CN208178764U - 一种用于金属靶材绑定的加热平台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于金属靶材绑定的加热平台，包括底座，所述底座上设置加热板，加热板下端面面积稍大于所述底座上端面面积，底座边缘四周设置汇流槽，汇流槽是由外侧板、底板和内侧板围合而成的环形汇流槽，汇流槽内侧板顶端贴紧加热板下端面，汇流槽内侧板外壁与所述底座外壁贴合，汇流槽内侧板厚度小于或者等于加热板的边缘处与底座的边缘处之间的距离，加热板一侧边缘开设多个U型槽，加热板底部平行设置多个螺旋形凹槽，每个螺旋形凹槽内设置一根螺旋形加热管。本实用新型用于金属靶材绑定的加热平台使靶材和背板受热均匀，靶材与背板之间铟液均匀度好，多余铟液也得到很好回收，而且靶材容易翻转和搬离，操作安全、方便。
Description
技术领域
本实用新型属于金属靶材绑定技术领域，具体涉及一种用于金属靶材绑定的加热平台。
背景技术
在液晶面板工业中，金属靶材组件是由符合溅射性能的靶材及能与靶材结合并具有一定强度的背板构成，背板可以在所述靶材组件装配至溅射基台中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。现有的加热平台金属靶材的翻转及搬离不方便，而且加热过程无法回收多余的焊料。
公告号为CN104416307B的中国专利公开了一种焊接平台的加热板及焊接平台的制作方法、焊接平台，其中，焊接平台，用于焊接靶材与背板，包括：底座，所述底座具有支撑面；位于所述支撑面的至少两个加热板，相邻的加热板之间具有间隔。该发明提供的焊接平台使操作人员操作叉车臂伸入所述间隔，在间隔处从下面支撑起大型靶材组件，实现大型溅射靶材组件从焊接平台搬离，而且，不会对大型溅射靶材组件造成损伤。但是，该专利加热板之间设置间隔，间隔方便叉车臂伸入，间隔较大，容易造成靶材的加热不均匀，绑定后的靶材与背板之间铟液不均匀，叉车臂的进入也容易对靶材造成污染，产品质量差，而且多余铟液依靠加热板表面的导热绝缘布回收，仍然会出现铟液从导热绝缘布流淌下来，造成铟液的浪费和环境的污染。
实用新型内容
为克服上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种用于金属靶材绑定的加热平台，靶材和背板受热均匀，靶材与背板之间铟液均匀度好，多余铟液也得到很好回收，而且靶材容易翻转和搬离，操作安全、方便。
为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种用于靶材绑定的加热平台，包括底座，所述底座上设置加热板，所述加热板下端面面积稍大于所述底座上端面面积，所述底座边缘四周设置汇流槽，所述汇流槽是由外侧板、底板和内侧板围合而成的环形汇流槽，所述汇流槽内侧板顶端贴紧加热板下端面，所述汇流槽内侧板外壁与所述底座外壁贴合，所述汇流槽内侧板厚度小于或者等于加热板的边缘处与底座的边缘处之间的距离，所述加热板一侧边缘开设多个U型槽，所述加热板底部平行设置多个螺旋形凹槽，每个螺旋形凹槽内设置一根螺旋形加热管。
优选地，所述加热板底部边缘设置导线接头固定部件，每根螺旋形加热管具有加热管接线，每根螺旋形加热管的加热管接线与所述导线接头固定部件连接。
优选地，所述汇流槽外侧板、底板和内侧板一体成型。
优选地，所述汇流槽外侧板呈下大上小的直角梯形结构。
本实用新型的积极有益效果：
1. 本实用新型一种用于金属靶材绑定的加热平台，包括底座，所述底座上设置加热板，所述加热板下端面面积稍大于所述底座上端面面积，所述底座边缘四周设置汇流槽，所述汇流槽是由外侧板、底板和内侧板围合而成的环形汇流槽，所述汇流槽内侧板顶端贴紧加热板下端面，所述汇流槽内侧板外壁与所述底座外壁贴合，所述汇流槽内侧板厚度小于或者等于加热板的边缘处与底座的边缘处之间的距离，所述加热板一侧边缘开设多个U型槽，所述加热板底部平行设置多个螺旋形凹槽，每个螺旋形凹槽内设置一根螺旋形加热管。环形汇流槽对各个方向铟液的回收完全，而且汇流槽的存在避免操作工碰到加热平台，减少了烧伤烫伤的可能；U形槽方便吊具或者其他工具对靶材进行翻转或者搬离操作；加热板底部平行设置多个螺旋形凹槽，螺旋形凹槽内设置螺旋形加热管，螺旋形加热管对靶材和背板加热均匀，靶材与背板之间铟液均匀度好，靶材与背板之间贴合紧密，无间隙和气孔，而且螺旋形加热管拆卸和安装方便。
本实用新型用于金属靶材绑定的加热平台使靶材和背板受热均匀，靶材与背板之间铟液均匀度好，多余铟液也得到很好回收，而且靶材容易翻转和搬离，操作安全、方便。
