子、涡轮，齿轮、转子、涡轮都与轴承相连，齿轮与转子相连，转子与涡轮相连。
2.如权利要求1所述的气相沉积装置，其特征在于，所述动力机构、真空流量计、加热炉上都设有显示器。
3.如权利要求2所述的气相沉积装置，其特征在于，所述加热炉上设有多个圆孔。
4.如权利要求2所述的气相沉积装置，其特征在于，所述动力机构、真空流量计上都设有底座。
5.如权利要求4所述的气相沉积装置，其特征在于，所述真空流量计上设有小孔。
6.如权利要求5所述的气相沉积装置，其特征在于，所述真空流量计通过管道与反应管相连。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820933204.4U CN208532926U (zh) | 2018-06-15 | 2018-06-15 | 一种气相沉积装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201820933204.4U CN208532926U (zh) | 2018-06-15 | 2018-06-15 | 一种气相沉积装置 |
Publications (1)
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| CN208532926U true CN208532926U (zh) | 2019-02-22 |
Family
ID=65392425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201820933204.4U Active CN208532926U (zh) | 2018-06-15 | 2018-06-15 | 一种气相沉积装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208532926U (zh) |
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2018
- 2018-06-15 CN CN201820933204.4U patent/CN208532926U/zh active Active
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