CN208304138U - 一种激光雕刻装置 - Google Patents

一种激光雕刻装置 Download PDF

Info

Publication number
CN208304138U
CN208304138U CN201820645460.3U CN201820645460U CN208304138U CN 208304138 U CN208304138 U CN 208304138U CN 201820645460 U CN201820645460 U CN 201820645460U CN 208304138 U CN208304138 U CN 208304138U
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser beam
laser
microscope group
group
power regulator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201820645460.3U
Other languages
English (en)
Inventor
赵盛宇
彭信翰
周宇超
林国栋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hymson Laser Technology Group Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen Sea Star Laser Intelligent Equipment Ltd By Share Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen Sea Star Laser Intelligent Equipment Ltd By Share Ltd filed Critical Shenzhen Sea Star Laser Intelligent Equipment Ltd By Share Ltd
Priority to CN201820645460.3U priority Critical patent/CN208304138U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN208304138U publication Critical patent/CN208304138U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种激光雕刻装置,包括激光器、扩束镜组和聚焦镜组,所述激光器发出的激光光束经过扩束镜组进入功率调整器,所述功率调整器另一端设有聚焦镜组,所述聚焦镜组上还安装有检测装置和调节装置。本实用新型的激光雕刻装置,激光输出稳定,在材料上的雕刻尺寸小,能够应用于透明材料上的激光雕刻。