2. 本实用新型所述加热板底部边缘设置导线接头固定部件，每根螺旋形加热管具有加热管接线，每根螺旋形加热管的加热管接线与所述导线接头固定部件连接，防止加热板流淌下的铟液接触螺旋形加热管的加热管接线，操作安全。所述汇流槽外侧板、底板和内侧板一体成型，汇流槽密封性好。所述汇流槽外侧板呈下大上小的直角梯形结构，汇流槽呈下小上大的直角梯形结构，方便铟液回收。
附图说明
图1为本实用新型用于金属靶材绑定的加热平台侧视结构示意图；
图2为本实用新型用于金属靶材绑定的加热平台俯视结构示意图；
图中：1-底座，2-加热板，3-汇流槽，4-U型槽，5-螺旋形凹槽，6-导线接头固定部件。
具体实施方式
下面结合一些具体实施例对本实用新型进一步说明。
实施例1
参见图1~2，一种用于金属靶材绑定的加热平台，包括底座1，所述底座1上设置加热板2，加热板2材质为铝合金，所述加热板2下端面面积稍大于所述底座1上端面面积，加热板2的边缘处与底座1的边缘处之间的距离为5~10mm，所述底座1边缘四周设置汇流槽3，所述汇流槽3是由外侧板31、底板32和内侧板33围合而成的环形汇流槽，所述汇流槽外侧板31、底板32和内侧板33一体成型，所述汇流槽外侧板31呈下大上小的直角梯形结构，即汇流槽3呈下小上大的直角梯形结构，方便铟液回收，汇流槽3材质为不锈钢，汇流槽3底部宽度150~200mm，深度100~150mm，所述汇流槽内侧板33顶端贴紧加热板2下端面，所述汇流槽内侧板33外壁与所述底座1外壁贴合固定，所述汇流槽内侧板33厚度小于或者等于加热板2的边缘处与底座1的边缘处之间的距离，所述加热板2一侧边缘开设多个U型槽4，U型槽4宽度20~40mm，宽度小，不影响加热板2的均匀受热，所述加热板2底部平行设置多个螺旋形凹槽5，每个螺旋形凹槽5内嵌合一根螺旋形加热管，螺旋形加热管拆卸和安装方便，所述加热板2底部边缘设置导线接头固定部件6，每根螺旋形加热管具有加热管接线，每根螺旋形加热管的加热管接线与所述导线接头固定部件6连接。
最后说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案所做的其他修改或者等同替换，只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
Claims (4)
1.一种用于金属靶材绑定的加热平台，包括底座，其特征在于，所述底座上设置加热板，所述加热板下端面面积稍大于所述底座上端面面积，所述底座边缘四周设置汇流槽，所述汇流槽是由外侧板、底板和内侧板围合而成的环形汇流槽，所述汇流槽内侧板顶端贴紧加热板下端面，所述汇流槽内侧板外壁与所述底座外壁贴合，所述汇流槽内侧板厚度小于或者等于加热板的边缘处与底座的边缘处之间的距离，所述加热板一侧边缘开设多个U型槽，所述加热板底部平行设置多个螺旋形凹槽，每个螺旋形凹槽内设置一根螺旋形加热管。
2.根据权利要求1所述的用于金属靶材绑定的加热平台，其特征在于，所述加热板底部边缘设置导线接头固定部件，每根螺旋形加热管具有加热管接线，每根螺旋形加热管的加热管接线与所述导线接头固定部件连接。
3.根据权利要求1所述的用于金属靶材绑定的加热平台，其特征在于，所述汇流槽外侧板、底板和内侧板一体成型。
4.根据权利要求1所述的用于金属靶材绑定的加热平台，其特征在于，所述汇流槽外侧板呈下大上小的直角梯形结构。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201820765110.0U CN208178764U (zh) | 2018-05-22 | 2018-05-22 | 一种用于金属靶材绑定的加热平台 |
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| CN208178764U true CN208178764U (zh) | 2018-12-04 |
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Country Status (1)
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2018
- 2018-05-22 CN CN201820765110.0U patent/CN208178764U/zh active Active
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