CN208346246U - 一种蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种蒸镀装置，用于在显示基板上沉积蒸镀材料，包括：顶部开口的腔室，所述腔室用于容纳蒸镀材料，所述腔室的侧壁和底面为连通的中空结构，在所述中空结构内部容纳有用于对所述蒸镀材料加热的导热液；设置在腔室外部的加热装置，用于对所述导热液进行加热。蒸镀装置腔室的侧壁和底面为连通的中空结构，其内部容纳对蒸镀材料进行加热导热液，在腔室外部设置加热装置对导热液进行加热。该蒸镀装置，利用加热装置对导热液进行加热，导热液吸收热量后对蒸镀材料进行加热，以达到蒸镀材料所需温度，利用液体对蒸镀材料进行加热，使蒸镀材料受热均匀，可以保证蒸镀材料达到均一的温度，进而保证蒸镀材料均匀的沉积到显示基板上。

Description

一种蒸镀装置

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域的制造设备，特别是涉及一种蒸镀装置。

背景技术

有机电致发光(Organic Light Emitting Diode，OLED)器件的制备过程中，需要利用蒸镀设备将蒸镀材料均匀的沉积到玻璃基板上，但是现有的蒸镀设备中，通常利用电阻丝直接对蒸镀材料进行加热，该种加热方式很难保证蒸镀材料达到均一的温度，进而影响玻璃基板上蒸镀材料沉积的均匀性，影响显示效果。

实用新型内容

本实用新型提供了一种蒸镀装置，以解决现有技术中的在显示基板上沉积蒸镀材料不均匀的问题。

本实用新型提供一种蒸镀装置，用于在显示基板上沉积蒸镀材料，包括：

顶部开口的腔室，所述腔室用于容纳所述蒸镀材料，所述腔室的侧壁和底面为连通的中空结构，在所述中空结构内部容纳有用于对所述蒸镀材料加热的导热液；

设置在腔室外部的加热装置，用于对所述导热液进行加热。

可选地，所述加热装置包括环绕所述腔室设置的电阻丝、与所述电阻丝连接的导线和电源。

可选地，所述加热装置还包括放置在所述蒸镀材料内的第一温度传感器、放置在所述导热液内的第二传感器，以及温度调节装置；

所述第一温度传感器用于检测所述蒸镀材料的温度；所述第二传感器用于检测所述导热液的温度；

所述温度调节装置与所述电源连接，用于根据所述蒸镀材料与所述导热液的温度差值，触发所述电源改变输出功率。

可选地，所述腔室包括与所述腔室的侧壁连通的液压管道，所述液压管道与液压泵连接，实现所述导热液的循环流动。

可选地，在所述腔室的开口端设置有封闭门。

可选地，所述腔室开口的大小与所述显示基板的大小相匹配。

可选地，在所述腔室的侧壁上方设置有支撑所述显示基板的隔热装置。

可选地，所述隔热装置的材料包括：乙烯-醋酸乙烯共聚物，聚氨酯泡沫塑料，气凝胶毡板，硅酸铝隔热材料，陶瓷纤维和纳米微孔隔热材料中的至少一种。

可选地，所述导热液的沸点与所述蒸镀材料需求的蒸镀温度一致。

可选地，所述蒸镀装置还包括封闭的箱室、承载显示基板和掩膜版的连接机构，

所述腔室和所述加热装置位于所述箱室内部，所述连接机构固定在所述箱室上，用于对所述显示基板和所述掩膜版的位置进行调节。

与现有技术相比，本实用新型实施例具有以下优点：

本实用新型实施例的蒸镀装置，腔室的侧壁和底面为连通的中空结构，其内部容纳有对蒸镀材料进行加热的导热液，在腔室外部设置有加热装置以对导热液进行加热。该蒸镀装置，利用加热装置对导热液进行加热，导热液吸收热量后对蒸镀材料进行加热，以达到蒸镀材料所需温度，利用液体对蒸镀材料进行加热，使蒸镀材料受热均匀，可以保证蒸镀材料达到均一的温度，进而保证蒸镀材料均匀的沉积到显示基板上。

附图说明

图1为本实用新型实施例的一种蒸镀装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例的导热液循环方式的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获取的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例的蒸镀装置用于在显示基板上沉积蒸镀材料，参照图 1所示，该蒸镀装置包括顶部开口的腔室1，该腔室1用于容纳蒸镀材料2，该腔室1可以为长方体，也可以其他形状，对于腔室1的具体形状本实用新型不做限制，另外腔室1的开口大小可根据玻璃基板的大小进行调节以满足不同玻璃基板尺寸的需求也在本实用新型保护范围之中。

