CN208308956U - 一种直射式观察窗 - Google Patents
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Abstract
一种直射式观察窗,设置在真空镀膜设备腔体门上,它包括从腔体门外部向内部依次设置的外层玻璃、回转玻璃和防着板,所述外层玻璃上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴,所述回转玻璃相对固定地连接在外层玻璃内侧的回转轴上,并可跟随回转轴同步旋转,所述外层玻璃外侧的回转轴端部上固定有把手,所述防着板上设有观察孔。本实用新型至少具有直射式观察,图像清晰、维护周期长、观察范围可增大等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜设备的技术领域,尤其涉及一种高真空蒸发镀膜设备腔体门上的直射式观察窗。
背景技术
在高真空蒸发镀膜设备领域,观察窗是非常重要的一个机构。通过观察窗可以目视确认腔体内的运行状况,特别是电子束的运行状况,镀锅的回转情况,加热灯的状态等。目前使用较多的是一个数量的观察窗,观察窗采用光反射式结构进行观察。具体为:一层密封透明玻璃,玻璃内侧的两层尺寸较大的反射镜,反射镜直接设在腔体内部。用两层反射镜的目的是克服一层反射镜反射出来的图像是反的图像的问题,两层反射镜反射出来的图像为正的图像,但是由于反射镜设在腔体内部,用一段时间后,透明玻璃和两层反射镜会受镀膜影响,反射光线强度会越来越弱,观察到的图像会不清晰,要频繁地对玻璃和反射镜进行清洁维护,维护周期短。另外,一个数量的观察窗观察到的视角和范围非常有限。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种直射式观察窗,其至少具有直射式观察,图像清晰、维护周期长、观察范围可增大等优点。
为达到上述目的,本实用新型通过以下技术方案来实现:
一种直射式观察窗,设置在真空镀膜设备腔体门上,它包括从腔体门外部向内部依次设置的外层玻璃、回转玻璃和防着板,所述外层玻璃上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴,所述回转玻璃相对固定地连接在外层玻璃内侧的回转轴上,并可跟随回转轴同步旋转,所述外层玻璃外侧的回转轴端部上固定有把手,所述防着板上设有观察孔。
作为优选实施方案之一,所述外层玻璃与腔体门之间密封连接。
进一步地,所述外层玻璃与腔体门之间设有第一密封圈。
作为优选实施方案之一,所述回转玻璃通过一螺栓固定在所述回转轴上,螺栓与回转玻璃之间设有缓冲密封圈。
优选地,所述回转轴与外层玻璃之间密封连接。
进一步地,所述回转轴与外层玻璃之间设有第二密封圈。
优选地,所述防着板固定在腔体门内侧上。
本实用新型的有益效果:
本实用新型防着板上的观察孔适合人眼视角大小,不会受镀膜影响而逐渐模糊以致影响观察结果,同时可以遮挡回转玻璃,使其不受镀膜影响;回转玻璃可由把手驱动,随回转轴同步旋转,其有益效果是当回转玻璃靠近观察孔的位置受镀膜影响变模糊时,可转动把手,使回转玻璃相对观察孔的位置微微转动,通过回转玻璃上清晰的部位透过观察孔进一步观察,每次如此操作,无需频繁清洁回转玻璃,从而延长回转玻璃的清洁维护周期;可以在镀膜设备腔体门上分别设置上下两个本实用新型,既可以观察真空腔体内上部情况也可以观察真空腔体内下部情况,按需扩大观察视角和范围。
附图说明
下面利用附图来对本实用新型进行进一步的说明,但是附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制。
图1为本实用新型侧面剖视结构示意图。
附图标记:
1、腔体门;2、外层玻璃;3、回转玻璃;4、防着板;5、回转轴;6、把手;7、观察孔;8、第一密封圈;9、螺栓;10、第二密封圈。
具体实施方式
下面结合具体的实施方式来对本实用新型进行说明:
如图所示,一种直射式观察窗,设在真空镀膜设备腔体门1上,它包括从腔体门1外部向内部依次设置的外层玻璃2、回转玻璃3和防着板4,所述外层玻璃2上设有一贯穿外层玻璃2并可转动的回转轴5,所述回转玻璃3相对固定地连接在外层玻璃2内侧的回转轴5上,并可跟随回转轴5同步旋转,所述外层玻璃2外侧的回转轴5端部上固定有把手6,所述防着板4上设有观察孔7,该观察孔7为通孔,大小与人眼需要的视角和范围确定,数量以及其在防着板上4的具体分布位置也是根据需要进行设置。
作为优选实施方案之一,所述外层玻璃2与腔体门1之间密封连接。
进一步地,所述外层玻璃2与腔体门1之间设有第一密封圈8。
作为优选实施方案之一,所述回转玻璃3通过一螺栓9固定在所述回转轴5上,螺栓9与回转玻璃3之间设有缓冲密封圈。
作为优选实施方案之一,所述回转轴5与外层玻璃2之间密封连接。
进一步地,所述回转轴5与外层玻璃2之间设有第二密封圈10。
作为有优选实施方案之一,所述防着板4固定在腔体门1内侧上。
作为优选实施方案之一,镀膜设备腔体门1上,可根据需要设置上下两个或多个本实用新型。
以上内容仅为本实用新型的较佳实施例,对于本领域的普通技术人员,依据本实用新型的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (7)
1.一种直射式观察窗,设置在真空镀膜设备腔体门上,其特征在于:它包括从腔体门外部向内部依次设置的外层玻璃、回转玻璃和防着板,所述外层玻璃上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴,所述回转玻璃相对固定地连接在外层玻璃内侧的回转轴上,并可跟随回转轴同步旋转,所述外层玻璃外侧的回转轴端部上固定有把手,所述防着板上设有观察孔。
2.根据权利要求1所述的一种直射式观察窗,其特征在于,所述外层玻璃与腔体门之间密封连接。
3.根据权利要求2所述的一种直射式观察窗,其特征在于,所述外层玻璃与腔体门之间设有第一密封圈。
4.根据权利要求1所述的一种直射式观察窗,其特征在于,所述回转玻璃通过一螺栓固定在所述回转轴上,螺栓与回转玻璃之间设有缓冲密封圈。
5.根据权利要求1所述的一种直射式观察窗,其特征在于,所述回转轴与外层玻璃之间密封连接。
6.根据权利要求5所述的一种直射式观察窗,其特征在于,所述回转轴与外层玻璃之间设有第二密封圈。
7.根据权利要求1所述的一种直射式观察窗,其特征在于,所述防着板固定在腔体门内侧上。
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