CN208238940U - 一种可调角度和位置的真空炉测温装置 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种可调角度和位置的真空炉测温装置,包括红外测温探头和探头基座,红外测温探头通过角度调节装置和位置调节装置与探头基座连接,探头基座的一端通过向外凸出的定位圈与红外测温探头连接,探头基座的另一端依次设有开闭阀门和真空微调阀,真空微调阀通过法兰与炉管法兰连接,所述炉管法兰内设有石墨探测管,所述石墨探测管的末端的侧壁上设有排气孔,所述探头基座的中心设有贯通左右的示镜孔,示镜孔内设有示镜。利用本实用新型,能够在线实时安全准确地测量高温真空炉内的温度,可以广泛用于各种高温真空炉。
Description
技术领域
本申请涉及一种温度检测装置,特别涉及一种用于高温真空炉的温度检测装置。
背景技术
高温真空炉是一种在真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接。炉膛真空度可达133×(10-2~10-4)Pa。炉内加热系统可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热,也可用高频感应加热。最高温度可达3000℃左右。主要用于陶瓷烧成、真空冶炼、电真空零件除气、退火、金属件的钎焊,以及陶瓷-金属封接等。
对于如此高温的真空炉,内部温度需要进行实时监控检测,因此如何准确、实时检测到炉内温度,是本领域技术人员不容忽视的问题。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型的目的在于提供一种能准确地实时检测炉内温度的检测装置。
本实用新型提供的技术方案如下:
一种可调角度和位置的真空炉测温装置,包括红外测温探头和探头基座,所述红外测温探头通过角度调节装置和位置调节装置与探头基座连接。所述探头基座的另一端依次设有开闭阀门和真空微调阀,真空微调阀通过法兰与炉管法兰连接,所述炉管法兰内设有石墨探测管,所述石墨探测管的末端的侧壁上设有排气孔,所述探头基座的中心设有贯通左右的示镜孔,示镜孔内设有示镜。
优选的,所述角度调节装置包括与红外测温探头固定连接的调节板,所述调节板上设有四个均布的调节孔,调节孔的两侧均设有挡片,调节孔内设有角度调节螺杆,所述角度调节螺杆穿过挡片和调节孔后,固定于探头基座上,探头基座与调节板之间的角度调节螺杆上设有弹簧。
优选的,所述位置调节装置包括均布于探头基座外侧的四个挡块,所述挡块上设有位置调节螺杆,所述位置调节螺杆穿过挡块上的螺纹孔后,与调节板的外侧接触。
优选的,所述示镜的两端均设有密封垫,用于防止高温真空炉内的气体泄漏。
优选的,所述石墨探测管的内孔直径为22-28mm,石墨探测管的末端伸入到高温真空炉的中心位置,用于测量最中心的温度,从而保证测量最为准确。且末端形状为半球形,所述排气孔设于距半球形10-40cm的石墨探测管的侧壁上。
优选的,排气孔的截面形状为圆形,且直径为2-5mm。
优选的,所述炉管法兰与真空微调阀通过止口定位连接,炉管法兰与真空微调阀的接触面上设有密封圈。
优选的,所述开闭阀门和真空微调阀通过止口定位连接,所述开闭阀门和真空微调阀的接触面上设有密封圈。
优选的,所述探头基座与开闭阀门通过止口定位连接,所述探头基座与开闭阀门的接触面上设有密封圈。
优选的,所述开闭阀门为球阀。
本实用新型提供的一种可调角度和位置的真空炉测温装置,能够在线实时安全准确地测量高温真空炉内的温度。通过设置在高温真空炉体外的测温探头,使得能够在炉体外安全地测量温度,并能实时监控。通过石墨探测管深入到炉体内,测温更为准确。通过从真空微调阀内输入惰性气体,将石墨探测管内的浑浊气体从排气孔排出,使得红外测温探头不会受到浑浊气体的干扰,使测温准确。通过角度调节装置,使得红外测温探头相对于炉体的倾斜角度可以任意方向调节,以使得红外测温点能准确地测量到中心位置,不会偏离在石墨探测管的侧壁上。通过位置调节装置,能调节红外测温探头与炉体的位置,以使得红外测温点能准确地测量到中心位置,不会偏离在石墨探测管的侧壁上。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为可调角度和位置的真空炉测温装置的示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请中的技术方案,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本申请保护的范围。
