CN208488315U - 一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，包括装置主体，所述装置主体的外表面上方设置有显示屏，所述装置主体的外表面下方分别设置有操作键和开关，所述装置主体的一侧设置有进气口，所述装置主体的另一侧设置有出气口，该种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，当需要对硅烷气体进行分析检测时，可以通过吸气泵将硅烷气体由进气口吸入，电机将电能转化为机械能使驱动轴转动，带动搅拌架进行高速旋转，对吸气泵吸入的硅烷气体进行搅拌，此时通过操作键打开分析器和检测器，分析器和检测器采用气相色谱法分析其内部的杂质，并通过电信号传导至显示屏上，供使用者观察。

Description

一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置

技术领域

本实用新型涉及硅烷中杂质的质量分析技术领域，具体为一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置。

背景技术

目前，硅烷是一种电子气体，同其他硅源化合物相比，硅烷因其独具的特性而被优先使用，广泛应用于电子、信息、能源、材料等领域，是许多未来新兴产业所必不可少的一种气体，硅烷在使用的过程中，其纯度和质量直接影响了后续产品的质量。

现有的硅烷杂质分析装置，首先通过吸气泵将硅烷气体取样吸入，然后通过分析器和检测器对其质量进行分析，但吸气泵取样吸入的气体不够均匀，使分析器和检测器无法完全检测出硅烷气体内的杂质，且分析装置在使用时会造成晃动，会影响分析器和检测器的检测结果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，以解决上述背景技术中提出吸气泵吸入气体不够均匀和分析装置晃动影响检测结果的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，包括装置主体，所述装置主体的外表面上方设置有显示屏，所述装置主体的外表面下方分别设置有操作键和开关，所述装置主体的一侧设置有进气口，所述装置主体的另一侧设置有出气口，所述装置主体的底部设置有支撑板，所述支撑板的底部连接有弹簧，所述弹簧的内部套接有限位柱，所述限位柱的底端连接有底板，所述底板的底部固定有支脚，所述装置主体的内部一侧设置有抽气泵，且所述抽气泵与进气口相连通，所述装置主体的内部下方设置有电机，所述电机的输出端连接有驱动轴，所述驱动轴的顶端连接有搅拌架。

优选地，所述搅拌架呈“山字形”，且其焊接于驱动轴的顶端。

优选地，所述限位柱设置有多个，且多个限位柱呈“阵列状”排布于底板的顶部。

优选地，所述装置主体的内部一侧分别设置有分析器和检测器，且所述分析器位于检测器的下方。

优选地，所述弹簧的高度大于限位柱的高度，且所述弹簧的顶部与支撑板相连接。

优选地，所述支脚设置有多个，且其底部外侧向中心凹陷。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，设置有搅拌架，当需要对硅烷气体进行分析检测时，可以通过吸气泵将硅烷气体由进气口吸入，然后启动电机，电机将电能转化为机械能使驱动轴转动，驱动轴带动搅拌架进行高速旋转，对吸气泵吸入的硅烷气体进行搅拌，使装置主体内部的硅烷气体分布均匀，此时通过操作键打开分析器和检测器，分析器和检测器采用气相色谱法分析其内部的杂质，并通过电信号传导至显示屏上，供使用者观察，当装置主体晃动时，弹簧可以对装置主体的晃动进行削弱，使装置主体在工作的工程中相对稳定，避免检测结果的失误，解决了吸气泵吸入气体不够均匀和分析装置晃动影响检测结果的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型装置主体剖面结构示意图；

