CN208366292U - 应用于角度传感器的反射部件及新型角度传感器 - Google Patents
应用于角度传感器的反射部件及新型角度传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN208366292U CN208366292U CN201821012112.9U CN201821012112U CN208366292U CN 208366292 U CN208366292 U CN 208366292U CN 201821012112 U CN201821012112 U CN 201821012112U CN 208366292 U CN208366292 U CN 208366292U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- laser beam
- reflecting mirror
- reflection component
- photodetector
- reflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本实用新型提供了一种应用于角度传感器的反射部件及新型角度传感器,该反射部件包括一体成型的反射部和定位部,所述反射部沿周向设有若干个反射面。本实用新型提供的反射部件用于反射激光,定位部用于装配时便于反射部件与激光源、PSD等部件之间的定位,保障了相互之间的位置固定性,继而保障角度传感器的精度与可靠性。
Description
技术领域
本实用新型涉及精密测试技术领域,特别涉及一种应用于角度传感器的反射部件及应用该反射部件的新型角度传感器。
背景技术
角度传感器是一种常用的几何量传感器,在航空航天、工业生产、机械制造以及军事科学等很多领域中都有广泛的使用。如图1所示,专利号为201510276409.0,名称为“一种连续增量式光臂放大型高精度角度传感器”的中国专利公开了一种角度传感器,该传感器结构简单,适用于被测物体角度连续增量的变化测量,测量可靠,易于实现批量制造。光学精密测量仪器的难题之一是光学系统装配,对于光臂放大式连续角度测量系统,精度与激光器入射角、PSD位置与角度等装配参数有密切关系。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种应用于角度传感器的反射部件及应用该反射部件的新型角度传感器,可以增强各部件之间位置的固定性。
为了实现上述目的,本实用新型提供以下技术方案:
一种应用于角度传感器的反射部件,所述反射部件用于固定被测物体且可旋转,所述反射部件包括一体成型的反射部和定位部,所述反射部沿周向设有若干个反射面。
在进一步优化的方案中,所述反射部和定位部均为正多边形立柱。正多边形立柱具有较强的定位作用,采用正多边形立柱结构,可以增强各部件之间的定位效果。
在进一步优化的方案中,所述反射部和定位部为形状相同的正多边形立柱。形状相同且一体成型,便于制造。
在进一步优化的方案中,反射部件设有便于固定被测物体的安装孔,所述安装孔贯穿反射部和定位部。如此设置,便于固定被测物体。
本实用新型实施例同时提供了一种新型角度传感器,包括:
激光束一、激光束二;
实施例中任一实施方式所述的反射部件,所述反射部件用于固定被测物体,所述反射部件可旋转并且沿周向设有若干个反射面,每个所述反射面用于将所述激光束一、激光束二进行反射;
光电探测器一,用于接收所述激光束一在所述反射部件中的反射面反射后的激光束并显示其入射位置;
光电探测器二,用于接收所述激光束二在所述反射部件中的反射面反射后的激光束并显示其入射位置;
处理系统,根据所述光电探测器一上所接收到的激光束一入射位置变化值和/或所述光电探测器二上所接收到的激光束二入射位置变化值,处理得到所述反射部件上被测物体的旋转角度值。
在进一步优化的方案中,还包括至少一个反射镜一和至少一个反射镜二;
反射镜一设置于光电探测器一与反射部件之间,激光束一被反射部件中的反射面反射后入射至反射镜一,光电探测器一接收反射镜一反射后的激光束并显示其入射位置;
反射镜二设置于光电探测器二与反射部件之间,激光束二被反射部件中的反射面反射后入射至反射镜二,光电探测器二接收反射镜二反射后的激光束并显示其入射位置。
通过反射镜一和反射镜二的设置,不仅可以增大激光束的光臂长度,还可以减小PSD光斑的形变量,进而提高角度传感器的测量精度。
与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:
该反射部件可以应用于角度传感器,不仅可以实现激光反射,还便于角度传感器中各部件的装配,避免装配过程中多次夹持反射部(传统方式)而损坏反射膜,保障相互之间位置的固定性,保障角度传感器的质量。