Description

一种激光雕刻装置
技术领域
本实用新型涉及激光技术领域,尤其涉及一种激光雕刻装置。
背景技术
激光雕刻是利用高能量的激光束照射在材料表面,一小部分的激光反射,大部分的光线通过材料表面,在材料内转化为热能,对材料加热,由于材料的热效应,材料被充足功率密度的激光束照射,达到材料表面熔化和汽化的温度,使材料汽化或熔化,雕刻出所需的图形与文字,作为永久标记。
随着电子产品的飞速发展,电子屏幕的可视区变大,可隐藏线路或标记的空间越来越小,现有的激光雕刻工艺可做到的标记尺寸较大,肉眼仍可发觉,无法作为透明材料上可视区的标记使用。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题,在于提供一种激光雕刻装置,其雕刻的标记尺寸较小、稳定性高,能够应用于透明材料可视区的标记制作。
本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案是:
一种激光雕刻装置,包括,
激光器和扩束镜组,所述扩束镜组改变所述激光器发出的激光光束的发散角;
功率调整器,所述功率调整器接收经过所述扩束镜组后的激光光束,调节激光光束的功率并反馈到扩束镜组,所述扩束镜组根据反馈数据重新调节激光光束的发散角;
聚焦镜组,所述聚焦镜组接收经过所述功率调整器的激光光束并对激光光束进行聚焦。
检测装置,所述检测装置检测所述聚焦镜组与待加工件之间的距离;
调节装置,所述调节装置对所述聚焦镜组的位置进行调节;
所述激光器、扩束镜组、功率调整器与聚焦镜组依次排列连接。
在一种优选的实施方式中,所述功率调整器与聚焦镜组之间设有振镜组,所述振镜组接收经过所述功率调整器的激光光束并改变激光光束的方向,所述聚焦镜组接收经过振镜组后的激光光束,所述调节装置对所述聚焦镜组和/或振镜组的位置进行调节。
在一种优选的实施方式中,所述激光器发出的激光光束、经过扩束镜组后的激光光束与经过功率调整器后的激光光束的轴心重合。
在一种优选的实施方式中,所述激光器发出的激光光束与所述功率调整器发出的激光光束的方向平行于X轴,所述振镜组发出的激光光束与所述聚焦镜组发出的激光光束的方向平行于Z轴且与待加工件的加工表面垂直。
在一种优选的实施方式中,经过所述扩束镜组后的激光光束的发散角度不小于未进入所述扩束镜组的激光光束的发散角度,经过所述扩束镜组后的激光光束的直径不大于未进入所述扩束镜组的激光光束的直径。
在一种优选的实施方式中,经过所述聚焦镜组后的激光光束的直径不大于未进入所述聚焦镜组的激光光束的直径。
在一种优选的实施方式中,所述检测装置检测聚焦镜组与所述待加工件之间的距离并反馈到所述调节装置,所述调节装置驱动所述振镜组和聚焦镜组进行X、Y或Z方向的移动。
在一种优选的实施方式中,所述待加工件位于所述经过聚焦镜组后的激光光束的非焦点处。
在一种优选的实施方式中,还包括自动对焦装置。
本实用新型的有益效果是:本实用新型采用了一种激光雕刻装置,其激光输出稳定,在材料上的雕刻尺寸小,能够应用于透明材料上的激光雕刻。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型一个实施例的激光雕刻装置组成结构示意图。
具体实施方式
以下将结合实施例和附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述,以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然,所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例,而不是全部实施例,基于本实用新型的实施例,本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例,均属于本实用新型保护的范围。另外,专利中涉及到的所有联接/连接关系,并非单指构件直接相接,而是指可根据具体实施情况,通过添加或减少联接辅件,来组成更优的联接结构。本实用新型中的各个技术特征,在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。
图1是本实用新型一种激光雕刻装置一个实施例的结构组成示意图,参照图1,激光雕刻装置包括激光器1,激光器1用于发射对待加工件进行雕刻的激光光束,激光器1发出的激光光束经过扩束镜组2,扩束镜组2包含一个或多个扩束镜,扩束镜组2通过一个或多个扩束镜的组合使用可以改变激光光束发散角,使激光光束的焦距长度变短,而且光斑直径缩小,缩小光斑直径,从而控制激光光束在材料上作用的范围。因激光器输出的激光光束的发散角度与光斑直径乘机近似为定值,因此激光光束的发散角度与光斑直径呈反比,若发散角扩大为原来的x倍,则光斑直径为原来光斑直径的1/x,因此在经过扩束镜对激光光束的扩束后,激光光束的发散角变大,光斑直径变小,从而更有利于聚焦。
优选的,扩束镜组2中还设有光学镀膜(图中未示出),经过定制的光学镀膜应用于扩束镜组2后,能够过滤多余的激光光束能量,并可以调整聚焦光斑的直径。
而后激光光束经过振镜组3,振镜组3能够将激光光束导向至指定方向,振镜组3内包括数个反射镜(图中未示出),通过将反射镜设置不同的角度,可以实现激光光束方向的偏转,可根据实际情况中的被加工材料与激光器1的相对位置与连接关系调节振镜组3,将激光光束导向至指定方向和位置。本实施例中的激光器1发出的激光光束方向平行于X轴,经过振镜组3后的激光光束方向平行于Z轴且垂直于待加工件5。经过扩束镜组2增大发散角的激光光束再经过振镜组3偏转激光光束的发射方向,更有利于激光光束的聚焦。
方向偏转后的激光光束经过聚焦镜组4,聚焦镜组4将激光光束聚焦,经聚焦镜组4聚焦后的激光光束边缘入射到探测器的能力提高、入射的通量变大且光束更加均匀,同时光斑直径变小,之后激光光束在待加工件5上进行雕刻。
优选的,振镜组3上还安装有检测装置9和调节装置10,检测装置9能够测量聚焦镜组4与待加工件5之间的距离,并将所测数据反馈给调节装置10,调节装置10根据检测装置9所测数据对振镜组3、聚焦镜组4或振镜组3与聚焦镜组4二者的位置进行调整,使得对待加工件5进行雕刻的激光光束符合生产要求,因激光光束在其焦点位置处的能量值最高,因此为避免激光光束在对待加工件5进行雕刻时因能量过高对待加工件的材料造成破坏,待加工件5的位置优选设置在经过聚焦后的激光光束的非焦点处。
另外,本实用新型中的扩束镜组2后还设有功率调整器7,功率调整器7能够控制激光光束的输出能量及功率,并使激光光束的能量及功率保持稳定,功率调整器7接收从扩束镜组2发出的激光光束,将激光光束能量与实际工艺要求中的激光光束能量进行比对,并将结果反馈到扩束镜组2,根据反馈结果调节扩束镜组2,即对激光光束的光斑直径及发散角度进行调节,经过调节后的激光光束再次进入功率调整器7,直至满足实际工艺中对激光光束能量的要求。经过功率调整器7的激光光束能够保证激光光束能量的恒定输出,因此当激光光束作用于待加工件5时,待加工件5的加工高度及作用范围稳定,有效保证了激光雕刻的质量。
若经过聚焦镜组4发出的激光光束光斑直径仍不符合工艺需求,可重复进行对扩束镜组2与功率调整器7的调整,重新设定激光功率,而后再结合检测装置9和调节装置10调节振镜组3与聚焦镜组4,直至激光光束满足实际工艺需求。
本实用新型中还设有自动对焦装置(图中未示出),能够自动确认雕刻高度,确保激光光束对待加工件5雕刻的稳定性,优选的,可选择为精度小于1um的高精度激光自动对焦系统。
现有的激光雕刻工艺能够做到的最小尺寸为0.4mm◇0.4mm,但该标记尺寸仍然能够被肉眼发现,因此无法应用于透明材料上,对可视区进行标记。本实用新型的激光雕刻装置,通过将扩束镜组2、功率调整器7、振镜组3、聚焦镜组4以及检测装置9、调节装置10的组合使用,使作用于被加工件5的标记尺寸不大于100um◇100um,处于肉眼不可视的范围内,因此解决了现有激光在材料上作用后尺寸太大造成肉眼可见而无法在更小区域雕刻标记的问题。
以上是对本实用新型的较佳实施例进行了具体说明,但本实用新型并不限于所述实施例,熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换,这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (9)