腔室1的侧壁和底面为连通的中空结构，其内部容纳有用于对蒸镀材料2加热的导热液3。可以理解的是，该中空结构整体为密闭结构，以防止其内部的导热液3在蒸镀过程中不断蒸发。

在腔室1的外部设置有加热装置，用于对导热液3进行加热。

本实用新型实施例的蒸镀装置，腔室1的侧壁和底面为连通的中空结构，其内部容纳对蒸镀材料2进行加热导热液3，在腔室1的外部设置有加热装置对导热液3进行加热。该蒸镀装置，利用加热装置对导热液3进行加热，导热液3吸收热量后对蒸镀材料2进行加热，以达到蒸镀材料2所需温度，利用液体对蒸镀材料2进行加热，使蒸镀材料2受热均匀，可以保证蒸镀材料2达到均一的温度，进而保证蒸镀材料2均匀的沉积到显示基板上。

具体的，上述加热装置包括环绕腔室1设置的电阻丝41、与电阻丝41 电连接的导线42和电源43。通过电阻丝41对导热液3进行加热。

在腔室1外部设置加热装置以对导热液3加热，因此，腔室1的材料应选择耐高温材料，具体的可以为锰铁合金。

此外，该加热装置还包括放置在蒸镀材料2内的第一温度传感器44、放置在导热液3内的第二温度传感器45以及温度调节装置46。第一温度传感器44用于检测蒸镀材料2的温度，第二温度传感器45用于检测导热液3的温度，以实现对蒸镀材料2和导热液3的温度的实时检测。温度调节装置46 与电源43连接，用于接收第一温度传感器44和第二温度传感器45的信号，根据蒸镀材料2与导热液3温度的差值，触发电源43改变输出功率，实现对加热温度的实时调节，保证蒸镀材料2温度的恒定，并且可减少能源的消耗。

为了保证导热液3温度的均一性，参照图2所示，腔室1还包括与腔室 1的侧壁连通的液压管道11，液压管道11与液压泵12连接，在液压泵12 的驱动下实现导热液3的循环流动，进而可以保证蒸镀材料2受热的均一性。

需要说明的是，处于上述腔室1的中空结构内的导热液3可以循环利用，也可以根据需要进行更换，具体的可以在腔室1上设置进液口和出液口，以对导热液3进行更换。

对于不同的蒸镀材料2所需的蒸镀温度不同，可以根据蒸镀材料2选择合适的导热液3，具体的，导热液3的沸点与蒸镀材料2需求的蒸镀温度一致，可以避免导热液3温度过高，影响蒸镀效果。此外，通常蒸镀过程处于真空加压环境中，可以通过改变导热液3周围的压强，以改变导热液3的沸点，从而进一步对温度进行调控。具体的，如果难以找到沸点与蒸镀材料所需温度一致的导热液，可以选择沸点接近且略低于蒸镀材料所述温度的导热液，并对该导热液在腔室1内进行加压处理，改变其沸点，使其沸点达到蒸镀材料所需温度。

具体的，蒸镀材料2可以为金属蒸镀材料也可以为有机蒸镀材料。金属蒸镀材料需要较高的蒸镀温度，约为1000℃左右，在进行金属蒸镀材料的蒸镀时，例如，可以选用金属钠液体或金属钾液体作为导热液，其中，在常温常压下金属钠的沸点约为820℃，金属钾的沸点约为760℃，通过调节金属钠或金属钾所处环境的压强，改变其沸点，使其沸点与金属蒸镀材料所需的蒸镀温度一致；有机蒸镀材料需要的蒸镀温度较低，约为300℃，在进行有机蒸镀材料的蒸镀时，例如可以选用甘油作为导热液，其中在常温常压下，甘油的沸点约为290℃，通过调节其所处环境的压强，改变其沸点，使其沸点与有机蒸镀材料所需的蒸镀温度一致。

需要说明的是，通常情况下，对金属蒸镀材料与有机蒸镀材料的进行加热的腔室1不能混用，避免腔室1的中空结构内的导热液3由于没有清理干净，而与再次进入的导热液3发生化学反应，从而影响导热液3的沸点，影响蒸镀效果。

整个蒸镀过程是在密闭的箱室内进行的，参照图1所示，该蒸镀装置还包括封闭的箱室5和承载显示基板6和掩膜版7的连接机构(图中未示出)，腔室1和加热装置位于箱室5内部，连接机构固定在箱室5上，用于对显示基板6和掩膜版7的位置进行调节。