图3为本实用新型支脚局部结构示意图。

图中：1、装置主体，2、显示屏，3、进气口，4、支撑板，5、弹簧，6、限位柱，7、支脚，8、底板，9、操作键，10、开关，11、出气口，12、抽气泵，13、电机，14、驱动轴，15、搅拌架，16、分析器，17、检测器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，包括装置主体1、显示屏2、进气口3、支撑板4、弹簧5、限位柱6、支脚7、底板8、操作键9、开关10、出气口11、抽气泵12、电机13、驱动轴14、搅拌架15、分析器16和检测器17，所述装置主体1的内部一侧分别设置有分析器16和检测器17，且所述分析器16位于检测器17的下方，可以提高检测和分析的质量，所述装置主体1的外表面上方设置有显示屏2，所述装置主体1的外表面下方分别设置有操作键9和开关10，所述装置主体1的一侧设置有进气口3，所述装置主体1的另一侧设置有出气口11，所述装置主体1的底部设置有支撑板4，所述支撑板4的底部连接有弹簧5，所述弹簧5的高度大于限位柱6的高度，且所述弹簧5的顶部与支撑板4相连接，可以削弱装置主体1晃动的力，对装置主体1进行减震处理，所述弹簧5的内部套接有限位柱6，所述限位柱6设置有多个，且多个限位柱6呈“阵列状”排布于底板8的顶部，当装置主体1剧烈晃动时，可以对其进行固定，防止其剧烈晃动影响检测，所述限位柱6的底端连接有底板8，所述底板8的底部固定有支脚7，所述支脚7设置有多个，且其底部外侧向中心凹陷，当装置主体1固定后，对底板8向下施加压力，底部的凹槽内部的气体变少，则大气压对支脚7压紧，提高了底板8和装置主体1的稳定性，可以所述装置主体1的内部一侧设置有抽气泵12，且所述抽气泵12与进气口3相连通，所述装置主体1的内部下方设置有电机13，所述电机13的输出端连接有驱动轴14，所述驱动轴14的顶端连接有搅拌架15，所述搅拌架15呈“山字形”，且其焊接于驱动轴14的顶端，可以对吸入的硅烷气体进行搅拌，使其更加均匀，方便检测。

工作原理：首先将装置主体1放置在检测室内，向底板8施加压力，使支脚7固定，然后通过进气口3和出气口11与硅烷管道连接，接着接通电源，打得开关10，使装置主体1进入待机状态，接着打开抽气泵12，通过进气口3将硅烷气体抽入，抽取样品完成后，关闭抽气泵12，启动电机13，电机13将电能转化为机械能使驱动轴14转动，驱动轴14带动搅拌架15进行高速旋转，对吸气泵12吸入的硅烷气体进行搅拌，使装置主体内部的硅烷气体分布均匀，此时通过操作键9打开分析器16和检测器17，分析器16和检测器17采用气相色谱法分析其内部的杂质，并通过电信号传导至显示屏2上，供使用者观察，当装置主体晃动时，弹簧5可以对装置主体1的晃动进行削弱，使装置主体1在工作的工程中相对稳定，避免检测结果的失误，检测完成后通过出气口11排出气体即可。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，包括装置主体(1)，其特征在于：所述装置主体(1)的外表面上方设置有显示屏(2)，所述装置主体(1)的外表面下方分别设置有操作键(9)和开关(10)，所述装置主体(1)的一侧设置有进气口(3)，所述装置主体(1)的另一侧设置有出气口(11)，所述装置主体(1)的底部设置有支撑板(4)，所述支撑板(4)的底部连接有弹簧(5)，所述弹簧(5)的内部套接有限位柱(6)，所述限位柱(6)的底端连接有底板(8)，所述底板(8)的底部固定有支脚(7)，所述装置主体(1)的内部一侧设置有抽气泵(12)，且所述抽气泵(12)与进气口(3)相连通，所述装置主体(1)的内部下方设置有电机(13)，所述电机(13)的输出端连接有驱动轴(14)，所述驱动轴(14)的顶端连接有搅拌架(15)。

2.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，其特征在于：所述搅拌架(15)呈“山字形”，且其焊接于驱动轴(14)的顶端。

3.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，其特征在于：所述限位柱(6)设置有多个，且多个限位柱(6)呈“阵列状”排布于底板(8)的顶部。

4.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，其特征在于：所述装置主体(1)的内部一侧分别设置有分析器(16)和检测器(17)，且所述分析器(16)位于检测器(17)的下方。

5.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，其特征在于：所述弹簧(5)的高度大于限位柱(6)的高度，且所述弹簧(5)的顶部与支撑板(4)相连接。

6.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷中杂质的质量分析装置，其特征在于：所述支脚(7)设置有多个，且其底部外侧向中心凹陷。