如图1所示,本实施方式提供的技术方案如下:
一种可调角度和位置的真空炉测温装置,包括红外测温探头1和探头基座2,所述红外测温探头1通过角度调节装置和位置调节装置与探头基座2连接。所述探头基座2的另一端依次设有开闭阀门3和真空微调阀4,真空微调阀4通过法兰与炉管法兰5连接。
角度调节装置,用于红外测温探头相对于炉体的倾斜角度任意方向调节,以使得红外测温点能准确地测量到中心位置,不会偏离在石墨探测管的侧壁上。通过位置调节装置,能调节红外测温探头与炉体的位置,以使得红外测温点能准确地测量到中心位置,不会偏离在石墨探测管的侧壁上。
开闭阀门3用于在不测温的时候,利用开闭阀门3关闭管道,防止泄漏的危险。而真空微调阀4用于充入惰性气体,将石墨探测管6内的浑浊气体从排气孔7排出,使得红外测温探头1不会受到浑浊气体的干扰,使测温准确。
在炉管法兰5内设有石墨探测管6,所述石墨探测管6的内孔直径可以为22-28mm,石墨探测管6的末端伸入到高温真空炉的中心位置为最佳,用于测量最中心的温度,从而保证测量最为准确。且末端形状可以为半球形,所述排气孔7可以设于距半球形10-40cm的石墨探测管6的侧壁上。
所述石墨探测管6的末端的侧壁上设有排气孔7,排气孔7的截面形状为圆形,且直径为2-5mm。
在探头基座2的中心设有贯通左右的示镜孔,示镜孔内设有示镜8,示镜8用于阻隔高温真空炉内的气体泄漏,且红外测温探头1的红外线能穿透。示镜8的两端均设有密封垫,用于防止高温真空炉内的气体泄漏。
需要测温的时候,打开红外测温探头1和开闭阀门3,红外测温探头1发出的红外光透过示镜8,进入到石墨探测管6的末端,并测得温度值。
同时,从真空微调阀4充入惰性气体,将石墨探测管6内的浑浊气体从排气孔7排出,使得红外测温探头1不会受到浑浊气体的干扰,使测温准确。
当发现测温不准的时候,判断红外测温探头1发出的光纤偏移了石墨探测管6的中心,甚至照射到了石墨探测管6的侧壁,导致测温不准,则可以通过角度调节装置来调节倾斜角度,或者通过位置调节装置,来调节红外测温探头1相对于石墨探测管6的位置,以达到最佳的测温效果。
当不需要测温的时候,关闭红外测温探头1和开闭阀门3,并停止充入惰性气体。
本实施方式提供的一种可调角度和位置的真空炉测温装置,能够在线实时安全准确地测量高温真空炉内的温度。通过设置在高温真空炉体外的测温探头1,使得能够在炉体外安全地测量温度,并能实时监控。通过石墨探测管6深入到炉体内,测温更为准确。通过从真空微调阀4内输入惰性气体,将石墨探测管6内的浑浊气体从排气孔排出,使得红外测温探头1不会受到浑浊气体的干扰,使测温准确。通过角度调节装置,使得红外测温探头1相对于炉体的倾斜角度可以任意方向调节,以使得红外测温点能准确地测量到中心位置,不会偏离在石墨探测管6的侧壁上。通过位置调节装置,能调节红外测温探头1与炉体的位置,以使得红外测温点能准确地测量到中心位置,不会偏离在石墨探测管6的侧壁上。
作为本实施方式的进一步优选,所述角度调节装置可以包括与红外测温探头1固定连接的调节板9,所述调节板9上设有四个均布的调节孔91,四个调节孔91沿中心点均布于四个象限位置,调节孔91的两侧均设有挡片13,调节孔91内设有角度调节螺杆14,所述角度调节螺杆14穿过挡片13和调节孔91后,固定于探头基座2上,探头基座2与调节板9之间的角度调节螺杆14上设有弹簧12。调节孔91的内径大于角度调节螺杆14的外径两倍以上,当需要调节角度的时候,只需要拧动角度调节螺杆14,即可调节倾斜度。
作为本实施方式的进一步优选,所述位置调节装置可以包括均布于探头基座2外侧的四个挡块10,四个挡块10位于探头基座2的四个象限位置,挡块10是固定不动的,所述挡块10上设有位置调节螺杆11,所述位置调节螺杆11穿过挡块10上的螺纹孔后,与调节板9的外侧接触。当需要调节位置的时候,拧动位置调节螺杆11即可调节红外测温探头1相对于探头基座2的位置。
作为本实施方式的进一步优选,开闭阀门3可以采用球阀,用于在不测温的时候,利用开闭阀门3关闭管道,防止泄漏的危险。