该传感器结构简单,适用于被测物体角度连续增量的变化测量,测量可靠,易于实现批量制造。通过反射镜一和反射镜二的设置,不仅可以增大激光束的光臂长度,还可以减小PSD光斑的形变量,进而提高角度传感器的测量精度。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简要介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关附图。
图1为现有技术中的连续增量式光臂放大型角度传感器测量被测物体的旋转角度示意图。
图2为本实施例中反射部件的结构示意图。
图3为本实施例中新型角度传感器光臂增大的原理示意图。
图4为采用一个激光源得到两条激光束的原理示意图。
图中标号说明:
1-激光源一,2-激光源二,3-激光束一,4-激光束二,5-反射部件,6-反射面,7-光电探测器一,8-光电探测器二,9-反光镜,10-分光镜,11-安装孔,12-反射镜一,反射部51,定位部52。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚完整的描述。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。基于本实用新型的实施例,本领域技术人员在没有创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型的保护范围。
如图2所示,本实施例中提供的一种应用于角度传感器的反射部件,包括一体成型的反射部51和定位部52,反射部51和定位部52沿轴向分布,反射部51位于定位部52的上方,反射部51设置有若干个反射面6。反射部件5设有便于固定被测物体的安装孔11,安装孔11贯穿反射部51和定位部52。反射部51上的全部反射面6形状大小相同,例如反射部51为正多边形立柱,所述正多边形立柱的每个侧面为所述反射面6,例如图3中反射部为正十六边形立柱。为了便于制造,如图2所示,定位部52的形状与反射部51的形状相同,制造时,在得到正十六边形立柱后,在上部分的每一个侧面镀反射膜,即形成反射部51,下部分未设置反射膜即形成定位部52。
本实施例中所述反射部件可以应用于图1所示的角度传感器中。
请参阅图1-4,本实施例中同时提供了另一种结构的新型角度传感器,包括激光束一3、激光束二4,还包括以下部件:
反射部件5,用于固定被测物体,反射部件5可旋转并且沿周向设有若干个反射面6,每个所述反射面6用于将所述激光束一3、激光束二4进行反射;
光电探测器一7,光电探测器二8,至少一个反射镜一12,至少一个反射镜二(图中未示出);
反射镜一12设置于光电探测器一7与反射部件5之间,激光束一3被反射部件5中的一个反射面6反射后入射至反射镜一12,光电探测器一7接收反射镜一12反射后的激光束并显示其入射位置;
反射镜二设置于光电探测器二与反射部件之间,激光束二被反射部件中的反射面反射后入射至反射镜二,光电探测器二接收反射镜二反射后的激光束并显示其入射位置;
处理系统,根据所述光电探测器一7上所接收到的激光束一3入射位置变化值和/或所述光电探测器二8上所接收到的激光束二4入射位置变化值,处理得到所述反射部件5上被测物体的旋转角度值。
如图3所示,图3中仅展示了激光束一的传输过程,以展示增大光臂的原理。激光束一经过反射镜反射后,可以增大光臂长度,进而可以提高角度传感器的角度测量精度。
PSD(光电探测器,或称为位置灵敏探测器)入射角越大,则入射光斑椭圆化程度越大,在PSD位移测量方向上长轴越长,这对于PSD位置测量精度带来了不利影响。
在图3所示结构中,反射镜一12为两个,激光束一3被反射部件5中的反射面6反射后入射至其中一个反射镜一12,经该反射镜一12反射后入射至另一个反射镜一12,光电探测器一7接收所述另一个反射镜一12反射后的激光束并显示其入射位置。激光束一3经过多次反射,不仅可以增大光臂长度,而且还有利于增大PSD入射角,减小PSD光斑形状变形量,进一步提高测量精度。
当然地,反射镜二也可以为两个,激光束二被反射部件中的反射面反射后入射至其中一个反射镜二,经该反射镜二反射后入射至另一个反射镜二,光电探测器二接收所述另一个反射镜二反射后的激光束并显示其入射位置。
如图3所示,当反射镜一12为两个及以上时,反射镜一12可以相互平行设置,同理的,当反射镜二为两个及以上时,反射镜二也可以相互平行设置。
如图4所示,激光束一、激光束二由一个激光源一得到。具体的,激光源一1和正多边形立柱之间设有分光镜10,激光源一1发射的激光束到达分光射镜10经过透射和反射分后分别形成激光束一3、激光束二4,激光束一3经过所述正多边形立柱反射后入射到光电探测器一7,激光束二4入射到至少一个反光镜9后,再反射到正多边形立柱反射面,经正多边形立柱反射面反射后入射至光电探测器二8。光电探测器一7和光电探测器二8相互平行设置在所述正多边形立柱同一侧。如此可以降低激光源的成本。
另一个方案中,如图1所示,激光束一3、激光束二4也可以分别通过激光源一1和激光源二2发射得到。