1.一种激光雕刻装置,其特征在于,包括,
激光器和扩束镜组,所述扩束镜组改变所述激光器发出的激光光束的发散角;
功率调整器,所述功率调整器接收经过所述扩束镜组后的激光光束,调节激光光束的功率并反馈到扩束镜组,所述扩束镜组根据反馈数据重新调节激光光束的发散角;
聚焦镜组,所述聚焦镜组接收经过所述功率调整器的激光光束并对激光光束进行聚焦;
检测装置,所述检测装置检测所述聚焦镜组与待加工件之间的距离;
调节装置,所述调节装置对所述聚焦镜组的位置进行调节;
所述激光器、扩束镜组、功率调整器与聚焦镜组依次排列连接。
2.如权利要求1所述的激光雕刻装置,其特征在于,所述功率调整器与聚焦镜组之间设有振镜组,所述振镜组接收经过所述功率调整器的激光光束并改变激光光束的方向,所述聚焦镜组接收经过振镜组后的激光光束,所述调节装置对所述聚焦镜组和/或振镜组的位置进行调节。
3.如权利要求1所述的激光雕刻装置,其特征在于,所述激光器发出的激光光束、经过扩束镜组后的激光光束与经过功率调整器后的激光光束的轴心重合。
4.如权利要求2所述的激光雕刻装置,其特征在于,所述激光器发出的激光光束与所述功率调整器发出的激光光束的方向平行于X轴,所述振镜组发出的激光光束与所述聚焦镜组发出的激光光束的方向平行于Z轴且与待加工件的加工表面垂直。
5.如权利要求1所述的激光雕刻装置,其特征在于,经过所述扩束镜组后的激光光束的发散角度不小于未进入所述扩束镜组的激光光束的发散角度,经过所述扩束镜组后的激光光束的直径不大于未进入所述扩束镜组的激光光束的直径。
6.如权利要求1所述的激光雕刻装置,其特征在于,经过所述聚焦镜组后的激光光束的直径不大于未进入所述聚焦镜组的激光光束的直径。
7.如权利要求2所述的激光雕刻装置,其特征在于,所述检测装置检测聚焦镜组与所述待加工件之间的距离并反馈到所述调节装置,所述调节装置驱动所述振镜组和聚焦镜组进行X、Y或Z方向的移动。
8.如权利要求1所述的激光雕刻装置,其特征在于,所述待加工件位于所述经过聚焦镜组后的激光光束的非焦点处。
9.如权利要求1所述的激光雕刻装置,其特征在于,还包括自动对焦装置。
CN201820645460.3U 2018-05-02 2018-05-02 一种激光雕刻装置 Active CN208304138U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201820645460.3U CN208304138U (zh) 2018-05-02 2018-05-02 一种激光雕刻装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201820645460.3U CN208304138U (zh) 2018-05-02 2018-05-02 一种激光雕刻装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN208304138U true CN208304138U (zh) 2019-01-01