作为本实施方式的进一步优选,炉管法兰5与真空微调阀4通过止口定位连接,保证了同心度。炉管法兰5与真空微调阀4的接触面上设有密封圈。
作为本实施方式的进一步优选,开闭阀门3和真空微调阀4通过止口定位连接,保证了同心度。所述开闭阀门3和真空微调阀4的接触面上设有密封圈。
作为本实施方式的进一步优选,所述探头基座2与开闭阀门3通过止口定位连接,保证了同心度。所述探头基座2与开闭阀门3的接触面上设有密封圈。
对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (10)
1.一种可调角度和位置的真空炉测温装置,其特征在于,包括红外测温探头(1)和探头基座(2),所述红外测温探头(1)通过角度调节装置和位置调节装置与探头基座(2)连接,所述探头基座(2)的另一端依次设有开闭阀门(3)和真空微调阀(4),所述真空微调阀(4)通过法兰与炉管法兰(5)连接,所述炉管法兰(5)内设有石墨探测管(6),所述石墨探测管(6)的末端的侧壁上设有排气孔(7),所述探头基座(2)的中心设有贯通左右的示镜孔,示镜孔内设有示镜(8)。
2.根据权利要求1所述的可调角度和位置的真空炉测温装置,其特征在于,所述角度调节装置包括与红外测温探头(1)固定连接的调节板(9),所述调节板(9)上设有四个均布的调节孔(91),调节孔(91)的两侧均设有挡片(13),调节孔(91)内设有角度调节螺杆(14),所述角度调节螺杆(14)穿过挡片(13)和调节孔(91)后,固定于探头基座(2)上,探头基座(2)与调节板(9)之间的角度调节螺杆(14)上设有弹簧(12)。
3.根据权利要求2所述的可调角度和位置的真空炉测温装置,其特征在于,所述位置调节装置包括均布于探头基座(2)外侧的四个挡块(10),所述挡块(10)上设有位置调节螺杆(11),所述位置调节螺杆(11)穿过挡块(10)上的螺纹孔后,与调节板(9)的外侧接触。
4.根据权利要求1所述的可调角度和位置的真空炉测温装置,其特征在于,所述示镜(8)的两端均设有密封垫。
5.根据权利要求1所述的可调角度和位置的真空炉测温装置,其特征在于,所述石墨探测管(6)的内孔直径为22-28mm,石墨探测管(6)的末端伸入到高温真空炉的中心位置,且末端形状为半球形,所述排气孔(7)设于距半球形10-40cm的石墨探测管(6)的侧壁上。
6.根据权利要求1所述的可调角度和位置的真空炉测温装置,其特征在于,所述排气孔(7)的截面形状为圆形,且直径为2-5mm。
7.根据权利要求1所述的可调角度和位置的真空炉测温装置,其特征在于,所述炉管法兰(5)与真空微调阀(4)通过止口定位连接,炉管法兰(5)与真空微调阀(4)的接触面上设有密封圈。
8.根据权利要求1所述的可调角度和位置的真空炉测温装置,其特征在于,所述开闭阀门(3)和真空微调阀(4)通过止口定位连接,所述开闭阀门(3)和真空微调阀(4)的接触面上设有密封圈。
9.根据权利要求1所述的可调角度和位置的真空炉测温装置,其特征在于,所述探头基座(2)与开闭阀门(3)通过止口定位连接,所述探头基座(2)与开闭阀门(3)的接触面上设有密封圈。
10.根据权利要求1所述的可调角度和位置的真空炉测温装置,其特征在于,所述开闭阀门(3)为球阀。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201820938833.6U CN208238940U (zh) | 2018-06-19 | 2018-06-19 | 一种可调角度和位置的真空炉测温装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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CN208238940U true CN208238940U (zh) | 2018-12-14 |
Family
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Family Applications (1)
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