光电探测器一7和光电探测器二8上均设置有对该两个光电探测器进行切换检测的两个临界点,两个临界点所对应的反射部件5的每个反射面6旋转角度的范围分别为该光电探测器的检测极大值和检测极小值,反射部件的两个不同反射面反射的两条激光束中至少有一条反射激光束位于该光电探测器中的两个临界点之间的检测区域;处理系统对光电探测器一7和光电探测器二8之间切换检测计算的方法为,当光电探测器一7、光电探测器二8中其中一个探测到反射激光束超出该光电探测器中两个临界点之间区域时,处理系统自动切换到采用另一个光电探测器检测区域内的激光束检测值进行计算。
应用上述新型角度传感器测量时,包括以下几个步骤:
将所述反射部件固定在被测物体上;
调整激光束一、激光束二、反射部件、光电探测器一、光电探测器二、反射镜一和反射镜二的位置关系,使得激光束一被反射部件中的反射面反射后入射至反射镜一,且光电探测器一能够接收反射镜一反射后的激光束,激光束二被反射部件中的反射面反射后入射至反射镜二,光电探测器二能够接收反射镜二反射后的激光束;
发射激光束一、激光束二,所述激光束一、激光束二分别经过所述反射部件的不同反射面反射后,所述光电探测器一、光电探测器二检测到该反射光束的初始位置;
被测物体旋转,在旋转过程中,所述光电探测器一、光电探测器二分别检测到所述激光束一、激光束二的反射激光束在各自探测器上反射位置的变化,直到被测物体旋转停止;
处理系统通过所述光电探测器一上所接收到的激光束一入射位置变化值和/或所述光电探测器二上所接收到的激光束二入射位置变化值,处理得到所述反射部件上被测物体的旋转角度值。
以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员,在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应该涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (9)
1.一种应用于角度传感器的反射部件,所述反射部件用于固定被测物体且可旋转,其特征在于,所述反射部件包括一体成型的反射部和定位部,所述反射部沿周向设有若干个反射面。
2.根据权利要求1所述的应用于角度传感器的反射部件,其特征在于,所述反射部和定位部均为正多边形立柱。
3.根据权利要求1所述的应用于角度传感器的反射部件,其特征在于,所述反射部和定位部为形状相同的正多边形立柱。
4.根据权利要求1-3任一所述的应用于角度传感器的反射部件,其特征在于,反射部件设有便于固定被测物体的安装孔,所述安装孔贯穿反射部和定位部。
5.一种新型角度传感器,其特征在于,包括:
激光束一、激光束二;
权利要求1-4任一所述的反射部件,所述反射部件用于固定被测物体,所述反射部件可旋转并且沿周向设有若干个反射面,每个所述反射面用于将所述激光束一、激光束二进行反射;
光电探测器一,用于接收所述激光束一在所述反射部件中的反射面反射后的激光束并显示其入射位置;
光电探测器二,用于接收所述激光束二在所述反射部件中的反射面反射后的激光束并显示其入射位置;
处理系统,根据所述光电探测器一上所接收到的激光束一入射位置变化值和/或所述光电探测器二上所接收到的激光束二入射位置变化值,处理得到所述反射部件上被测物体的旋转角度值。
6.根据权利要求5所述的新型角度传感器,其特征在于,还包括至少一个反射镜一和至少一个反射镜二;
反射镜一设置于光电探测器一与反射部件之间,激光束一被反射部件中的反射面反射后入射至反射镜一,光电探测器一接收反射镜一反射后的激光束并显示其入射位置;
反射镜二设置于光电探测器二与反射部件之间,激光束二被反射部件中的反射面反射后入射至反射镜二,光电探测器二接收反射镜二反射后的激光束并显示其入射位置。
7.根据权利要求6所述的新型角度传感器,其特征在于,反射镜一为两个,激光束一被反射部件中的反射面反射后入射至其中一个反射镜一,经该反射镜一反射后入射至另一个反射镜一,光电探测器一接收所述另一个反射镜一反射后的激光束并显示其入射位置。
8.根据权利要求6所述的新型角度传感器,其特征在于,反射镜二为两个,激光束二被反射部件中的反射面反射后入射至其中一个反射镜二,经该反射镜二反射后入射至另二个反射镜二,光电探测器二接收所述另二个反射镜二反射后的激光束并显示其入射位置。
9.根据权利要求6所述的新型角度传感器,其特征在于,当所述反射镜一为两个及以上时,所述反射镜一相互平行;和/或,当所述反射镜二为两个及以上时,所述反射镜二相互平行。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201821012112.9U CN208366292U (zh) | 2018-06-28 | 2018-06-28 | 应用于角度传感器的反射部件及新型角度传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201821012112.9U CN208366292U (zh) | 2018-06-28 | 2018-06-28 | 应用于角度传感器的反射部件及新型角度传感器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN208366292U true CN208366292U (zh) | 2019-01-11 |