Family

ID=64714782

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201820645460.3U Active CN208304138U (zh) 2018-05-02 2018-05-02 一种激光雕刻装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN208304138U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108672922A (zh) * 2018-05-02 2018-10-19 深圳市海目星激光智能装备股份有限公司 一种激光雕刻装置及方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108672922A (zh) * 2018-05-02 2018-10-19 深圳市海目星激光智能装备股份有限公司 一种激光雕刻装置及方法
CN108672922B (zh) * 2018-05-02 2024-03-19 海目星激光科技集团股份有限公司 一种激光雕刻装置及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110125536B (zh) 一种薄膜材料去除的激光加工装置和方法
CN101784364B (zh) 用于进行材料切除的方法以及用于实施该方法的装置
WO2021129468A1 (zh) 一种基于双光斑的slm成形系统及方法
CN106808087B (zh) 一种减小激光熔覆后工件形变量的方法
CN110174769A (zh) 光照射装置及方法、具备光照射装置的光加工装置及方法
CN111505831B (zh) 一种焦斑焦深可变贝塞尔光束激光加工系统及方法
CN111151873A (zh) 一种脆性材料激光切割装置及方法
CN106475685A (zh) 一种提高材料激光标刻品质和效率的装置及标刻方法
CN110977152A (zh) 一种slm双激光复合加工系统
CN113634769A (zh) 基于高斯光束、光束整形复合光束的金属slm打印系统
CN208304138U (zh) 一种激光雕刻装置
CN106711765B (zh) 一种具有三光斑照射一次成型功能的半导体激光熔覆光源结构
CN112059404A (zh) 一种超细单晶光纤包层加工方法及系统
CN106773025A (zh) 调焦镜头及振镜式激光扫描系统
CN204353650U (zh) 光学聚焦结构及激光加工设备
JP2007029959A (ja) レーザ加工機
CN108672922A (zh) 一种激光雕刻装置及方法
CN209239279U (zh) 一种光束整形系统
CN112355484B (zh) 基于高斯光束聚焦直写的表面周期性锥形微结构加工方法
CN111843246B (zh) 一种基于离焦控制技术的激光纵向钻孔方法
CN212083832U (zh) 激光开槽的光学系统、激光器及带有激光器的设备
CN210703082U (zh) 双激光合束装置及双激光复合加工的光束系统
EP3446824B1 (en) Laser processing
JP2023537606A (ja) 作業面上に規定のレーザラインを生成するための装置
CN220626787U (zh) 一种光束整形光学系统及激光器

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address

Address after: 518110 301, Building B, Comlong Science Park, Guansheng 5th Road, Luhu Community, Guanhu Street, Longhua District, Shenzhen City, Guangdong Province (one photo multiple site enterprise)

Patentee after: Haimuxing Laser Technology Group Co.,Ltd.

Address before: 518000 Longhua New District, Shenzhen, Guangdong, 26 guanhuan Road, Guanlong street, Jun long community.

Patentee before: SHENZHEN HYMSON LASER INTELLIGENT EQUIPMENTS Co.,Ltd.

CP03 Change of name, title or address