CN208378997U - 一种易于疏通的真空镀膜机管道 - Google Patents
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Abstract
本实用新型为一种易于疏通的真空镀膜机管道，包括纵段管道和横段管道，其中横段管道呈V字形，便于液体流出，在真空镀膜机管道的下端设置有储存机构，所述储存机构内设置有用于过滤杂质的网状滤芯以及硅藻颗粒，所述真空镀膜机管道的外壁包覆着一层纳米稀土电热发热薄膜，经焦耳效应将电能转化为热能来使真空镀膜机管道内的固体融化而自动流出，避免因堵塞需经常性拆卸管道而影响真空镀膜设备的气密性以及使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及连续镀膜设备领域，更具体的说，涉及一种易于疏通的真空镀膜机管道。
背景技术
目前CVD真空镀膜技术被越来越多的应用到各种材料上，来赋予材料新的性能，现阶段CVD真空镀膜设备的药水进出管道会经常性的堵塞，一方面是由于含有一些固体杂质，更多的是镀膜时使用的药水容易发生凝固，所以需经常拆卸管道进行清理，但经常性拆卸管道对于真空性要求较高的真空镀膜设备来说容易造成损坏，会大大影响设备的气密性，缩短使用寿命，针对这一现状需设计新的方案进行改进。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种易于疏通的真空镀膜机管道。
为了解决上述存在的技术问题，本实用新型采用下述技术方案：
一种易于疏通的真空镀膜机管道，包括纵段管道和横段管道，所述纵段管道一端设置有进口，横段管道一端设置有出口，所述纵段管道下端通过第一螺套连接有用于收集废液的第一储存机构，所述纵段管道靠近下端处横向连接有横段管道，所述横段管道呈V字形，其中部设置有开口并连接有排污管，所述排污管下端通过第二螺套连接有第二储存机构，所述纵段管道和排污管的下端外侧壁均设置有环状卡部，所述第一螺套和第二螺套一端均设置有于环状卡部相配的卡突且内侧壁均设置有内螺纹，所述真空镀膜机管道的外壁包覆着一层纳米稀土电热发热薄膜。
更具体的，所述第一储存机构和第二储存机构均包括开口向上的储存箱，所述储存箱开口外壁均设置有与第一螺套和第二螺套的内螺纹相配的外螺纹，所述储存箱开口处设置有环状凸台，环形凸台上放置有铁网，所述铁网的上方设置有用于密封的环形橡胶圈，所述环形橡胶圈中部设置有用于放置过滤构件的凹形台阶。
更具体的，所述过滤构件为网状滤芯以及在网状滤芯上填充有硅藻颗粒。
更具体的，所述横段管道的V字形管道的两端管道与水平面夹角均为10°-30°。
更具体的，所述纳米稀土电热发热薄膜通过导线连接有限温器以及电源控制板。
更具体的，所述纳米稀土电热发热薄膜的厚度为0.04-0.10mm。
本实用新型存在优点及积极效果：
本实用新型为一种易于疏通的真空镀膜机管道，在真空镀膜机管道包覆一层一层纳米稀土电热发热薄膜，利用焦耳效应能迅速且高效的将电能转化为热能，通过加热使管道内的固体融化，并将横段管道设计为带有倾斜角度，有利于液体自动流出，避免经常性拆卸管道，影响真空设备的气密性以及使用寿命；设置网状滤芯以及硅藻颗粒可用于分离药水中的杂质。
附图说明
图1为实施例易于疏通的真空镀膜机管道正面剖视图。
图2为实施例为储存机构的正面剖视图。
具体实施方式
下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述，但本实用新型的实施方式不局限于此。
如图1所示，实施例为一种易于疏通的真空镀膜机管道，包括纵段管道1和横段管道2，所述纵段管道1一端设置有进口11，横段管道2一端设置有出口21，所述纵段管道1下端通过第一螺套41连接有用于收集废液的第一储存机构31，所述纵段管道1靠近下端处横向连接有横段管道2，所述横段管道2呈V字形，其V字形的两端管道与水平面夹角均为20°，且横段管道2中部设置有开口并连接有排污管5，所述排污管5下端通过第二螺套42连接有第二储存机构32，所述纵段管道1和排污管5的下端外侧壁均设置有环状卡部7，所述第一螺套41和第二螺套42一端均设置有于环状卡部7相配的卡突43且内侧壁均设置有内螺纹(图中未示出)，所述第一储存机构31和第二储存机构32均包括开口向上的储存箱33，所述储存箱33开口外壁均设置有与第一螺套41和第二螺套42的内螺纹相配的外螺纹，所述储存箱开口处设置有环状凸台331，环形凸台331上放置有铁网34，所述铁网34的上方设置有用于密封的环形橡胶圈35，所述环形橡胶圈35中部设置有凹形台阶，用于放置过滤构件，其中过滤构件为网状滤芯36以及在网状滤芯36上填充有硅藻颗粒37，用于去除融化后药水中的杂质；所述真空镀膜机管道的外壁包覆着一层厚度只有0.04mm的纳米稀土电热发热薄膜6，所述纳米稀土电热发热薄膜6通过导线连接有限温器(图中未示出)以及电源控制板(图中未示出)来控制温度；纳米稀土电热发热薄膜6通过焦耳效应，高效的将电能转为热能，此为现有技术，不再详细阐述；纳米稀土电热发热薄膜6发热使管道内的堵塞物液化成液态，液态药水经过滤构件将杂质去除，收集进储存箱。
虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，本实用新型的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本实用新型的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种易于疏通的真空镀膜机管道，包括纵段管道和横段管道，所述纵段管道一端设置有进口，横段管道一端设置有出口，其特征在于，所述纵段管道下端通过第一螺套连接有用于收集废液的第一储存机构，所述纵段管道靠近下端处横向连接有横段管道，所述横段管道呈V字形，其中部设置有开口并连接有排污管，所述排污管下端通过第二螺套连接有第二储存机构，所述纵段管道和排污管的下端外侧壁均设置有环状卡部，所述第一螺套和第二螺套一端均设置有于环状卡部相配的卡突且内侧壁均设置有内螺纹，所述真空镀膜机管道的外壁包覆着一层纳米稀土电热发热薄膜。
2.根据权利要求1所述的易于疏通的真空镀膜机管道，其特征在于，所述第一储存机构和第二储存机构均包括开口向上的储存箱，所述储存箱开口外壁均设置有与第一螺套和第二螺套的内螺纹相配的外螺纹，所述储存箱开口处设置有环状凸台，环形凸台上放置有铁网，所述铁网的上方设置有用于密封的环形橡胶圈，所述环形橡胶圈中部设置有用于放置过滤构件的凹形台阶。
3.根据权利要求2所述的易于疏通的真空镀膜机管道，其特征在于，所述过滤构件为网状滤芯以及在网状滤芯上填充有硅藻颗粒。
4.根据权利要求1所述的易于疏通的真空镀膜机管道，其特征在于，所述横段管道的V字形管道的两端管道与水平面夹角均为10°‐30°。
5.根据权利要求1所述的易于疏通的真空镀膜机管道，其特征在于，所述纳米稀土电热发热薄膜通过导线连接有限温器以及电源控制板。
6.根据权利要求1所述的易于疏通的真空镀膜机管道，其特征在于，所述纳米稀土电热发热薄膜的厚度为0.04‐0.10mm。
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