本实用新型实施例的腔室1采用面源，即腔室1的开口大小与显示基板 6的大小相匹配，保证显示基板6的每一个区域接受蒸镀材料2的时间一致，使面源上的蒸镀材料均匀地沉积到显示基板6上，有效的保证了显示基板6 上蒸镀材料2的均一性。当开始蒸镀时，连接机构带动已经完成相互对位的显示基板6和掩膜版7至腔室1的顶部，再次完成与腔室1的对位，如图中虚线位置，显示基板6和掩膜版7恰好封闭腔室1的开口端，保持固定预设时间，完成一次蒸镀，改善了现有点源和线源由扫描速度不均一造成的蒸镀材料沉积不均一性的问题。在整个蒸镀过程中，显示基板6与蒸镀材料2相对设置，并封闭腔室1的开口端，保证蒸镀材料2不会扩散至腔室1外的箱室5中，防止引起箱室5的污染，增加箱室的清洗次数。

在蒸镀过程中，显示基板6和掩膜版7位于腔室1的开口端，为避免腔室1温度升高引起显示基板6温度的升高，进而影响显示基板6的性能，在腔室1的侧壁上设置有支撑显示基板6的隔热装置9，用于支撑显示基板6 并隔绝腔室1与显示基板6的热交换。隔热装置9的材料具体可以包括：乙烯-醋酸乙烯共聚物(EVA)，聚氨酯泡沫塑料，气凝胶毡板，硅酸铝隔热材料，陶瓷纤维和纳米微孔隔热材料中的至少一种，当蒸镀温度小于300℃时，可选用上述有机隔热材料，当温度大于300℃，宜选用上述无机隔热材料。

在不蒸镀时，腔室1处于开口状态，为防止蒸镀材料2四处扩散，引起箱室5污染，在腔室1的开口端设置有封闭门8。当不蒸镀时，封闭门8自动封闭腔室1，当开始蒸镀时，封闭门8打开，同时，显示基板6和掩膜版 7移动至腔室1的开口端的隔热装置9的上方，完成与腔室1的对位后进行蒸镀。

需要说明的是，本实用新型对蒸镀材料的加热方式不仅仅适用于面源，也适用于现有技术中的点源和线源的蒸镀方式，线源的蒸镀设备中，在蒸镀源喷嘴上部仍采用两层滤网结构，使蒸镀源出口的蒸镀材料流更加均匀。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。对于系统实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

尽管已描述了本实用新型实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明实施例范围的所有变更和修改。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种蒸镀装置，用于在显示基板上沉积蒸镀材料，其特征在于，包括：

顶部开口的腔室，所述腔室用于容纳所述蒸镀材料，所述腔室的侧壁和底面为连通的中空结构，在所述中空结构内部容纳有用于对所述蒸镀材料加热的导热液；

设置在腔室外部的加热装置，用于对所述导热液进行加热。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热装置包括环绕所述腔室设置的电阻丝、与所述电阻丝连接的导线和电源。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热装置还包括放置在所述蒸镀材料内的第一温度传感器、放置在所述导热液内的第二传感器，以及温度调节装置；

所述第一温度传感器用于检测所述蒸镀材料的温度；所述第二传感器用于检测所述导热液的温度；

所述温度调节装置与所述电源连接，用于根据所述蒸镀材料与所述导热液的温度差值，触发所述电源改变输出功率。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述腔室包括与所述腔室的侧壁连通的液压管道，所述液压管道与液压泵连接，实现所述导热液的循环流动。

5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，在所述腔室的开口端设置有封闭门。

6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述腔室开口的大小与所述显示基板的大小相匹配。

7.根据权利要求1至6任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，在所述腔室的侧壁上方设置有支撑所述显示基板的隔热装置。

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述隔热装置的材料包括：乙烯-醋酸乙烯共聚物，聚氨酯泡沫塑料，气凝胶毡板，硅酸铝隔热材料，陶瓷纤维和纳米微孔隔热材料中的至少一种。

9.根据权利要求1至6任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述导热液的沸点与所述蒸镀材料需求的蒸镀温度一致。

10.根据权利要求1至6任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括封闭的箱室、承载所述显示基板和掩膜版的连接机构，

所述腔室和所述加热装置位于所述箱室内部，所述连接机构固定在所述箱室上，用于对所述显示基板和所述掩膜版的位置进行调节。