Family
ID=64927292
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201821012112.9U Expired - Fee Related CN208366292U (zh) | 2018-06-28 | 2018-06-28 | 应用于角度传感器的反射部件及新型角度传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN208366292U (zh) |
-
2018
- 2018-06-28 CN CN201821012112.9U patent/CN208366292U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102005626B1 (ko) | 스핀들의 자유도 오차를 검측하는 광학식 검측 장치 및 그 방법 | |
US3961838A (en) | Apparatus for producing a scanning laser beam of constant linear velocity | |
US4897536A (en) | Optical axis displacement sensor with cylindrical lens means | |
US7358516B2 (en) | System and method for determining a position or/and orientation of two objects relative to each other as well as beam guiding arrangement, interferometer arrangement and device for changing an optical path length for use in such a system and method | |
US3885875A (en) | Noncontact surface profilometer | |
US3977789A (en) | Scanning differential photoelectric autocollimator | |
JPH03223609A (ja) | タッチプローブ | |
JPH074933A (ja) | 光学式形状測定装置 | |
CN111721235B (zh) | 一种光电式边缘检测系统及其检测方法 | |
CN109470176B (zh) | 基于双光栅的高精度三维角度测量方法与装置 | |
US20110235049A1 (en) | Wavefront Sensing Method and Apparatus | |
CN109406105B (zh) | 虚像检测方法及检测系统 | |
KR20140048824A (ko) | 교정 장치, 교정 방법 및 계측 장치 | |
JPS6126601B2 (zh) | ||
US4309618A (en) | Precision optical distance measurement | |
US20080137061A1 (en) | Displacement Measurement Sensor Using the Confocal Principle | |
US4836031A (en) | Method and apparatus for measuring deformations of test samples in testing machines | |
CN108458672A (zh) | 基于双曲面透镜的角度传感器及其测量方法 | |
CN112485805A (zh) | 一种激光三角位移传感器及其测量方法 | |
CN208751507U (zh) | 一种新型光臂放大型高精度连续角度传感器 | |
CN111238408A (zh) | 一种快速测量平行平板平行度的装置和方法 | |
CN108444396B (zh) | 光路一致式位移传感器及其测量方法 | |
CN110779443A (zh) | 基于干涉原理的拼接镜面用边缘传感器及其工作方法 | |
CN208366292U (zh) | 应用于角度传感器的反射部件及新型角度传感器 | |
CN109520443B (zh) | 一种基于组合面型基准件的滚转角测量方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20190111 Termination date: 20210628 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |